LT Litiý Tantalaty (LiTaO3) Kristal 2inch/3inch/4inch/6inch Orientaiton Y-42°/36°/108° Galyňlygy 250-500um

LT Litiý Tantalaty (LiTaO3) Kristal 2inç/3inç/4inç/6inç Orientaiton Y-42°/36°/108° Galyňlygy 250-500um Görkezilen surat

Gysgaça düşündiriş:

LiTaO₃ plastinkalary möhüm pýezoelektrik we ferroelektrik material ulgamyny emele getirýär, ajaýyp pýezoelektrik koeffisiýentleri, termal durnuklylygy we optiki häsiýetleri görkezýär, bu bolsa olary ýerüsti akustik tolkun (SAW) süzgüçleri, köpçülikleýin akustik tolkun (BAW) rezonatorlary, optiki modulýatorlar we infragyzyl detektorlar üçin hökmany edýär. XKH ýokary hilli LiTaO₃ plastinkalarynyň ylmy-barlag we işläp çykaryş işlerine we önümçiligine ýöriteleşýär, kemçilikleriň dykyzlygy <100/sm² bolan ýokary kristal birmeňzeşligini üpjün etmek üçin ösen Çozhralski (CZ) kristal ösüşini we suwuk fazaly epitaksiýa (LPE) proseslerini ulanýar.

XKH, belli bir ulanylyş talaplaryna laýyk gelmek üçin özleşdirilen goşundylary (Mg, Zn) we polirlemek usullaryny goldaýan, köp sanly kristalografik ugurlara (X-kesiş, Y-kesiş, Z-kesiş) eýe bolan 3 dýuýmly, 4 dýuýmly we 6 dýuýmly LiTaO₃ waferlerini üpjün edýär. Materialyň dielektrik hemişelikligi (ε~40-50), pýezoelektrik koeffisiýenti (d₃₃~8-10 pC/N) we Kýuri temperaturasy (~600°C) LiTaO₃-ny ýokary ýygylykly süzgüçler we takyklyk sensorlary üçin iň gowy substrat hökmünde kesgitleýär.

Dik integrasiýa edilen önümçilik işlerimiz kristal ösdürip ýetişdirmegi, wafli etmek, jylamak we inçe plýonka çökündilerini öz içine alýar, aýlyk önümçilik kuwwaty 5G aragatnaşygyna, sarp ediji elektronikasyna, fotonika we goranmak senagatyna hyzmat etmek üçin 3000 wafliden geçýär. Biz optimizirlenen LiTaO₃ çözgütlerini hödürlemek üçin toplumlaýyn tehniki maslahat beriş, nusga häsiýetnamasy we az göwrümli prototipleme hyzmatlaryny hödürleýäris.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklar

Tehniki parametrler

At	Optik derejeli LiTaO3	Ses tablisasy derejesi LiTaO3
Ok boýunça	Z kesimi + / - 0.2 °	36 ° Y kesim / 42 ° Y kesim / X kesim(+ / - 0.2 °)
Diametr	76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm	76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm
Datum tekizligi	22mm + / - 2mm	22mm + /-2mm32mm + /-2mm
Galyňlygy	500um + /-5mm1000um + /-5mm	500um + /-20mm350um + /-20mm
TTV	≤ 10um	≤ 10um
Kyuri temperaturasy	605 °C + / - 0.7 °C (DTA usuly)	605 °C + / -3 °C (DTA usuly
Ýüziň hili	Iki taraplaýyn jylamak	Iki taraplaýyn jylamak
Gyrymsy gyralar	gyralary tegeleklemek	gyralary tegeleklemek

Esasy häsiýetler

1. Kristal gurluşy we elektrik öndürijiligi

· Kristallografik Durnuklylyk: 100% 4H-SiC politip agdyklyk edýär, köpkristallik goşulmalar ýok (meselem, 6H/15R), ýarym maksimumda (FWHM) ≤32.7 arksek XRD sallanma egrisi doly giňlikde.
· Ýokary Daşaýjy Hereketliligi: 5400 sm²/V·s (4H-SiC) elektron hereketliligi we 380 sm²/V·s deşik hereketliligi, ýokary ýygylykly enjam dizaýnlaryny döretmäge mümkinçilik berýär.
·Radiasiýanyň gatylygy: 1 × 10¹⁵ n/sm² süýşme zyýanynyň bosagasy bilen 1 MeV neýtron şöhlelenmesine çydamly, aerokosmos we ýadro ulgamlary üçin ideal.

2. Termal we mehaniki häsiýetler

· Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi: 4.9 W/sm·K (4H-SiC), kremniýiňkiden üç esse ýokary, 200°C-den ýokary temperaturada işlemegi goldaýar.
· Pes Termal Giňelme Koeffisiýenti: 4.0 × 10⁻⁶/K (25–1000°C) CTE, kremniý esasly gaplama bilen utgaşyklylygy üpjün edýär we termal stressi iň pes derejä düşürýär.

3. Kemçilikleriň gözegçiligi we işlemegiň takyklygy
?
· Mikrotrubanyň dykyzlygy: <0.3 sm⁻² (8 dýuýmlyk plitalar), dislokasiýa dykyzlygy <1000 sm⁻² (KOH aşındyrmasy arkaly tassyklanyldy).
· Ýüzleýiş hili: Ra <0.2 nm çenli CMP bilen jylaňlandyrylan, EUV litografiýa derejesindäki tekizlik talaplaryna laýyk gelýär.

Esasy programmalar

Domen	Ulanyş ssenarileri	Tehniki artykmaçlyklar
Optiki aragatnaşyk	100G/400G lazerleri, kremniý fotonika gibrid modullary	InP tohum substratlary göni zolak aralygyny (1.34 eV) we Si esasly geteroepitaksiýany üpjün edýär, optiki baglanyşyk ýitgisini azaldýar.
Täze energiýa ulaglary	800V ýokary woltly inwertorlar, bortdaky zarýad berijiler (OBC)	4H-SiC substratlary >1200 V çydamly bolup, geçirijilik ýitgilerini 50% we ulgamyň göwrümini 40% azaldýar.
5G Aragatnaşyk	Millimetr tolkunly RF enjamlary (PA/LNA), baza stansiýasynyň güýç güýçlendirijileri	Ýarym izolýasiýa ediji SiC substratlary (garşylyk >10⁵ Ω·sm) ýokary ýygylykly (60 GHz+) passiw integrasiýany üpjün edýär.
Senagat enjamlary	Ýokary temperatura datçikleri, tok transformatorlary, ýadro reaktorlarynyň monitorlary	InSb tohum substratlary (0.17 eV zolak aralygy) 10 T-de 300% çenli magnit duýgurlygyny üpjün edýär.

LiTaO₃ Waferleri - Esasy Aýratynlyklar

1. Ýokary derejeli pýezoelektrik öndürijilik

· Ýokary pýezoelektrik koeffisiýentler (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) 5G RF süzgüçleri üçin girizme ýitgisi <1.5dB bolan ýokary ýygylykly SAW/BAW enjamlaryna mümkinçilik berýär

· Ajaýyp elektromehaniki birleşdiriji 6GHz-den kiçi we mmWave ulgamlary üçin giň zolakly (≥5%) süzgüç dizaýnlaryny goldaýar

2. Optiki häsiýetler

· 40 GHz-den ýokary geçirijilik ukybyna ýetmek üçin elektro-optik modulýatorlar üçin giň zolakly açyklyk (400-5000nm aralygynda >70% geçirijilik)

· Güýçli çyzykly däl optiki duýgurlyk (χ⁽²⁾~30pm/V) lazer ulgamlarynda netijeli ikinji garmonik döremegi (SHG) üpjün edýär

3. Daşky gurşawyň durnuklylygy

· Ýokary Kýuri temperaturasy (600°C) awtoulag derejesindäki (-40°C-dan 150°C-a çenli) gurşawlarda pýezoelektrik reaksiýany saklaýar

· Kislotalara/şerbetlere garşy himiki inertlik (pH1-13) senagat sensor ulanylyşlarynda ygtybarlylygy üpjün edýär

4. Özleşdirme mümkinçilikleri

· Ugurlandyryş inženerçiligi: Piezoelektrik jogaplar üçin X-kesim (51°), Y-kesim (0°), Z-kesim (36°)

· Doping opsiýalary: Mg bilen lehimlenen (optiki zyýana garşylyk), Zn bilen lehimlenen (güýçlendirilen d₃₃)

· Ýüzleýiş işleri: Epitaksial taýýar jylamak (Ra <0.5nm), ITO/Au metallaşdyrmasy

LiTaO₃ Waferler - Esasy ulanylyşlar

1. RF öň tarap modullary

· Temperatura ýygylyk koeffisiýenti (TCF) <|-15ppm/°C bolan 5G NR SAW süzgüçleri (zolak n77/n79)

· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz) üçin ultra giň zolakly BAW rezonatorlary

2. Integrasiýalaşdyrylan Fotonika

· Kogerent optiki aragatnaşyk üçin ýokary tizlikli Mach-Zehnder modulýatorlary (>100Gbps)

· 3-14μm aralygynda sazlanyp bilýän kesiş tolkun uzynlyklary bolan QWIP infragyzyl detektorlary

3. Awtomobil elektronikasy

· >200kHz iş ýygylygy bolan ultrases duralga datçikleri

· TPMS pýezoelektrik öwrüjileri -40°C-dan 125°C-a çenli termal siklde çydamly

4. Goranmak ulgamlary

· 60dB-den ýokary diapazondan daşary ret etmek ukybyna eýe bolan EW kabul ediji süzgüçleri

· 3-5μm MWIR radiasiýasyny geçirýän raketa gözleýji infragyzyl penjireler

5. Ösüp gelýän tehnologiýalar

· Mikrotolkundan optiki öwrüliş üçin optomehaniki kwant öwrüjiler

· Lukmançylyk ultrases şekilleri üçin PMUT massiwleri (>20MHz çözgüt)

LiTaO₃ Wafers - XKH hyzmatlary

1. Üpjünçilik zynjyryny dolandyrmak

· Standart spesifikasiýalar üçin 4 hepdelik öňünden işlemek wagty bilen bule-wafer işläp taýýarlamak

· Çykdajylaryň optimizirlenen önümçiligi bäsdeşlere garanyňda 10-15% baha artykmaçlygyny üpjün edýär

2. Özboluşly çözgütler

· Ugura görä waferleme: Optimal ARRA işlemegi üçin 36°±0.5° Y-kesiş

· Lehimlenen düzümler: Optiki ulanylyşlar üçin MgO (5mol%) lehimleme

Metallaşdyrma hyzmatlary: Cr/Au (100/1000Å) elektrod nagyşlamasy

3. Tehniki goldaw

· Materialyň häsiýetnamasy: XRD sallanma egrileri (FWHM <0.01°), AFM ýüzleý analiz

· Enjam simulýasiýa: SAW filtriniň dizaýnyny optimizirlemek üçin FEM modelirleme

Netije

LiTaO₃ waferleri RF aragatnaşyklarynda, integrasiýa edilen fotonikalarda we daşky gurşawyň ýaramaz täsirlerine garşy datçiklerde tehnologik ösüşleri üpjün etmäge dowam edýär. XKH-nyň material tejribesi, önümçilik takyklygy we programma inženerçiligi goldawy müşderilere täze nesil elektron ulgamlarynda dizaýn kynçylyklaryny ýeňip geçmäge kömek edýär.