4inç 6inç Lityum niobate ýekeje kristal film LNOI wafli

Gysga düşündiriş:

Lityum niobat ajaýyp elektro-optiki, çyzykly we piezoelektrik aýratynlyklaryna eýedir. Öňdebaryjy mikro we nano gaýtadan işlemek tehnologiýasynyň kömegi bilen izolýatorlarda litiý niobat inçe filmlerine (LNOI) esaslanýan integral fotonika enjamlary giňden ösdürildi. Geljekde ýokary öndürijilikli LNOI materiallary LNOI esasly mikro-nano optikanyň, integral fotonikanyň we mikrotolkun fotonikasynyň mundan beýläk-de ösmegine goldaw berer. Performanceokary öndürijilikli LNOI materiallarynyň öndürilmegi litiý niobat optoelektronika enjamlaryny senagat taýdan ulanmakda möhüm ädim bolar.

Bize e-poçta iberiň

Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

LNOI materiallaryny taýýarlamak prosesi esasan aşakdaky dört basgançaga bölünýär

(1) I ionlary belli bir energiýada X kesilen litiý niobat materialyna sanjym edildi we litiý niobatyň üst gatlagynyň aşagyndaky belli bir çuňlukda kemçilik gatlagyna girizildi;

(2) Ion implantirlenen litiý niobat materialy, birleşme gurluşyny emele getirmek üçin oksid gatlagy bilen kremniniň substratyna baglanýar;

(3) Baglaýjy gurluş, He ion implantasiýasynyň girizen kemçiliklerini ösdürip, çatryklary emele getirmek üçin birleşdirildi. Ahyrynda, litiý niobat galyndy gatlagy boýunça bölünip, galyndy litiý niobat dilimleri we LNOI wafli emele geldi.

LNOI wafli programmalary we artykmaçlyklary

1 - Litiý niobat piezoelektrik filmleri (LNOI) ýokary piezoelektrik koeffisiýentine we mehaniki energiýany elektrik energiýasyna ýa-da elektrik energiýasyny mehaniki energiýa öwrüp bilýän dielektrik hemişelikine eýe. Şonuň üçin datçikler meýdanynda basyş datçikleri, tizlenme datçikleri, temperatura datçikleri we ş.m. giňden ulanylýar. Mundan başga-da, litiý niobat piezoelektrik filmi akustiki enjamlarda we pizzoelektrik keramiki geçiriji çylşyrymly piezoelektrik keramiki süzgüç ýaly yrgyldy enjamlarynda hem ulanylyp bilner.

2-Lityum niobat piezoelektrik filminiň durnuklylygy hem onuň artykmaçlyklaryndan biridir. Kristal gurluşynyň durnuklylygy we himiki inertlik sebäpli litiý niobat piezoelektrik filmi ýokary poslama garşylygy we çydamlylygy bilen ýokary temperaturada, ýokary çyglylykda, güýçli kislotada, güýçli aşgar we beýleki agyr şertlerde işläp biler.

3-Lityum niobat piezoelektrik filmi ajaýyp öndürijiligi we durnuklylygy bilen täze piezoelektrik materialy bolup, giň ulanylyş perspektiwasyna eýe. Ylmyň we tehnologiýanyň yzygiderli ösmegi bilen litiý niobat piezoelektrik filmi köp şäherlerde ulanylar we adamlaryň durmuşyna has amatly we täzelik getirer.