P görnüşli SiC wafli 4H / 6H-P 3C-N 6inç galyňlygy 350 μm başlangyç tekiz ugry bilen
Spesifikasiýa4H / 6H-P görnüşi SiC kompozit substratlar umumy parametrler tablisasy
6 dýuým diametri Silikon Karbid (SiC) substraty Spesifikasiýa
Baha | MPD önümçiligiBahasy (Z) Baha) | Standart önümçilikBaha (P. Baha) | Dummy Grade (D Baha) | ||
Diametri | 145,5 mm ~ 150.0 mm | ||||
Galyňlyk | 350 μm ± 25 μm | ||||
Wafer ugry | -Offok: 2,0 ° -4.0 ° [1120] ± 0,5 ° 4H / 6H-P üçin, Okda: 3C-N üçin 〈111〉 ± 0,5 ° | ||||
Mikrop turbanyň dykyzlygy | 0 sm-2 | ||||
Çydamlylyk | p görnüşli 4H / 6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
n görnüşli 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Esasy kwartira | 4H / 6H-P | -{1010} ± 5.0 ° | |||
3C-N | -{110} ± 5.0 ° | ||||
Esasy tekizlik uzynlygy | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Ikinji tekizlik uzynlygy | 18.0 mm ± 2,0 mm | ||||
Ikinji kwartira ugry | Silikonyň ýüzi: 90 ° CW. premýerden ± 5.0 ° | ||||
Gyradan çykarmak | 3 mm | 6 mm | |||
LTV / TTV / Bow / Warp | ≤2.5 μm / ≤5 μm / ≤15 μm / ≤30 μm | ≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm | |||
Gödeklik | Polýak Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Intokary intensiwlik çyrasy bilen gyralary ýarylýar | Hiç | Toplaýyş uzynlygy ≤ 10 mm, ýeke uzynlygy≤2 mm | |||
Intokary intensiwlik bilen alty plastinka | Toplum meýdany ≤0.05% | Toplum meýdany ≤0.1% | |||
Intokary intensiwlik bilen polip görnüşleri | Hiç | Toplum meýdany ≤3% | |||
Wizual uglerod goşulmalary | Toplum meýdany ≤0.05% | Toplum meýdany ≤3% | |||
Intokary intensiwlik çyrasy bilen kremniniň üstü çyzgylary | Hiç | Jemi uzynlygy≤1 × wafli diametri | |||
Gyrasy çipleri intensiwlik çyrasy bilen ýokary | Hiç biri ≥0.2mm ini we çuňlugy rugsat bermedi | 5 rugsat berildi, hersi mm1 mm | |||
Highokary intensiwlik bilen kremniniň üstü hapalanmagy | Hiç | ||||
Gaplamak | Köp wafli kaseta ýa-da ýekeje wafli konteýner |
Bellikler:
Ects Kemçilikleriň çäkleri, gyradan çykarylýan ýerden başga ähli wafli ýüzüne degişlidir. # Dyrnaklary Si ýüzünde barlamaly
6 dýuým ululygy we 350 μm galyňlygy bilen P görnüşli SiC wafli, 4H / 6H-P 3C-N, ýokary öndürijilikli elektronikanyň senagat önümçiliginde möhüm rol oýnaýar. Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi we ýokary bölüniş naprýa .eniýesi elektrik ulaglary, elektrik torlary we täzelenip bilýän energiýa ulgamlary ýaly ýokary temperaturaly şertlerde ulanylýan tok açarlary, diodlar we tranzistorlar ýaly komponentleri öndürmek üçin amatly edýär. Wafli agyr şertlerde netijeli işlemek ukyby, ýokary güýç dykyzlygyny we energiýa netijeliligini talap edýän önümçilik programmalarynda ygtybarly öndürijiligi üpjün edýär. Mundan başga-da, esasy tekiz ugrukdyryjy enjam öndürilende takyk deňleşmäge kömek edýär, önümçiligiň netijeliligini we önümiň yzygiderliligini ýokarlandyrýar.
N görnüşli SiC birleşdirilen substratlaryň artykmaçlyklary öz içine alýar
- Termokary ýylylyk geçirijiligi: P görnüşli SiC wafli ýylylygy ýokary derejede bölüp, ýokary temperaturaly programmalar üçin amatly edýär.
- Breakary naprýa .eniýe naprýa .eniýesi: Elektroniki enjamlarda we ýokary woltly enjamlarda ygtybarlylygy üpjün edip, ýokary woltlara çydamly.
- Zyýanly şertlere garşylyk: Temperatureokary temperatura we poslaýjy gurşaw ýaly aşa şertlerde ajaýyp çydamlylyk.
- Netijeli güýç öwrülişi: P görnüşli doping, tygşytly işlemegi ýeňilleşdirýär, wafli energiýa öwrüliş ulgamlary üçin amatly edýär.
- Esasy kwartira: Önümçilik wagtynda takyk deňleşmegi, enjamyň takyklygyny we yzygiderliligini ýokarlandyrýar.
- Inçe gurluş (350 μm): Wafli optimal galyňlygy ösen, giňişlik bilen çäklendirilen elektron enjamlaryna integrasiýany goldaýar.
Umuman aýdanyňda, P görnüşli SiC wafli, 4H / 6H-P 3C-N, önümçilik we elektroniki goşundylar üçin ýokary derejede amatly bolan birnäçe artykmaçlygy hödürleýär. Highokary ýylylyk geçirijiligi we bölüniş naprýa .eniýesi ýokary temperaturada we ýokary woltly şertlerde ygtybarly işlemäge mümkinçilik berýär, agyr şertlere garşylygy bolsa berkligi üpjün edýär. P görnüşli doping, elektrik elektronikasy we energiýa ulgamlary üçin ideal edip, netijeli güýji öwürmäge mümkinçilik berýär. Mundan başga-da, wafli esasy tekiz ugry, önümçilik yzygiderliligini ýokarlandyryp, önümçilik prosesinde takyk deňleşmegi üpjün edýär. Galyňlygy 350 μm bolan, ösen, ykjam enjamlara integrasiýa üçin amatlydyr.