5G/6G aragatnaşyk üçin LiTaO3 Wafer 2inch-8inch 10x10x0.5 mm 1sp 2sp
Tehniki parametrler
| At | Optik derejeli LiTaO3 | Ses tablisasy derejesi LiTaO3 |
| Ok boýunça | Z kesimi + / - 0.2 ° | 36 ° Y kesim / 42 ° Y kesim / X kesim (+ / - 0.2 °) |
| Diametr | 76.2mm + / - 0.3mm/ 100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm 100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
| Datum tekizligi | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm 32mm + /-2mm |
| Galyňlygy | 500um + /-5mm 1000um + /-5mm | 500um + /-20mm 350um + /-20mm |
| TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
| Kyuri temperaturasy | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA usuly) | 605 °C + / -3 °C (DTA usuly |
| Ýüziň hili | Iki taraplaýyn jylamak | Iki taraplaýyn jylamak |
| Gyrymsy gyralar | gyralary tegeleklemek | gyralary tegeleklemek |
Esasy häsiýetler
1. Elektrik we optiki öndürijilik
· Elektro-optik koeffisiýent: r33 30 pm/V-a ýetýär (X-kesiş), bu bolsa LiNbO3-den 1,5 esse ýokary, bu bolsa ultra giň zolakly elektro-optik modulýasiýany (>40 GHz geçirijilik ukyby) üpjün edýär.
· Giň spektrli jogap: Geçiriş aralygy 0.4–5.0 μm (8 mm galyňlyk), ultramelewşe şöhleleriň siňdiriş gyrasy 280 nm çenli pes, ultramelewşe lazerler we kwantum nokat enjamlary üçin ideal.
· Pes Piroelektrik Koeffisiýent: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), ýokary temperaturaly infragyzyl sensorlarda durnuklylygy üpjün edýär.
2. Termal we mehaniki häsiýetler
· Ýokary ýylylyk geçirijiligi: 4.6 W/m·K (X görnüşinde kesilen), kwarsyňkydan dört esse ýokary, -200–500°C ýylylyk siklini saklaýar.
· Pes Termal Giňelme Koeffisiýenti: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), termal stresi azaltmak üçin kremniý gaplamasy bilen utgaşykly.
3. Kemçilikleriň gözegçiligi we işlemegiň takyklygy
· Mikrotrubanyň dykyzlygy: <0.1 sm⁻² (8 dýuýmlyk plitalar), dislokasiýa dykyzlygy <500 sm⁻² (KOH aşındyrmasy arkaly tassyklanyldy).
· Ýüzleýiş hili: Ra <0.5 nm çenli CMP bilen jylaňlandyrylan, EUV litografiýa derejesindäki tekizlik talaplaryna laýyk gelýär.
Esasy programmalar
| Domen | Ulanyş ssenarileri | Tehniki artykmaçlyklar |
| Optiki aragatnaşyk | 100G/400G DWDM lazerleri, kremniý fotonika gibrid modullary | LiTaO3 plastinkasynyň giň spektral geçirijiligi we tolkun geçirijisiniň pes ýitgisi (α <0.1 dB/sm) C-zolagyny giňeltmäge mümkinçilik berýär. |
| 5G/6G Aragatnaşyk | SAW filtrleri (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR filtrleri | 42°Y kesilen waferler Kt² >15% -e ýetýär, bu bolsa pes goýma ýitgisini (<1.5 dB) we ýokary rulony (>30 dB) üpjün edýär. |
| Kwant tehnologiýalary | Bir fotonly detektorlar, parametrik aşak öwrülme çeşmeleri | Ýokary çyzykly däl koeffisiýent (χ(2)=40 pm/V) we pes garaňky sanaýyş tizligi (<100 sanaýyş/s) kwantum takyklygyny ýokarlandyrýar. |
| Senagat duýujylygy | Ýokary temperatura basyş datçikleri, tok transformatorlary | LiTaO3 plastinkasynyň pýezoelektrik jogaby (g33 >20 mV/m) we ýokary temperatura çydamlylygy (>400°C) ekstremal şertlere laýyk gelýär. |
XXKH hyzmatlary
1. Waferiň ýörite öndürilişi
· Ölçegi we kesimi: X/Y/Z kesimi, 42°Y kesimi we ýörite burç kesimi (±0.01° çydamlylyk) bolan 2–8 dýuýmlyk waferler.
· Doping gözegçiligi: Elektro-optik koeffisiýentleri we termal durnuklylygy optimizirlemek üçin Çozralski usuly arkaly Fe, Mg goşundysy (konsentrasiýa aralygy 10¹⁶–10¹⁹ sm⁻³).
2. Ösen proses tehnologiýalary
?
· Periodik Polýalaşdyrma (PPLT): LTOI plitalary üçin Smart-Cut tehnologiýasy, ±10 nm domen döwrüniň takyklygyna we kwazifaza gabat gelýän (QPM) ýygylyk konwersiýasyna ýetýär.
· Geterogen integrasiýa: Ýokary ýygylykly SAW süzgüçleri üçin galyňlygy gözegçilikde (300–600 nm) we 8,78 W/m·K çenli ýylylyk geçirijiligi bolan Si esasly LiTaO3 kompozit plastinkalary (POI).
3. Hil dolandyryş ulgamlary
?
· Başdan-aýak synag: Raman spektroskopiýasy (politip barlagy), XRD (kristallik), AFM (ýüz morfologiýasy) we optiki birmeňzeşlik synagy (Δn <5×10⁻⁵).
4. Global üpjünçilik zynjyrynyň goldawy
?
· Önümçilik kuwwaty: Aýlyk önümçilik >5000 wafer (8 dýuým: 70%), 48 sagatlyk gyssagly eltip bermek bilen.
· Logistika ulgamy: Howa/deňiz ýük daşamalary arkaly Ýewropada, Demirgazyk Amerikada we Aziýa-Ýuwaş umman sebitinde temperatura gözegçilik edilýän gaplama bilen üpjünçilik.
