ICP üçin 4inch 6inch wafli saklaýjy üçin SiC keramiki plastinka / tarelka

ICP Aýratyn şekil üçin 4inch 6inch wafli saklaýjy üçin SiC keramiki plastinka / tarelka

Gysga düşündiriş:

SiC keramiki plastinka ýokary ýylylyk, himiki we mehaniki şertlerde ulanmak üçin döredilen ýokary arassalykly Silikon Karbidden öndürilen ýokary öndürijilikli komponentdir. Ajaýyp gatylygy, ýylylyk geçirijiligi we poslama garşylygy bilen tanalýan SiC plastinka ýarymgeçiriji, LED, fotoelektrik we howa giňişliginde wafli göteriji, duýgur ýa-da gurluş bölegi hökmünde giňden ulanylýar.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklary

SiC keramiki plastinka Abstrakt

1600 ° C-e çenli ajaýyp ýylylyk durnuklylygy we reaktiw gazlara we plazma gurşawyna ajaýyp garşylyk bilen, SiC plastinka ýokary gyzgynlyk, çöketlik we diffuziýa proseslerinde yzygiderli işlemegi üpjün edýär. Dykyz, gözenekli däl mikrostruktura bölejikleriň emele gelmegini azaldýar, wakuum ýa-da arassa otagda ultra arassa programmalar üçin ideal edýär.

SiC keramiki plastinka

1. icarymgeçiriji önümçiligi

SiC keramiki plitalary, adatça, CVD (Himiki bug çöketligi), PVD (Fiziki bug çöketligi) we efir ulgamlary ýaly ýarymgeçiriji ýasama enjamlarynda wafli göterijiler, duýgurlar we pedal plitalar hökmünde ulanylýar. Olaryň ajaýyp ýylylyk geçirijiligi we pes ýylylyk giňelmegi, ýokary takyk wafli gaýtadan işlemek üçin möhüm bolan birmeňzeş temperatura paýlanyşyny saklamaga mümkinçilik berýär. SiC-iň poslaýjy gazlara we plazmalara garşylygy, agyr şertlerde çydamlylygy üpjün edýär, bölejikleriň hapalanmagyny we enjamlaryň hyzmatyny azaltmaga kömek edýär.

2. LED senagaty - ICP Etching

LED önümçilik pudagynda SiC plitalary ICP (Induktiw jübüt plazma) ulgamlarynyň esasy bölekleridir. Wafli saklaýjy hökmünde çykyş edip, plazmany gaýtadan işlemekde sapfir ýa-da GaN wafli goldamak üçin durnukly we termiki taýdan berk platforma üpjün edýär. Olaryň ajaýyp plazma garşylygy, ýerüsti tekizligi we ölçegli durnuklylygy ýokary dykyzlygyň takyklygyny we birmeňzeşligini üpjün etmäge kömek edýär, bu bolsa LED çiplerinde öndürijiligiň we enjamyň işleýşiniň ýokarlanmagyna getirýär.

3. Fotowoltaika (PV) we Gün energiýasy

SiC keramiki plitalary gün öýjüginiň önümçiliginde, esasanam ýokary temperatura süzgüç we ýanma ädimlerinde ulanylýar. Olaryň ýokary temperaturadaky inertsiýasy we kremniý wafli yzygiderli işlenmegini üpjün edýär. Mundan başga-da, pes hapalanmak töwekgelçiligi fotoelektrik öýjükleriniň netijeliligini saklamak üçin möhümdir.

SiC keramiki plastinka häsiýetleri

1. Aýratyn mehaniki güýç we gatylyk

SiC keramiki plitalary gaty ýokary mehaniki güýji görkezýär, adaty flexural güýji 400 MPa-dan we Wikersiň gatylygy> 2000 HV-e ýetýär. Bu olary mehaniki könelişmä, aşgazana we deformasiýa garşy ýokary çydamly edýär, hatda ýokary ýükli ýa-da gaýtalanýan termiki welosiped sürmekde-de uzak ömri üpjün edýär.

2. Highokary ýylylyk geçirijiligi

SiC ajaýyp ýylylyk geçirijiligine (adatça 120–200 W / m · K) eýe bolup, ýylylygy ýer ýüzüne deň paýlamaga mümkinçilik berýär. Bu häsiýet, temperaturanyň birmeňzeşligi önümiň öndürijiligine we hiline gönüden-göni täsir edýän wafli siňdirmek, çökdürmek ýa-da süzmek ýaly proseslerde möhümdir.

3. Iň ýokary ýylylyk durnuklylygy

Cokary eriş nokady (2700 ° C) we ýylylyk giňelişiniň pes koeffisiýenti (4.0 × 10⁻⁶ / K) bilen, SiC keramiki plitalary çalt ýyladyş we sowadyş sikllerinde ölçeg takyklygyny we gurluş bitewiligini saklaýar. Bu olary ýokary temperaturaly peçlerde, wakuum kameralarynda we plazma şertlerinde ulanmak üçin ideal edýär.

Tehniki aýratynlyklar
Indeks	Bölüm	Gymmatlyk
Material ady		Reaksiýa Sintirlenen Silikon Karbid	Basyşsyz sintirlenen kremniy karbid	Silikon karbidi gaýtadan dikeltdi
Kompozisiýa		RBSiC	SSiC	R-SiC
Köp dykyzlygy	g / cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Fleksural güýç	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 ° C) 90-100 (1400 ° C)
Sykyş güýji	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Gatylyk	Knoop	2700	2800	/
Güýçliligi bozmak	MPa m1 / 2	4.5	4	/
Malylylyk geçirijiligi	W / mk	95	120	23
Malylylyk giňeliş koeffisiýenti	10^-6.1 / ° C.	5	4	4.7
Aýratyn ýylylyk	Joule / g 0k	0.8	0.67	/
Howadaky iň ýokary temperatura	℃	1200	1500	1600
Elastik modul	Gpa	360	410	240

SiC keramiki plastinka Sorag-jogap

S sil Silikon karbid plastinkasynyň aýratynlyklary näme?

A ： Silikon karbid (SiC) plitalary ýokary güýji, gatylygy we ýylylyk durnuklylygy bilen tanalýar. Ajaýyp ýylylyk geçirijiligini we pes ýylylyk giňelmegini hödürleýär, aşa temperaturada ygtybarly öndürijiligi üpjün edýär. SiC himiki taýdan inert, kislotalara, aşgarlara we plazma gurşawyna çydamly, ýarymgeçiriji we LED gaýtadan işlemek üçin amatlydyr. Onuň dykyz, tekiz üstü, arassa otagyň sazlaşygyny saklap, bölejikleriň emele gelmegini azaldýar. SiC plitalary ýarymgeçiriji, fotoelektrik we howa giňişliginde ýokary temperaturaly we poslaýjy şertlerde wafli göterijiler, duýgurlar we goldaw komponentleri hökmünde giňden ulanylýar.