Safir SiC Si üçin Ion şöhlelerini ýuwýan maşyn
Jikme-jik diagramma
Ion şöhlelerini ýuwýan maşynyň önümine syn
Ion şöhle şekillendiriş we ýalpyldawuk maşyn, ionyň dökülmegi prinsipine esaslanýar. Vokary wakuum kamerasynyň içinde ion çeşmesi ýokary energiýaly ion şöhlesine tizlenýän plazma döredýär. Bu şöhle optiki komponentiň ýüzüni bombalaýar, ultra-takyk ýerüsti düzediş we gutarmak üçin atom şkalasyndaky materiallary aýyrýar.
Aragatnaşyk däl proses hökmünde ion şöhlelerini ýuwmak mehaniki stresleri ýok edýär we ýerasty zeperlerden gaça durýar, bu astronomiýada, howa giňişliginde, ýarymgeçirijilerde we ösen gözleg programmalarynda ulanylýan ýokary takyk optiki öndürmek üçin amatly bolýar.
Ion şöhlelerini ýuwýan maşynyň iş prinsipi
Ion nesli
Inert gaz (meselem, argon) wakuum kamerasyna girizilýär we plazma emele getirmek üçin elektrik togunyň üsti bilen ionlaşdyrylýar.
Tizlenme we şöhläniň emele gelmegi
Ionlar birnäçe ýüz ýa-da müň elektron wolta (eV) tizlenýär we durnukly, gönükdirilen şöhle nokadyna öwrülýär.
Material aýyrmak
Ion şöhlesi himiki reaksiýalary başlamazdan atomlary fiziki taýdan pytradýar.
Roralňyşlygy ýüze çykarmak we ýoly meýilleşdirmek
Faceerüsti şekil gyşarmalary interferometriýa bilen ölçelýär. Aýyrmak funksiýalary ýaşaýyş wagtyny kesgitlemek we optimal gural ýollaryny döretmek üçin ulanylýar.
Osedapyk aýlawly düzediş
Gaýtadan işlemegiň we ölçemegiň gaýtalanýan siklleri RMS / PV takyklyk maksatlaryna ýetýänçä dowam edýär.
Ion şöhlelerini ýuwýan maşynyň esasy aýratynlyklary
Univershliumumy ýerüsti laýyklyk- Tekiz, sferik, asferiki we erkin görnüşli ýüzler
Ultra durnukly aýyrmagyň derejesi- Sub-nanometr şekilini düzetmäge mümkinçilik berýär
Zyýansyz gaýtadan işlemek- Hiç hili ýerasty kemçilikler ýa-da gurluş üýtgemeleri ýok
Yzygiderli ýerine ýetiriş- Dürli gatylyk materiallarynda deň derejede işleýär
Pes / orta ýygylygy düzetmek- Orta / ýokary ýygylykly artefaktlary döretmezden ýalňyşlyklary ýok edýär
Pes tehniki hyzmat- Iň az iş wagty bilen uzak dowamly işlemek
Ion şöhlelerini ýuwýan maşynyň esasy tehniki aýratynlyklary
| Haryt | Spesifikasiýa |
| Gaýtadan işlemegiň usuly | Ion ýokary wakuum gurşawynda tüýkürýär |
| Gaýtadan işlemegiň görnüşi | Aragatnaşyk däl ýerüsti şekillendiriş we ýalpyldawuk |
| Iň uly iş bölegi | 0004000 mm |
| Hereket oklary | 3-ok / 5-ok |
| Aýyrmagyň durnuklylygy | ≥95% |
| Faceerüsti takyklyk | PV <10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (adaty RMS <1 nm; PV <15 nm) |
| Quygylygy düzetmek ukyby | Orta / ýokary ýygylykdaky ýalňyşlyklary girizmezden pes - orta ýygylykdaky ýalňyşlyklary aýyrýar |
| Üznüksiz işlemek | Wakuum hyzmaty bolmazdan 3-5 hepde |
| Bejeriş bahasy | Pes |
Ion şöhlelerini ýuwýan maşynyň gaýtadan işlemek mümkinçilikleri
Goldanýan ýerüsti görnüşleri
Pleönekeý: tekiz, sferik, prizma
Çylşyrymly: Simmetrik / asimmetrik asfera, okuň daşynda, silindr görnüşinde
Specialörite: Ultra inçe optika, süýüm optika, ýarym şar optika, laýyk optika, faza plitalary, erkin görnüşli ýüzler
Goldaw materiallary
Optiki aýna: Kwars, mikrokristal, K9 we ş.m.
Infragyzyl materiallar: Silikon, germaniý we ş.m.
Metallar: Alýumin, poslamaýan polat, titan garyndysy we ş.m.
Kristallar: YAG, bir kristal kremniy karbid we ş.m.
Gaty / döwük materiallar: Silikon karbid we ş.m.
Faceerüsti hil / takyklyk
PV <10 nm
RMS ≤ 0,5 nm
Ion şöhlelerini ýuwýan maşynyň mysallary gaýtadan işlemek
1-nji hadysa - standart tekiz aýna
Iş bölegi: D630 mm kwars tekiz
Netije: PV 46,4 nm; RMS 4.63 nm
2-nji hadysa - rentgen şöhlelendiriji aýna
Iş bölegi: 150 × 30 mm kremniý tekiz
Netije: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Eňňit 0,13 µrad
3-nji hadysa - Okuň daşynda aýna
Iş bölegi: D326 mm okuň daşyndaky aýna
Netije: PV 35,9 nm; RMS 3.9 nm
Kwars äýneginiň soraglary
Sorag-jogap - Ion şöhlelerini ýuwýan maşyn
1-nji sorag: Ion şöhlelerini ýuwmak näme?
A1:Ion şöhlelerini ýuwmak, kontakt däl proses bolup, iş ýeriniň üstündäki materiallary aýyrmak üçin ionlaryň (argon ionlary ýaly) şöhlelerini ulanýar. Ionlar çaltlaşdyrylýar we ýer ýüzüne gönükdirilýär, atom derejesindäki materiallaryň aýrylmagyna sebäp bolýar, netijede ultra-tekiz gutarýar. Bu amal mehaniki stresleri we ýerasty zeperleri ýok edýär we takyk optiki komponentler üçin ideal edýär.
2-nji sorag: Ion şöhlelerini ýuwýan maşyn haýsy görnüşleri işläp biler?
A2:TheIon şöhlelerini ýuwýan maşynýaly ýönekeý optiki komponentleri goşmak bilen dürli ýüzleri gaýtadan işläp bilerkwartiralar, sferalar we prizmalarýaly çylşyrymly geometriýalar ýalyasferalar, okdan daşarky asferler, weerkin görnüşli ýüzler. Esasanam optiki aýna, infragyzyl optika, metallar we gaty / döwük materiallar ýaly materiallarda has täsirli.
3-nji sorag: Ion şöhlelerini ýuwýan maşyn haýsy materiallar bilen işläp biler?
A3:TheIon şöhlelerini ýuwýan maşynköp sanly materiallary ýuwup biler, şol sanda:
-
Optiki aýna: Kwars, mikrokristal, K9 we ş.m.
-
Infragyzyl materiallar: Silikon, germaniý we ş.m.
-
Metallar: Alýumin, poslamaýan polat, titan garyndysy we ş.m.
-
Kristal materiallar: YAG, bir kristal kremniy karbid we ş.m.
-
Beýleki gaty / döwük materiallar: Silikon karbid we ş.m.
Biz hakda
XKH ýokary tehnologiýaly ösüşde, ýörite optiki aýna we täze kristal materiallary öndürmekde we satmakda ýöriteleşendir. Önümlerimiz optiki elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby gulluga hyzmat edýär. Safir optiki komponentlerini, jübi telefonynyň obýektiw örtüklerini, Keramika, LT, Silikon Karbid SIK, Kwars we ýarymgeçiriji kristal wafli hödürleýäris. Tejribeli tejribe we iň täze enjamlar bilen, öňdebaryjy optoelektroniki materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmak maksady bilen, önümi standart däl gaýtadan işlemekde ökde.
