Sapfir SiC Si üçin Ion Şöhlesi Jylaw Maşyn
Jikme-jik diagramma
Ion Şöhleli Jylaw Maşynyň Önümine Syn
Ion Şöhlesini şekillendirýän we jylaňlaýan maşyn ion püskürtme prinsipine esaslanýar. Ýokary wakuum kamerasynyň içinde ion çeşmesi plazma döredýär, ol bolsa ýokary energiýaly ion şöhlesine çaltlaşdyrylýar. Bu şöhle optiki komponentiň ýüzüni bombalaýar, örän takyk ýüz düzetmesini we bejerişini gazanmak üçin atom ölçegindäki materiallary aýyrýar.
Kontaktsyz proses hökmünde, ion şöhlelerini jylamak mehaniki dartgynlylygy aradan aýyrýar we ýerasty zeperlenmeleriň öňüni alýar, bu bolsa ony astronomiýada, awiakosmosda, ýarymgeçirijilerde we öňdebaryjy ylmy-barlag işlerinde ulanylýan ýokary takyklykly optika öndürmek üçin amatly edýär.
Ion şöhleli jylawlaýjy maşynyň iş prinsipi
Ion döremegi
Inert gaz (meselem, argon) wakuum kamerasyna girizilýär we elektrik boşalmasy arkaly ionlaşdyrylyp, plazma emele getirýär.
Tizlenme we Şöhle emele gelmegi
Ionlar birnäçe ýüz ýa-da müňlerçe elektron wolt (eV) çenli tizleşdirilýär we durnukly, fokuslanan şöhle nokadyna öwrülýär.
Materiallary aýyrmak
Ion şöhlesi himiki reaksiýalary başlatmazdan, atomlary fiziki taýdan ýüzden püskürdýär.
Ýalňyşlyklary anyklamak we ýol meýilnamasyny düzmek
Ýüz şekilleriniň üýtgemeleri interferometriýa bilen ölçenýär. Aýyrmak funksiýalary saklanma wagtlaryny kesgitlemek we optimizirlenen gural ýollaryny döretmek üçin ulanylýar.
Ýapyk aýlawly düzediş
Işlemegiň we ölçemegiň gaýtalanýan siklleri RMS/PV takyklyk maksatlaryna ýetilýänçä dowam edýär.
Ion Şöhlesi Jilalaýjy Maşynyň Esasy Aýratynlyklary
Umumy ýüzleý utgaşyklygy– Tekiz, sferiki, asferiki we erkin görnüşli ýüzleri işläp çykarýar
Ultra-Durnukly Aýyrma Tizligi– Nanometrden kiçi figura düzetmesini üpjün edýär
Zyýansyz işleme– Ýerasty kemçilikler ýa-da gurluş üýtgeşmeleri ýok
Yzygiderli iş görkezijisi– Dürli berklikdäki materiallarda deň derejede gowy işleýär
Pes/Ortaça Ýygylykly Düzeltme– Orta/ýokary ýygylykly artefaktlary döretmezden ýalňyşlyklary aradan aýyrýar
Tehniki hyzmatyň pes talaplary– Minimal iş wagtynda uzak wagtlap üznüksiz işlemek
Ion Şöhleli Jylaw Maşynyň Esasy Tehniki Aýratynlyklary
| Haryt | Spesifikasiýa |
| Gaýtadan işlemek usuly | Ýokary wakuumly gurşawda ion püskürmesi |
| Gaýtadan işlemegiň görnüşi | Kontaktsyz ýüz şekillerini şekillendirmek we jylamak |
| Iş böleginiň maksimum ölçegi | Φ4000 mm |
| Hereket oklary | 3 okly / 5 okly |
| Çykaryş durnuklylygy | ≥95% |
| Ýüzleýiş takyklygy | PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (adaty RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
| Ýygylygy düzetmek ukyby | Orta/ýokary ýygylykly ýalňyşlyklary girizmezden, pes-orta ýygylykly ýalňyşlyklary aýyrýar |
| Üznüksiz işleýiş | wakuum tehniki hyzmaty bolmazdan 3–5 hepde |
| Tehniki hyzmat çykdajylary | Pes |
Ion Şöhlesi Jilalaýjy Maşynyň Işläp Çykaryş Ukyplary
Goldanýan ýüz görnüşleri
Ýönekeý: Tekiz, sferiki, prizma
Çylşyrymly: Simmetrik/assimetrik asfera, okdan daşary asfera, silindrik
Ýörite: Ultra inçe optika, çyzykly optika, ýarymsferiki optika, konformal optika, faza plitalary, erkin görnüşli ýüzler
Goldanýan materiallar
Optiki aýna: Kwars, mikrokristallik, K9 we ş.m.
Infragyzyl materiallar: kremniý, germaný we ş.m.
Metallar: Alýumin, poslamaýan polat, titan lehimi we ş.m.
Kristallar: YAG, monokristal kremniý karbidi we ş.m.
Gaty/söwünýän materiallar: Kremniý karbidi we ş.m.
Ýüzleýiş Hili / Takyklyk
PV < 10 nm
RMS ≤ 0.5 nm
Ion şöhlelerini jylamak maşynynyň işlenip düzülýän mysallary
1-nji ýagdaý – Standart tekiz aýna
Iş bölegi: D630 mm kwars tekiz
Netije: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm
2-nji ýagdaý – Rentgen şöhlesini şöhlelendirýän aýna
Iş bölegi: 150 × 30 mm silikon tekiz
Netije: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Eğim 0.13 µrad
3-nji ýagdaý – Okdan daşary aýna
Iş bölegi: D326 mm okdan daşary ýer aýnasy
Netije: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm
Kwars aýnalary barada köp berilýän soraglar
Köplenç berilýän soraglar – Ion şöhlelerini jylamak üçin maşyn
S1: Ion şöhlesi bilen jylamak näme?
A1:Ion şöhlesi bilen jylamak, iş böleginiň ýüzünden materiallary aýyrmak üçin ionlaryň fokuslanan şöhlesini (meselem, argon ionlaryny) ulanýan kontaktsyz prosesdir. Ionlar tizleşdirilýär we ýüze tarap gönükdirilýär, bu bolsa atom derejesindäki materiallaryň aýrylmagyna getirýär we netijede örän ýumşak örtükler gazanylýar. Bu proses mehaniki dartgynlylygy we ýerasty zeperleri aradan aýyrýar, bu bolsa ony takyk optiki bölekler üçin amatly edýär.
S2: Ion Şöhleli Jylaw Maşyny nähili ýüzleri işläp bilýär?
A2:TheIon Şöhlesi Jilalaýjy Maşynýaly ýönekeý optiki komponentler bilen birlikde dürli ýüzleri işläp bilýärtekizlikler, sferalar we prizmalar, şeýle hem çylşyrymly geometriýalar ýalyasferalar, okdan daşary asferalar, weerkin görnüşli ýüzlerOl, esasanam, optiki aýna, infragyzyl optika, metallar we gaty/möwünç materiallar ýaly materiallarda täsirli.
S3: Ion Şöhleli Jylaw Maşyny haýsy materiallar bilen işläp biler?
A3:TheIon Şöhlesi Jilalaýjy Maşyndürli materiallary, şol sanda aşakdakylary jylap bilýär:
-
Optiki aýna: Kwars, mikrokristallik, K9 we ş.m.
-
Infragyzyl materiallar: Kremniý, germaný we ş.m.
-
Metallar: Alýumin, poslamaýan polat, titan leşigi we ş.m.
-
Kristal materiallar: YAG, monokristally kremniý karbidi we ş.m.
-
Beýleki gaty/köwüşginli materiallar: Kremniý karbidi we ş.m.
Biz barada
XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.















