3 dýuýmlyk ýokary arassalykly (goşulmadyk) kremniý karbid plitalary ýarym izolýasiýaly silikon substratlar (HPSl)
Emläkler
1. Fiziki we gurluş aýratynlyklary
●Material görnüşi: Ýokary arassalyk (goşulmadyk) kremniý karbidi (SiC)
●Diametri: 3 dýuým (76.2 mm)
●Galyňlygy: 0.33-0.5 mm, ulanylyş talaplaryna laýyklykda sazlanyp bilner.
●Kristal gurluşy: Ýokary elektron hereketliligi we termal durnuklylygy bilen tanalýan altyburçluk torly 4H-SiC politipi.
●Ugurlanma:
oStandart: [0001] (C-tekizlik), dürli ulanyşlar üçin amatly.
oSaýlamaga görä: Enjam gatlaklarynyň epitaksial ösüşini güýçlendirmek üçin okdan daşary (4° ýa-da 8° egiliş).
●Tekizlik: Umumy galyňlygyň üýtgemegi (TTV) ●Ýüziň hili:
oPes kemçilikli dykyzlyga çenli jylaňlandyrylan (<10/sm² mikrotruba dykyzlygy). 2. Elektrik häsiýetleri ●Garşylyk: >109^99 Ω·sm, maksatly garyndylary aýyrmak arkaly saklanýar.
●Dielektrik güýji: Ýokary kuwwatly ulanyşlar üçin ideal bolan minimal dielektrik ýitgileri bilen ýokary woltly çydamlylyk.
●Ýylylyk geçirijiligi: 3.5-4.9 W/sm·K, ýokary öndürijilikli enjamlarda ýylylygyň netijeli ýaýramagyna mümkinçilik berýär.
3. Termal we mehaniki häsiýetler
●Giň zolak aralygy: 3.26 eV, ýokary woltly, ýokary temperaturaly we ýokary radiasiýa şertlerinde işlemegi goldaýar.
●Gatylygy: Mohs şkalasy 9, gaýtadan işlemek wagtynda mehaniki aşynmalara garşy berkligi üpjün edýär.
●Termal giňelme koeffisiýenti: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, temperatura üýtgemeleri astynda ölçeg durnuklylygyny üpjün edýär.
| Parametr | Önümçilik derejesi | Ylmy dereje | Ýalan derejeli | Birlik |
| Dereje | Önümçilik derejesi | Ylmy dereje | Ýalan derejeli | |
| Diametr | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
| Galyňlygy | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
| Wafer ugry | Ok boýunça: <0001> ± 0.5° | Ok boýunça: <0001> ± 2.0° | Ok boýunça: <0001> ± 2.0° | dereje |
| Mikrotrubanyň dykyzlygy (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | sm−2^-2−2 |
| Elektrik garşylygy | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·sm |
| Dopant | Dopingsiz | Dopingsiz | Dopingsiz | |
| Esasy Tekizlik Ugury | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | dereje |
| Esasy tekiz uzynlyk | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
| Ikinji derejeli tekiz uzynlyk | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
| Ikinji derejeli tekizlik ugry | Esasy tekizlikden 90° CW ± 5.0° | Esasy tekizlikden 90° CW ± 5.0° | Esasy tekizlikden 90° CW ± 5.0° | dereje |
| Gyra çykarylyşy | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Bow/Warp | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
| Ýüziň gödekligi | Si-ýüz: CMP, C-ýüz: Jyllalanan | Si-ýüz: CMP, C-ýüz: Jyllalanan | Si-ýüz: CMP, C-ýüz: Jyllalanan | |
| Çatlaklar (Ýokary intensiwli ýagtylyk) | Hiç hili | Hiç hili | Hiç hili | |
| Altyburçluk plitalar (Ýokary intensiwli çyra) | Hiç hili | Hiç hili | Umumy meýdan 10% | % |
| Köp görnüşli meýdanlar (Ýokary intensiwli ýagtylyk) | Umumy meýdan 5% | Umumy meýdan 20% | Umumy meýdan 30% | % |
| Çyzgylar (Ýokary intensiwli ýagtylyk) | ≤ 5 çyzyk, umumy uzynlyk ≤ 150 | ≤ 10 çyzyk, umumy uzynlyk ≤ 200 | ≤ 10 çyzyk, umumy uzynlyk ≤ 200 | mm |
| Gyralary gyralamak | Ýok ≥ 0.5 mm ini/çuňlugy | 2 rugsat berilýär ≤ 1 mm giňlik/çuňluk | 5 rugsat berilýär ≤ 5 mm giňlik/çuňluk | mm |
| Ýerüsti hapalanma | Hiç hili | Hiç hili | Hiç hili |
Programmalar
1. Güýçli elektronika
HPSI SiC substratlarynyň giň zolak aralygy we ýokary ýylylyk geçirijiligi olary aşakdaky ýaly ekstremal şertlerde işleýän güýç enjamlary üçin ideal edýär:
●Ýokary woltly enjamlar: Tok güýjüni netijeli öwürmek üçin MOSFET-ler, IGBT-ler we Şottki päsgelçilik diodlary (SBD) goşulýar.
●Gaýtadan dikeldilýän energiýa ulgamlary: Gün energiýasyny inwertorlar we ýel turbinalarynyň dolandyryjylary ýaly.
●Elektrik ulaglary (EU): Netijeliligi ýokarlandyrmak we ölçegleri kiçeltmek üçin inwertorlarda, zarýad berijilerde we güýç geçiriji ulgamlarynda ulanylýar.
2. RF we mikrotolkunly peçleriň ulanylyşy
HPSI plastinkalarynyň ýokary garşylygy we pes dielektrik ýitgileri radioýygylyk (RF) we mikrotolkun ulgamlary üçin, şol sanda aşakdakylar üçin möhümdir:
●Telekommunikasiýa infrastrukturasy: 5G ulgamlary we sputnik aragatnaşygy üçin baza stansiýalary.
●Aerokosmos we Goranmak: Radar ulgamlary, fazalaýyn antennalar we awionika bölekleri.
3. Optoelektronika
4H-SiC-niň açyklygy we giň zolak aralygy ony optoelektron enjamlarda, mysal üçin:
●UV fotodetektorlary: Daşky gurşawyň gözegçiligi we lukmançylyk diagnostikasy üçin.
●Ýokary kuwwatly LED-ler: Gaty ýagdaýly yşyklandyryş ulgamlaryny goldaýar.
●Lazer diodlary: Senagat we lukmançylyk maksatlary üçin.
4. Ylmy-barlag we işläp taýýarlamak
HPSI SiC substratlary akademiki we senagat ylmy-barlag we işläp çykaryş laboratoriýalarynda ösen material häsiýetlerini we enjam öndürilişini öwrenmek üçin giňden ulanylýar, şol sanda:
●Epitaksial gatlagyň ösüşi: kemçilikleri azaltmak we gatlagy optimizirlemek boýunça barlaglar.
● Daşaýjylaryň hereketliligini öwrenmek: Ýokary arassa materiallarda elektron we deşik daşamagynyň öwrenilmegi.
●Prototipleme: Täze enjamlaryň we zynjyrlaryň ilkinji işlenip düzülmegi.
Artykmaçlyklar
Ýokary hilli:
Ýokary arassalyk we pes kemçilik dykyzlygy ösen ulanyşlar üçin ygtybarly platforma üpjün edýär.
Termal Durnuklylyk:
Ajaýyp ýylylyk ýaýratma häsiýetleri enjamlaryň ýokary kuwwatlylyk we temperatura şertlerinde netijeli işlemegine mümkinçilik berýär.
Giňişleýin utgaşyklyk:
Elýeterli ugurlar we özelleşdirilen galyňlyk opsiýalary enjamyň dürli talaplaryna laýyk gelmegi üpjün edýär.
Çydamlylyk:
Ajaýyp berklik we gurluş durnuklylygy gaýtadan işlemek we ulanmak wagtynda aşynmagy we deformasiýany azaldýar.
Köpugurlylyk:
Gaýtadan dikeldilýän energiýadan başlap, awiakosmos we telekommunikasiýa çenli dürli pudaklar üçin amatly.
Netije
3 dýuýmlyk ýokary arassalykly ýarym izolýasiýaly kremniý karbid plastinkasy ýokary kuwwatly, ýokary ýygylykly we optoelektron enjamlar üçin substrat tehnologiýasynyň iň ýokary derejesini görkezýär. Onuň ajaýyp termal, elektrik we mehaniki häsiýetleriniň utgaşmasy kyn şertlerde ygtybarly işlemegi üpjün edýär. Güýç elektronikasyndan we RF ulgamlaryndan optoelektronika we ösen ylmy-barlag işlerine çenli, bu HPSI substratlary geljegiň innowasiýalary üçin esas döredýär.
Has giňişleýin maglumat almak ýa-da sargyt bermek üçin biziň bilen habarlaşyň. Tehniki toparymyz siziň zerurlyklaryňyza laýyk gelýän görkezmeleri we özleşdirmek üçin opsiýalary hödürlemek üçin elýeterlidir.
Jikme-jik diagramma















