5G / 6G aragatnaşyk üçin LiTaO3 Wafer 2inch-8inch 10x10x0.5 mm 1sp 2sp

Gysga düşündiriş:

Üçünji nesil ýarymgeçirijilerde we optoelektronikada esasy material bolan LiTaO3 Wafer (litiý tantalat wafli), ýokary Kýuri temperaturasyny (610 ° C), giň aç-açanlyk diapazonyny (0.4–5.0 μm), ýokary piezoelektrik koeffisiýentini (d33> 1500 pC / N) we pes dielektrik ýitgilerini (d33> 1,500 pC / N) peseldýär kwant enjamlary. Fiziki bug transporty (PVT) we himiki bug çökdürilmegi (CVD) ýaly ösen önümçilik tehnologiýalaryny ulanyp, XKH X / Y / Z-kesilen, 42 ° Y kesilen we wagtal-wagtal polýus (PPLT) wafli 2-8 dýuým formatda, üstki çişligi (Ra) <0,5 nm we mikrop turbanyň dykyzlygy <0,1 sm⁻². Hyzmatlarymyz ýokary öndürijilikli optiki süzgüçlere, infragyzyl detektorlara we kwant ýagtylyk çeşmelerine ýüzlenip, Fe doping, himiki azaltmak we Smart-Cut birmeňzeş birleşmegi öz içine alýar. Bu material miniatýurizasiýa, ýokary ýygylykly işlemek we ýylylyk durnuklylygy boýunça möhüm üstünliklere itergi berýär, möhüm tehnologiýalarda içerki çalyşmagy çaltlaşdyrýar.


  • :
  • Aýratynlyklary

    Tehniki parametrler

    Ady Optiki derejeli LiTaO3 Ses tablisasynyň derejesi LiTaO3
    Ok Z kesmek + / - 0,2 ° 36 ° Y kesmek / 42 ° Y kesmek / X kesmek

    (+ / - 0,2 °)

    Diametri 76.2mm + / - 0,3mm /

    100 ± 0,2mm

    76.2mm + /-0.3mm

    100mm + /-0.3mm 0r 150 ± 0,5mm

    Maglumat uçary 22mm + / - 2mm 22mm + / -2mm

    32mm + / -2mm

    Galyňlyk 500um + / -5mm

    1000um + / -5mm

    500um + / -20mm

    350um + / -20mm

    TTV ≤ 10um ≤ 10um
    Kýuri temperaturasy 605 ° C + / - 0.7 ° C (DTAmethod) 605 ° C + / -3 ° C (DTAmetod
    Faceerüsti hil Iki taraplaýyn ýalpyldawuk Iki taraplaýyn ýalpyldawuk
    Gyralary gyrasy tegelek gyrasy tegelek

     

    Esasy aýratynlyklar

    1.Elektrik we optiki öndürijilik
    · Elektro-optiki koeffisiýenti: r33 agşam 30 / V (X kesilen), LiNbO3-den 1,5 × ýokary, ultra giň zolakly elektro-optiki modulirlemäge mümkinçilik berýär (> 40 GHz zolakly).
    · Giň spektral jogap: Ultramelewşe siňdiriş gyrasy 280 nm pes bolan UV lazerleri we kwant nokat enjamlary üçin geçiriş aralygy 0,4–5.0 μm (galyňlygy 8 mm).
    · Pirolektrik pes koeffisienti: ýokary temperatura infragyzyl datçiklerde durnuklylygy üpjün edýän dP / dT = 3,5 × 10⁻⁴ C / (m² · K).

    2. Termiki we mehaniki aýratynlyklar
    · Termokary ýylylyk geçirijiligi: 4,6 W / m · K (X kesilen), kwarsyň dört essesi, -200–500 ° C termiki welosiped sürýär.
    · Pes ýylylyk giňelme koeffisiýenti: CTE = 4.1 × 10⁻⁶ / K (25–1000 ° C), ýylylyk stresini azaltmak üçin kremniniň gaplanyşyna laýyk gelýär.
    3. Dolandyryş we gaýtadan işlemek takyklygy
    · Mikrop turbanyň dykyzlygy: <0,1 sm⁻² (8 dýuým wafli), ýerleşiş dykyzlygy <500 sm⁻² (KOH ekiş arkaly barlanýar).
    · Faceerüsti hili: EUV litografiýa derejeli tekizlik talaplaryna laýyk gelýän CMP Ra <0,5 nm.

    Esasy goýmalar

    Domen

    Programma ssenarileri

    Tehniki artykmaçlyklary

    Optiki aragatnaşyk

    100G / 400G DWDM lazerleri, kremniý fotonika gibrid modullary

    LiTaO3 wafli giň spektral geçiriş we pes tolkun gorag ýitgisi (α <0.1 dB / sm) C-bandyň giňelmegine mümkinçilik berýär.

    5G / 6G Aragatnaşyk

    SAW süzgüçleri (1.8–3.5 GGs), BAW-SMR süzgüçleri

    42 ° Y kesilen wafli Kt²> 15% -e ýetýär, pes goýulma ýitgisini (<1.5 dB) we ýokary aýlawly (> 30 dB) üpjün edýär.

    Kwant tehnologiýalary

    Photeke fotonly detektorlar, parametriki aşak öwrüliş çeşmeleri

    Lineokary çyzykly koeffisiýent (χ (2) = 40 pm / V) we pes garaňky hasaplaýyş tizligi (<100 count / s) kwant wepalylygyny ýokarlandyrýar.

    Senagat duýgurlygy

    Temperatureokary temperatura basyş datçikleri, tok transformatorlary

    LiTaO3 wafli piezoelektrik täsiri (g33> 20 mV / m) we ýokary temperatura çydamlylygy (> 400 ° C) aşa gurşawlara laýyk gelýär.

     

    XKH hyzmatlary

    1.Görite wafli önümçiligi

    · Ölçegi we kesilmegi: X / Y / Z kesilen, 42 ° Y kesilen we burç kesişleri (± 0.01 ° çydamlylyk) bilen 2–8 dýuým wafli.

    · Doping gözegçiligi: Elektro-optiki koeffisiýentleri we ýylylyk durnuklylygyny optimizirlemek üçin Czochralski usuly (konsentrasiýa aralygy 10¹⁶ - 10¹⁹ sm⁻³) arkaly Fe, Mg doping.

    2. Ösen proses tehnologiýalary
    ?
    · Döwürleýin poling (PPLT): LTOI wafli üçin “Smart-Cut” tehnologiýasy, domain 10 nm domen döwrüniň takyklygyny we kwaz-faza laýyk gelýän (QPM) ýygylygy öwürmek.

    · Geterogen integrasiýa: galyňlygy gözegçilik (300–600 nm) we ýokary ýygylykly SAW süzgüçleri üçin 8,78 W / m · K çenli ýylylyk geçirijiligi bolan Si esasly LiTaO3 birleşdirilen wafli (POI).

    3. Hil dolandyryşy ulgamlary
    ?
    · Ahyrky synag: Raman spektroskopiýasy (polip görnüşi barlamak), XRD (kristallyk), AFM (ýerüsti morfologiýa) we optiki birmeňzeşlik synagy (Δn <5 × 10⁻⁵).

    4. Global üpjünçilik zynjyry goldawy
    ?
    · Önümçilik kuwwaty: Aýlyk çykyş> 5000 wafli (8 dýuým: 70%), 48 sagatlyk gyssagly kömek.

    · Logistika tory: temperatureewropada, Demirgazyk Amerikada we Aziýa-Pacificuwaş ummanynda howa / deňiz ýükleri arkaly temperatura gözegçilik edilýän gaplamalar.

    Galplyga garşy lazer golografiki enjamlar 2
    Galplyga garşy lazer golografiki enjam 3
    Galplyga garşy lazer golografiki enjam 5

  • Öňki:
  • Indiki:

  • Habaryňyzy şu ýere ýazyň we bize iberiň