Optiki aragatnaşyk üçin Dia 205/203/208 4H-N görnüşli SiC tohum kristal substratlary

Gysgaça düşündiriş:

Üçünji nesil ýarymgeçiriji materiallaryň esasy daşaýjylary hökmünde SiC (kremniý karbidi) tohum kristal substratlary, optoelektronika, täze energiýa ulaglary, 5G aragatnaşygy we awiakosmos ulgamlary üçin esasy materiallar hökmünde hyzmat etmek üçin ýokary ýylylyk geçirijiligini (4.9 W/sm·K), örän ýokary dargama meýdan güýjüni (2–4 MV/sm) we giň zolak aralygyny (3.2 eV) ulanýarlar. Fiziki bug daşamagy (PVT) we suwuk fazaly epitaksiýa (LPE) ýaly ösen önümçilik tehnologiýalary arkaly XKH 2–12 dýuýmlyk plastinka formatlarynda 4H/6H-N görnüşli, ýarym izolýasiýaly we 3C-SiC politip tohum substratlaryny üpjün edýär, mikrotrubalaryň dykyzlygy 0.3 sm⁻²-den aşak, garşylygy 20–23 mΩ·sm aralygynda we ýüzüniň bükülmesi (Ra) <0.2 nm. Biziň hyzmatlarymyz geteroepitaksial ösüş (meselem, SiC-on-Si), nanosölçegli takyk işleme (± 0.1 μm çydamlylyk) we global çalt eltip bermegi öz içine alýar, bu bolsa müşderilere tehniki päsgelçilikleri ýeňip geçmäge we uglerod bitaraplygyny we akylly özgertmäni çaltlaşdyrmaga mümkinçilik berýär.


  • :
  • Aýratynlyklar

    Tehniki parametrler

    Kremniý karbid tohum waferi

    Köptip

    4H

    Ýüziň ugry boýunça ýalňyşlyk

    4° tarap <11-20>±0.5º

    Garşylyklylyk

    özleşdirme

    Diametr

    205±0.5mm

    Galyňlygy

    600±50μm

    Göwünsizlik

    CMP, Ra≤0.2nm

    Mikrotrubanyň dykyzlygy

    ≤1 ea/sm2

    Çyzyklar

    ≤5, Jemi uzynlyk ≤2 * Diametr

    Gyra bölekleri/içlikleri

    Hiç hili

    Öň tarapdaky lazer belligi

    Hiç hili

    Çyzyklar

    ≤2, Jemi uzynlyk ≤ Diametr

    Gyra bölekleri/içlikleri

    Hiç hili

    Köptipli sebitler

    Hiç hili

    Arka lazer bilen belliklemek

    1 mm (ýokarky gyradan)

    Gyra

    Paxça

    Gaplama

    Köp waferli kasset

    Esasy häsiýetler

    1. Kristal gurluşy we elektrik öndürijiligi

    · Kristallografik Durnuklylyk: 100% 4H-SiC politip agdyklyk edýär, köpkristallik goşulmalar ýok (meselem, 6H/15R), ýarym maksimumda (FWHM) ≤32.7 arksek XRD sallanma egrisi doly giňlikde.

    · Ýokary Daşaýjy Hereketliligi: 5400 sm²/V·s (4H-SiC) elektron hereketliligi we 380 sm²/V·s deşik hereketliligi, ýokary ýygylykly enjam dizaýnlaryny döretmäge mümkinçilik berýär.

    ·Radiasiýanyň gatylygy: 1 × 10¹⁵ n/sm² süýşme zyýanynyň bosagasy bilen 1 MeV neýtron şöhlelenmesine çydamly, aerokosmos we ýadro ulgamlary üçin ideal.

    2. Termal we mehaniki häsiýetler

    · Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi: 4.9 W/sm·K (4H-SiC), kremniýiň üç esse ýokary, 200°C-den ýokary temperaturada işlemegi goldaýar.

    · Pes Termal Giňelme Koeffisiýenti: 4.0 × 10⁻⁶/K (25–1000°C) CTE, kremniý esasly gaplama bilen utgaşyklylygy üpjün edýär we termal stresi iň pes derejä düşürýär.

    3. Kemçilikleriň gözegçiligi we işlemegiň takyklygy

    · Mikrotrubanyň dykyzlygy: <0.3 sm⁻² (8 dýuýmlyk plitalar), dislokasiýa dykyzlygy <1000 sm⁻² (KOH aşındyrmasy arkaly tassyklanyldy).

    · Ýüzleýiş hili: Ra <0.2 nm çenli CMP bilen jylaňlandyrylan, EUV litografiýa derejesindäki tekizlik talaplaryna laýyk gelýär.

    Esasy programmalar

     

    Domen

    Ulanyş ssenarileri

    Tehniki artykmaçlyklar

    Optiki aragatnaşyk

    100G/400G lazerleri, kremniý fotonika gibrid modullary

    InP tohum substratlary göni zolak aralygyny (1.34 eV) we Si esasly geteroepitaksiýany üpjün edýär, optiki baglanyşyk ýitgisini azaldýar.

    Täze energiýa ulaglary

    800V ýokary woltly inwertorlar, bortdaky zarýad berijiler (OBC)

    4H-SiC substratlary >1200 V çydamly bolup, geçirijilik ýitgilerini 50% we ulgamyň göwrümini 40% azaldýar.

    5G Aragatnaşyk

    Millimetr tolkunly RF enjamlary (PA/LNA), baza stansiýasynyň güýç güýçlendirijileri

    Ýarym izolýasiýa ediji SiC substratlary (garşylyk >10⁵ Ω·sm) ýokary ýygylykly (60 GHz+) passiw integrasiýany üpjün edýär.

    Senagat enjamlary

    Ýokary temperatura datçikleri, tok transformatorlary, ýadro reaktorlarynyň monitorlary

    InSb tohum substratlary (0.17 eV zolak aralygy) 10 T-de 300% çenli magnit duýgurlygyny üpjün edýär.

     

    Esasy artykmaçlyklar

    SiC (kremniý karbidi) tohum kristal substratlary 4.9 W/sm·K ýylylyk geçirijiligi, 2–4 MV/sm döwülme meýdanynyň güýji we 3.2 eV giň zolak aralygy bilen deňsiz-taýsyz öndürijiligi üpjün edýär, bu bolsa ýokary kuwwatly, ýokary ýygylykly we ýokary temperatura ulanylyşyny üpjün edýär. Mikrotrubalaryň dykyzlygy nol we dislokasiýa dykyzlygy <1000 sm⁻² bolan bu substratlar ekstremal şertlerde ygtybarlylygy üpjün edýär. Olaryň himiki inertligi we CVD bilen utgaşykly ýüzleri (Ra <0.2 nm) optoelektronika we EV energiýa ulgamlary üçin ösen geteroepitaksial ösüşi (meselem, SiC-on-Si) goldaýar.

    XKH hyzmatlary:

    1. Özleşdirilen önümçilik

    · Çeýe Wafer Formatlary: tegelek, gönüburçluk ýa-da öz islegiňize laýyk kesikli 2–12 dýuýmlyk waferler (±0,01 mm çydamlylyk).

    · Doping gözegçiligi: CVD arkaly azot (N) we alýuminiý (Al) takyk lehimlemek, 10⁻³-den 10⁶ Ω·sm-e çenli garşylyk görkezijilerine ýetmek. 

    2. Öňdebaryjy proses tehnologiýalary?

    · Geteroepitaksiýa: SiC-on-Si (8 dýuýmlyk kremniý çyzyklary bilen utgaşykly) we SiC-on-Diamond (ýylylyk geçirijiligi >2000 W/m·K).

    · Kemçilikleriň öňüni almak: Mikrotrubanyň/dykyzlyk kemçiliklerini azaltmak üçin wodorod bilen aşyndyrma we ýumşatma, plastinalaryň çykarylyşyny >95% -e çenli ýokarlandyrmak. 

    3. Hil dolandyryş ulgamlary?

    · Başdan-aýak synag: Raman spektroskopiýasy (politip barlagy), XRD (kristallik) we SEM (kemçilik analizi).

    · Sertifikatlar: AEC-Q101 (awtomobil), JEDEC (JEDEC-033) we MIL-PRF-38534 (harby derejeli) standartlaryna laýyk gelýär. 

    4. Global üpjünçilik zynjyrynyň goldawy?

    · Önümçilik kuwwaty: Aýlyk önümçilik >10,000 wafer (60% 8 dýuým), 48 sagatlyk gyssagly eltip bermek bilen.

    · Logistika ulgamy: Howa/deňiz ýük daşamalary arkaly Ýewropada, Demirgazyk Amerikada we Aziýa-Ýuwaş umman sebitinde temperatura gözegçilik edilýän gaplama bilen üpjünçilik. 

    5. Tehniki Bilelikdäki Ösüş?

    · Bilelikdäki ylmy-barlag we işläp çykaryş laboratoriýalary: SiC energiýa modulynyň gaplamasyny optimizirlemekde hyzmatdaşlyk ediň (meselem, DBC substratynyň integrasiýasy).

    · IP ygtyýarnamasy: Müşderileriň ylmy-barlag we işläp taýýarlama çykdajylaryny azaltmak üçin GaN-on-SiC RF epitaksial ösüş tehnologiýasyna ygtyýarnama bermek.

     

     

    Gysgaça mazmun

    SiC (kremniý karbidi) tohum kristal substratlary, strategik material hökmünde, kristallaryň ösüşi, kemçilikleriň gözegçiligi we dürli integrasiýa babatdaky öňegidişlikler arkaly global senagat zynjyrlaryny täzeden şekillendirýär. Plastinka kemçiliklerini azaltmak, 8 dýuým önümçiligi giňeltmek we heteroepitaksial platformalary (meselem, SiC-on-Diamond) giňeltmek arkaly XKH optoelektronika, täze energiýa we ösen önümçilik üçin ýokary ygtybarlylykly, tygşytly çözgütleri hödürleýär. Innowasiýa ygrarlylygymyz müşderileriň uglerod bitaraplygynda we akylly ulgamlarda öňdeligi üpjün edýär we giň zolakly ýarymgeçiriji ekosistemalaryň indiki döwrüni öňe sürýär.

    SiC tohum wafer 4
    SiC tohum wafer 5
    SiC tohum wafer 6

  • Öňki:
  • Indiki:

  • Habaryňyzy şu ýere ýazyň we bize iberiň