5G / 6G aragatnaşyk üçin LiTaO3 Wafer 2inch-8inch 10x10x0.5 mm 1sp 2sp
Tehniki parametrler
Ady | Optiki derejeli LiTaO3 | Ses tablisasynyň derejesi LiTaO3 |
Ok | Z kesmek + / - 0,2 ° | 36 ° Y kesmek / 42 ° Y kesmek / X kesmek (+ / - 0,2 °) |
Diametri | 76.2mm + / - 0,3mm / 100 ± 0,2mm | 76.2mm + /-0.3mm 100mm + /-0.3mm 0r 150 ± 0,5mm |
Maglumat uçary | 22mm + / - 2mm | 22mm + / -2mm 32mm + / -2mm |
Galyňlyk | 500um + / -5mm 1000um + / -5mm | 500um + / -20mm 350um + / -20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Kýuri temperaturasy | 605 ° C + / - 0.7 ° C (DTAmethod) | 605 ° C + / -3 ° C (DTAmetod |
Faceerüsti hil | Iki taraplaýyn ýalpyldawuk | Iki taraplaýyn ýalpyldawuk |
Gyralary | gyrasy tegelek | gyrasy tegelek |
Esasy aýratynlyklar
1.Elektrik we optiki öndürijilik
· Elektro-optiki koeffisiýenti: r33 agşam 30 / V (X kesilen), LiNbO3-den 1,5 × ýokary, ultra giň zolakly elektro-optiki modulirlemäge mümkinçilik berýär (> 40 GHz zolakly).
· Giň spektral jogap: Ultramelewşe siňdiriş gyrasy 280 nm pes bolan UV lazerleri we kwant nokat enjamlary üçin geçiriş aralygy 0,4–5.0 μm (galyňlygy 8 mm).
· Pirolektrik pes koeffisienti: ýokary temperatura infragyzyl datçiklerde durnuklylygy üpjün edýän dP / dT = 3,5 × 10⁻⁴ C / (m² · K).
2. Termiki we mehaniki aýratynlyklar
· Termokary ýylylyk geçirijiligi: 4,6 W / m · K (X kesilen), kwarsyň dört essesi, -200–500 ° C termiki welosiped sürýär.
· Pes ýylylyk giňelme koeffisiýenti: CTE = 4.1 × 10⁻⁶ / K (25–1000 ° C), ýylylyk stresini azaltmak üçin kremniniň gaplanyşyna laýyk gelýär.
3. Dolandyryş we gaýtadan işlemek takyklygy
· Mikrop turbanyň dykyzlygy: <0,1 sm⁻² (8 dýuým wafli), ýerleşiş dykyzlygy <500 sm⁻² (KOH ekiş arkaly barlanýar).
· Faceerüsti hili: EUV litografiýa derejeli tekizlik talaplaryna laýyk gelýän CMP Ra <0,5 nm.
Esasy goýmalar
Domen | Programma ssenarileri | Tehniki artykmaçlyklary |
Optiki aragatnaşyk | 100G / 400G DWDM lazerleri, kremniý fotonika gibrid modullary | LiTaO3 wafli giň spektral geçiriş we pes tolkun gorag ýitgisi (α <0.1 dB / sm) C-bandyň giňelmegine mümkinçilik berýär. |
5G / 6G Aragatnaşyk | SAW süzgüçleri (1.8–3.5 GGs), BAW-SMR süzgüçleri | 42 ° Y kesilen wafli Kt²> 15% -e ýetýär, pes goýulma ýitgisini (<1.5 dB) we ýokary aýlawly (> 30 dB) üpjün edýär. |
Kwant tehnologiýalary | Photeke fotonly detektorlar, parametriki aşak öwrüliş çeşmeleri | Lineokary çyzykly koeffisiýent (χ (2) = 40 pm / V) we pes garaňky hasaplaýyş tizligi (<100 count / s) kwant wepalylygyny ýokarlandyrýar. |
Senagat duýgurlygy | Temperatureokary temperatura basyş datçikleri, tok transformatorlary | LiTaO3 wafli piezoelektrik täsiri (g33> 20 mV / m) we ýokary temperatura çydamlylygy (> 400 ° C) aşa gurşawlara laýyk gelýär. |
XKH hyzmatlary
1.Görite wafli önümçiligi
· Ölçegi we kesilmegi: X / Y / Z kesilen, 42 ° Y kesilen we burç kesişleri (± 0.01 ° çydamlylyk) bilen 2–8 dýuým wafli.
· Doping gözegçiligi: Elektro-optiki koeffisiýentleri we ýylylyk durnuklylygyny optimizirlemek üçin Czochralski usuly (konsentrasiýa aralygy 10¹⁶ - 10¹⁹ sm⁻³) arkaly Fe, Mg doping.
2. Ösen proses tehnologiýalary
?
· Döwürleýin poling (PPLT): LTOI wafli üçin “Smart-Cut” tehnologiýasy, domain 10 nm domen döwrüniň takyklygyny we kwaz-faza laýyk gelýän (QPM) ýygylygy öwürmek.
· Geterogen integrasiýa: galyňlygy gözegçilik (300–600 nm) we ýokary ýygylykly SAW süzgüçleri üçin 8,78 W / m · K çenli ýylylyk geçirijiligi bolan Si esasly LiTaO3 birleşdirilen wafli (POI).
3. Hil dolandyryşy ulgamlary
?
· Ahyrky synag: Raman spektroskopiýasy (polip görnüşi barlamak), XRD (kristallyk), AFM (ýerüsti morfologiýa) we optiki birmeňzeşlik synagy (Δn <5 × 10⁻⁵).
4. Global üpjünçilik zynjyry goldawy
?
· Önümçilik kuwwaty: Aýlyk çykyş> 5000 wafli (8 dýuým: 70%), 48 sagatlyk gyssagly kömek.
· Logistika tory: temperatureewropada, Demirgazyk Amerikada we Aziýa-Pacificuwaş ummanynda howa / deňiz ýükleri arkaly temperatura gözegçilik edilýän gaplamalar.


