LT Lityum Tantalate (LiTaO3) Kristal 2inch / 3inch / 4inch / 6 寸 dýuým Orientaiton Y-42 ° / 36 ° / 108 ° Galyňlygy 250-500um

Gysga düşündiriş:

LiTaO₃ wafli ajaýyp piezoelektrik we ferroelektrik material ulgamyny görkezýär, ajaýyp piezoelektrik koeffisiýentlerini, termiki durnuklylygy we optiki häsiýetleri görkezýär, olary ýerüsti akustiki tolkun (SAW) süzgüçleri, köp akustiki tolkun (BAW) rezonatorlary, optiki modulýatorlar we infragyzyl detektorlar üçin zerur edýär. XKH ýokary hilli LiTaO₃ wafli R&D we önümçilikde ýöriteleşýär, kemçilikli dykyzlygy bilen ýokary kristal birmeňzeşligini üpjün etmek üçin ösen Czochralski (CZ) kristal ösüşini we suwuk faza epitaksiýasyny (LPE) ulanýar.

XKH 3 dýuým, 4 dýuým we 6 dýuým LiTaO₃ wafli köp kristalografiki ugry (X-kesmek, Y-kesmek, Z-kesmek) bilen üpjün edýär, ýöriteleşdirilen doping (Mg, Zn) we ýörite programma talaplaryna laýyk poling bejergisini goldaýar. Materialyň dielektrik hemişelik (ε ~ 40-50), piezoelektrik koeffisiýenti (d₃₃ ~ 8-10 pC / N) we Kýuri temperaturasy (~ 600 ° C) LiTaO₃-ny ýokary ýygylykly süzgüçler we takyk datçikler üçin ileri tutulýan substrat hökmünde kesgitleýär.

Dikligine integrirlenen önümçiligimiz, 5G aragatnaşyk, sarp ediş elektronikasy, fotonika we goranyş pudaklaryna hyzmat etmek üçin aýlyk önümçilik kuwwaty 3000 wafden ýokary bolan hrustal ösüşi, wafli, polat we inçe film çökdürmegi öz içine alýar. Optimallaşdyrylan LiTaO₃ çözgütlerini bermek üçin giňişleýin tehniki maslahat beriş, nusga häsiýetnamasy we pes göwrümli prototip hyzmatlaryny hödürleýäris.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklary

Tehniki parametrler

Ady	Optiki derejeli LiTaO3	Ses tablisasynyň derejesi LiTaO3
Ok	Z kesmek + / - 0,2 °	36 ° Y kesmek / 42 ° Y kesmek / X kesmek(+ / - 0,2 °)
Diametri	76.2mm + / - 0,3mm /100 ± 0,2mm	76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150 ± 0,5mm
Maglumat uçary	22mm + / - 2mm	22mm + / -2mm32mm + / -2mm
Galyňlyk	500um + / -5mm1000um + / -5mm	500um + / -20mm350um + / -20mm
TTV	≤ 10um	≤ 10um
Kýuri temperaturasy	605 ° C + / - 0.7 ° C (DTAmethod)	605 ° C + / -3 ° C (DTAmetod
Faceerüsti hil	Iki taraplaýyn ýalpyldawuk	Iki taraplaýyn ýalpyldawuk
Gyralary	gyrasy tegelek	gyrasy tegelek

Esasy aýratynlyklar

1.Kristal gurluşy we elektrik öndürijiligi

· Kristalografiki durnuklylyk: 100% 4H-SiC polip görnüşiniň agdyklyk etmegi, nol köp kristally goşulmalar (mysal üçin, 6H / 15R), ýarym maksimum (FWHM) ≤32.7 arksekde XRD rok egri egri.
· Carokary göterijiniň hereketi: 5,400 sm² / V · s (4H-SiC) elektron hereketi we ýokary ýygylykly enjam dizaýnlaryna mümkinçilik berýän 380 sm² / V · s deşik hereketi.
· Radiasiýa gatylygy: Aerokosmos we ýadro enjamlary üçin amatly 1 × 10¹⁵ n / sm² süýşýän zeper çäkleri bilen 1 MeV neýtron şöhlelenmesine çydamly.

2. Termiki we mehaniki aýratynlyklar

· Aýratyn ýylylyk geçirijiligi: 4,9 W / sm · K (4H-SiC), kremniniňkiden üç esse, 200 ° C-den ýokary işlemegi goldaýar.
· Pes ýylylyk giňelme koeffisienti: 4.0 × 10⁻⁶ / K (25–1000 ° C) CTE, kremniý esasly gaplamalar bilen sazlaşyklylygy üpjün etmek we ýylylyk stresini azaltmak.

3. Dolandyryş we gaýtadan işlemek takyklygy
?
· Mikrop turbanyň dykyzlygy: <0,3 sm⁻² (8 dýuým wafli), ýerleşiş dykyzlygy <1000 sm⁻² (KOH ekiş arkaly barlanýar).
· Faceerüsti hili: EUV daşbasma derejesiniň tekizlik talaplaryna laýyk gelýän CMP Ra <0,2 nm.

Esasy goýmalar

Domen	Programma ssenarileri	Tehniki artykmaçlyklary
Optiki aragatnaşyk	100G / 400G lazerler, kremniý fotonika gibrid modullary	InP tohum substratlary gönüden-göni zolakly (1,34 eV) we Si esasly heteroepitaksi üpjün edýär, optiki birikdirmäniň ýitgisini azaldýar.
Täze energiýa ulaglary	800V ýokary woltly inwertorlar, bortdaky zarýad berijiler (OBC)	4H-SiC substratlary> 1200 V çydam edýär, geçirijilik ýitgilerini 50%, ulgam göwrümini 40% azaldýar.
5G Aragatnaşyk	Millimetr tolkunly RF enjamlary (PA / LNA), esasy stansiýa güýç güýçlendirijileri	Izolýasiýa izolýasiýa SiC substratlary (garşylyk> 10⁵ Ω · sm) ýokary ýygylykly (60 GHz +) passiw integrasiýany üpjün edýär.
Senagat enjamlary	Temperatureokary temperaturaly datçikler, tok transformatorlary, ýadro reaktor monitorlary	InSb tohum substratlary (0,17 eV zolakly) 300% @ 10 T çenli magnit duýgurlygyny üpjün edýär.

LiTaO₃ Wafers - Esasy aýratynlyklar

1. Iň ýokary piezoelektrik öndürijiligi

· Pokary piezoelektrik koeffisientleri (d₃₃ ~ 8-10 pC / N, K² ~ 0,5%), 5G RF süzgüçleri üçin <1.5dB goýmak ýitgisi bilen ýokary ýygylykly SAW / BAW enjamlaryny üpjün edýär.

· Ajaýyp elektromehaniki birikdirme, 6 GGs we mmWave programmalary üçin giň zolakly (≥5%) süzgüç dizaýnlaryny goldaýar.

2. Optiki aýratynlyklar

· 40GHz zolakly giňlige ýetýän elektro-optiki modulýatorlar üçin giň zolakly aç-açanlyk (> 400-5000nm-den 70% geçiriş)

· Güýçli çyzykly optiki duýgurlyk (pm pm 30pm / V) lazer ulgamlarynda netijeli ikinji garmoniki nesli (SHG) ýeňilleşdirýär.

3. Daşky gurşawyň durnuklylygy

· Cokary Kýuri temperaturasy (600 ° C) awtoulag derejesindäki (-40 ° C-den 150 ° C) gurşawda piezoelektrik täsirini saklaýar;

· Kislotalara / aşgarlara garşy himiki inertlik (pH1-13), senagat datçikleriniň ygtybarlylygyny üpjün edýär

4. Düzeltmek mümkinçilikleri

· Ugrukdyryş in engineeringenerligi: Piezoelektrik jogaplary üçin X-kesilen (51 °), Y-kesilen (0 °), Z-kesilen (36 °)

· Doping opsiýalary: Mg-doped (optiki zeper garşylygy), Zn-doped (güýçlendirilen d₃₃)

· Faceerüsti gutarýar: Epitaksial taýýar polishing (Ra <0.5nm), ITO / Au metallizasiýa

LiTaO₃ Wafers - başlangyç programmalar

1. RF Öňdäki modullar

· 5G NR SAW süzgüçleri (Band n77 / n79) ýygylyk temperatura koeffisiýenti (TCF) <| -15ppm / ° C |

· WiFi 6E / 7 (5.925-7.125GHz) üçin ultra giň zolakly BAW rezonatorlary

2. Toplumlaýyn fotonika

· Bitewi optiki aragatnaşyk üçin ýokary tizlikli Mach-Zehnder modulýatorlary (> 100 Gb / sek)

· 3-14μm aralygynda düzülip bilinýän tolkun uzynlygy bolan QWIP infragyzyl detektorlar

3. Awtoulag elektronikasy

· 200kHz iş ýygylygy bolan ultrases awtoulag duralgasy

· TPMS piezoelektrik geçirijiler -40 ° C-den 125 ° C çenli termiki welosiped sürmek

4. Goranmak ulgamlary

· EW kabul ediji süzgüçler> 60dB zolakdan daşda ret etmek

· 3-5μm MWIR radiasiýa iberýän raketa gözleýän IR penjireleri

5. Ösüp barýan tehnologiýalar

· Mikrotolkundan optiki öwrülişik üçin optomehaniki kwant geçirijileri

· Lukmançylyk ultrases barlagy üçin PMUT massiwleri (> 20MHz durulyk)

LiTaO₃ Wafers - XKH hyzmatlary

1. Üpjünçilik zynjyryny dolandyrmak

· Adaty spesifikasiýa üçin 4 hepdelik gurşun wagty bilen bulf-wafli gaýtadan işlemek

· Bäsdeşler bilen deňeşdirilende 10-15% baha artykmaçlygyny üpjün edýän çykdajylary optimallaşdyrylan önümçilik

2. omörite çözgütler

· Ugry kesgitli wafli: optimal SAW öndürijiligi üçin 36 ° ± 0,5 ° Y kesilýär

· Dopirlenen kompozisiýalar: optiki programmalar üçin MgO (5mol%) doping

Metallizasiýa hyzmatlary: Cr / Au (100 / 1000Å) elektrod patteri

3. Tehniki goldaw

· Material häsiýetnamasy: XRD sarsdyryjy egriler (FWHM <0.01 °), AFM ýerüsti derňewi

· Enjam simulýasiýasy: SAW süzgüç dizaýnyny optimizasiýa etmek üçin FEM modelleri

Netije

LiTaO₃ wafli, RF aragatnaşygy, integral fotonika we daşky gurşaw datçikleri boýunça tehnologiki ösüşleri üpjün etmegi dowam etdirýär. XKH-iň maddy tejribesi, önümçiligiň takyklygy we amaly in engineeringenerçilik goldawy müşderilere indiki nesil elektron ulgamlarynda dizaýn kynçylyklaryny ýeňip geçmäge kömek edýär.