6inch HPSI SiC substrat wafli Silikon Karbid emiarym kemsidiji SiC wafli
PVT kremniy karbid kristal SiC ösüş tehnologiýasy
SiC ýeke kristal üçin häzirki ösüş usullary esasan aşakdaky üç zady öz içine alýar: suwuk faza usuly, ýokary temperatura himiki buglary çökdürmek usuly we fiziki bug fazasyny daşamak (PVT) usuly. Şolaryň arasynda PVT usuly, SiC ýeke kristal ösüşi üçin iň gözlenen we kämillik tehnologiýasydyr we tehniki kynçylyklary:
. beýleki kemçilikler.
. belli bir kristal görnüşi, meselem, 4H görnüşiniň häzirki esasy akymyna gözegçilik etmek kyn.
.
. RF enjamlarynda ulanylýan ýarym izolýasiýa kremniy karbid substratlary üçin, elektrik häsiýetleri gaty pes hapa konsentrasiýasyna we kristaldaky nokat kemçilikleriniň aýratyn görnüşlerine gözegçilik etmek arkaly gazanylmalydyr.
Jikme-jik diagramma
Habaryňyzy şu ýere ýazyň we bize iberiň