SiC tohum örtügini örtmek-baglamak-sinterlemek üçin integrasiýalaşdyrylan çözgüt

Gysgaça düşündiriş:

SiC tohum ýelmeşdirmesini operatora bagly işden gaýtalanýan, parametrlere esaslanýan prosese öwürmek: gözegçilik edilýän ýelmeşdiriji gatlagyň galyňlygy, howa ýassygynyň basylmagy bilen merkezi deňleşdirme, wakuum arkaly köpürjikleri arassalamak we temperatura/basyş bilen sazlanyp bilinýän kömürleşdirme berkitmesi. 6/8/12 dýuýmlyk önümçilik senariýleri üçin döredildi.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklar

Jikme-jik diagramma

SiC 晶体生长炉 SiC Kristal Ösüş Peç SiC Tohum örtügi ing Baglamak - Sintering toplumlaýyn çözgüdi

SiC 喷胶机 SiC örtük maşyny SiC tohum örtügini ýapmak–baglamak–sinterlemek üçin integrasiýalaşdyrylan çözgüt

Takyk püskürtme örtügi • Merkezi deňleşdirme bilen ýapyşdyrmak • Wakuum arkaly köpürjikleri arassalamak • Karbonizasiýa/Sinterleme arkaly birleşdirme

Önümiň umumy syny

Ol näme

Bu integrasiýa edilen çözgüt SiC kristallarynyň ösüşiniň ýokarky basgançagy üçin niýetlenendir, bu ýerde tohum/wafer grafit kagyzyna/grafit plastinkasyna (we degişli interfeýslere) birikdirilýär. Ol proses aýlawyny aşakdakylar boýunça ýapýar:

Örtük (sepilýän ýelmeşdiriji) → Ýelmeşdirmek (teňleşdirmek + preslemek + wakuum köpürjiklerini arassalamak) → Sinterleme/Kömürleşdirme (berkitmek we berkimek)

Ýelimiň emele gelmegini, köpürjikleriň aýrylmagyny we gutarnykly berkidilmegini bir zynjyr hökmünde gözegçilikde saklamak arkaly çözgüt yzygiderliligi, öndürilişi we ölçekleniş mümkinçiligini gowulandyrýar.

SiC tohum örtügini örtmek-baglamak-sinterlemek boýunça toplumlaýyn çözgüt 1

Konfigurasiýa opsiýalary

A. Ýarym awtomatiki liniýa
SiC Spreý Örtüji Maşyn → SiC Baglaýjy Maşyn → SiC Sinterleme Peçi

B. Doly awtomatiki liniýa
Awtomatiki Spreý Örtmek we Baglamak Maşyny → SiC Sinterleme Peçi
Goşmaça integrasiýalar: robot dolandyryş, kalibrleme/deňleşdirme, şahsyýeti tassyklaýjy görkezijileri okamak, köpürjikleri anyklamak

SiC tohum örtügini örtmek-baglamak-sinterlemek boýunça integrasiýalaşdyrylan çözgüt 2

Esasy peýdalar

• Gaýtalanmagy gowulandyrmak üçin ýelmeşdiriji gatlagyň galyňlygyny we örtügini gözegçilikde saklamak
• Yzygiderli gatnaşyk we basyş paýlanyşy üçin merkezi deňleşdirme we howa ýastygy basyşy
• Ýelmeşdiriji gatlagyň içindäki köpürjikleri/boşluklary azaltmak üçin wakuum arkaly köpürjikleri arassalamak
• Soňky baglanyşygy durnuklaşdyrmak üçin temperatura/basyş boýunça sazlanyp bilinýän kömürleşdirme konsolidasiýasy
• Durnukly sikl wagty, yzarlamak we liniýada hil gözegçiligi üçin awtomatlaşdyrma mümkinçilikleri

Prinsip

Näme üçin däp bolan usullar kynçylyk çekýär
Tohum baglanyşygynyň netijeliligi, adatça, üç baglanyşykly üýtgeýji bilen çäklendirilýär:

Ýelmeşýän gatlagyň yzygiderliligi (galyňlygy we deňligi)
Köpük/boşluk gözegçiligi (ýelim gatlagynda howanyň gabalyp galmagy)
Gatyşdyrylandan/kömürleşdirilenden soň baglanyşdan soňky durnuklylyk

El bilen örtüklemek, adatça, galyňlygyň deňsizligine, köpürjikleri aýyrmakda kynçylyga, içki boşluklaryň döremek howpunyň ýokarlanmagyna, grafit ýüzleriniň dyrnaklanmagyna we köpçülikleýin önümçilik üçin ölçeklenmegiň pes bolmagyna getirýär.

Spin örtük ýelim akyşynyň häsiýeti, ýüzleý dartgynlylyk we merkezden gaçyryş güýji sebäpli durnuksyz galyňlygy döredip biler. Şeýle hem, ol grafit kagyzynda/plastinkalarynda gapdal hapalanma we fiksasiýanyň çäklendirmeleri bilen ýüzbe-ýüz bolup biler we gaty maddaly ýelimleriň deň derejede örtülmegi kyn bolup biler.

SiC tohum örtügini örtmek-baglamak-sinterlemek boýunça integrasiýalaşdyrylan çözgüt 3

Integrasiýalaşdyrylan çemeleşme nähili işleýär

Örtük: Spreý örtügi nyşana alnan ýüzlerde (tohum/wafer, grafit kagyz/plastinka) has gözegçilikde saklanýan ýelmeşdiriji gatlagyň galyňlygyny we örtügini emele getirýär.

Ýelmeşdirme: Merkezi deňleşdirmek + howa ýassygynyň basylmagy yzygiderli gatnaşygy goldaýar; wakuum arkaly köpürjikleri arassalamak ýelmeşdiriji gatlakdaky gabalan howany, köpürjikleri we boşluklary azaldýar.

Sinterleme/Kömürlendirme: Temperaturany we basyşy sazlap bolýan ýokary temperaturaly konsolidasiýa, köpürjiksiz we deň basyş netijelerine gönükdirilen soňky birikdirilen interfeýsi durnuklaşdyrýar.

Salgylanma görkezijisi
Kömürleşdirme baglanyşynyň girdejiligi 90%+ ýetip biler (proses salgylanmasy). Baglanyşyň adaty girdejilik salgylanmalary Klassiki ýagdaýlar bölüminde görkezilen.

Proses

A. Ýarym awtomatiki iş akymy

1-nji ädim — Spreý örtügi (Örtük)
Durnukly galyňlygy we deň örtügi gazanmak üçin nyşana alnan ýüzlere püskürtme örtügi arkaly ýelimleýji örtük sürtüň.

2-nji ädim — Deňleşdirmek we birikdirmek (Baglamak)
Merkezi deňleşdirmegi ýerine ýetiriň, howa ýassygynyň basyşyny ulanyň we ýelim gatlagynda galan howany aýyrmak üçin wakuum arkaly köpürjikleri arassalaň.

3-nji ädim — Karbonizasiýa Konsolidasiýasy (Sinterleme/Karbonizasiýa)
Ýeňilleşdirilen bölekleri bişiriji peje geçirip, soňky baglanyşygy durnuklaşdyrmak üçin temperatura we basyşy sazlap bolýan ýokary temperaturaly kömürleşdirme konsolidasiýasyny geçiriň.

B. Doly Awtomatiki Iş Akymy

Awtomatiki püskürtme örtük we birikdirme enjamy örtük we birikdirme hereketlerini öz içine alýar we robotlaşdyrylan işleme we kalibrleme işlerini öz içine alyp biler. Içerki wariantlar yzarlamak we hil gözegçiligi üçin ID okamak we köpürjikleri anyklamak işlerini öz içine alyp biler. Soňra bölekler kömürleşdirme berkitmesi üçin sinterleme peçine iberilýär.

Proses ýolunyň çeýeligi
Interfeýs materiallaryna we ileri tutulýan tejribä baglylykda, ulgam dürli örtük yzygiderliligini we bir taraply ýa-da iki taraply püskürtme ugurlaryny goldap biler, şol bir maksady saklap galýar: durnukly ýelmeşýän gatlak → köpürjikleri netijeli arassalamak → birmeňzeş berkimek.

SiC tohum örtügini örtmek-baglamak-sinterlemek boýunça toplumlaýyn çözgüt 4

Programmalar

Esasy programma
SiC kristalynyň ösüşi, tohumlary birleşdirmekden öň: tohumlary/waferleri grafit kagyzyna/grafit plastinkasyna we degişli serhetlere birleşdirmek, soňra bolsa kömürleşdirme arkaly berkidilmek.

Ölçeg senariýleri
Konfigurasiýany saýlamak we tassyklanan proses marşrutlaşdyrmasy arkaly 6/8/12 dýuýmlyk birikdirme programmalaryny goldaýar.

Tipik laýyklyk görkezijileri
• El bilen örtüklemek galyňlygyň üýtgeýänligine, köpürjikleriň/boşluklaryň, çyzyklaryň we deňsiz hasylyň döremegine sebäp bolýar
• Spin örtüginiň galyňlygy grafit kagyzynda/plastinkalarynda durnuksyz ýa-da kyn; gapdal hapalanma/armatura çäklendirmeleri bar
• Size has berk gaýtalanýan we operatora garaşlylygy pes bolan ölçeklenýän önümçilik gerek
• Siz awtomatlaşdyrma, yzarlamak we onlaýn QC opsiýalaryny (ID + köpürjikleri anyklamak) isleýärsiňiz

Klassiki ýagdaýlar (Adaty netijeler)

Bellik: Aşakdakylar adaty salgylanma maglumatlary / proses salgylanmalarydyr. Hakyky iş görkezijisi ýelmeşdiriji ulgama, gelýän material şertlerine, tassyklanan proses penjiresine we barlag standartlaryna baglydyr.

1-nji ýagdaý — 6/8 dýuýmlyk tohum birikdirmesi (Öndürijilik we hasyllylyk boýunça salgylanma)
Grafit plastinka ýok: 6 sany/birlik/gün
Grafit plastinka bilen: 2,5 sany/birlik/gün
Baglanyşyk girdejiligi: ≥95%

2-nji mysal — 12 dýuýmlyk tohum birikdirmesi (Öndürijilik we hasyllylyk boýunça salgylanma)
Grafit plastinkasy ýok: 5 sany/birlik/gün
Grafit plastinka bilen: 2 sany/birlik/gün
Baglanyşyk girdejiligi: ≥95%

3-nji mysal — Kömürleşdirme konsolidasiýasynyň girdejililik salgylanmasy
Kömürleşdirme baglanyşynyň girdejiligi: 90%+ (proses salgylanmasy)
Maksatly netije: köpürjiksiz we birmeňzeş basyş netijeleri (tassyklama we barlag kriteriýalaryna bagly)

SiC tohum örtügini örtmek-baglamak-sinterlemek boýunça integrasiýalaşdyrylan çözgüt 5

Köp soralýan soraglar

S1: Bu çözgüt nähili esasy meseläni çözýär?
A: Ol ýelmeşdirijiniň galyňlygyny/örtügini, köpürjikleri aýyrmagyň netijeliligini we ýelmeşdirilenden soňky berkitmegi gözegçilikde saklamak arkaly tohum ýelmeşdirijiligini durnuklaşdyrýar — bu bolsa ussatlyga bagly ädimi gaýtalanýan önümçilik prosesine öwürýär.

S2: El bilen örtüklemek näme üçin köplenç köpürjikleriň/boşluklaryň döremegine getirýär?
A: El bilen ulanylýan usullar yzygiderli galyňlygy saklamakda kynçylyk çekýär, bu bolsa köpürjikleri arassalamagy kynlaşdyrýar we howanyň gabalyp galmagynyň töwekgelçiligini ýokarlandyrýar. Şeýle hem, olar grafit ýüzlerini dyrnap bilýärler we göwrümde standartlaşdyrmak kyn.

S3: Bu ulanylyş üçin näme üçin spin örtügi durnuksyz bolup biler?
A: Galyňlyk ýelmeşdiriji akymyň häsiýetine, ýüzleý dartgynlylyga we merkezden gaçyryş güýjüne duýgurdyr. Grafit kagyzynyň/plastinkanyň örtügi armatura we gapdaldaky hapalanma howpy bilen çäklendirilip bilner, şeýle hem gaty maddalary bolan ýelmeşdirijileri birmeňzeş aýlamak kyn bolup biler.

Biz barada

XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.