TGV Aýna substratlary 12 дюймlyk wafer Aýna deşiji

Aýna substratlar termal häsiýetleri, fiziki durnuklylygy babatda has gowy netije berýär we ýylylyga has çydamlydyr we ýokary temperatura sebäpli egrilenmäge ýa-da deformasiýa meselelerine has az sezewar bolýar;

Mundan başga-da, aýna özeniniň özboluşly elektrik häsiýetleri dielektrik ýitgileriniň azalmagyna mümkinçilik berýär, bu bolsa signalyň we energiýanyň has aýdyň geçirilmegine mümkinçilik berýär. Netijede, signalyň geçirilmegi wagtynda energiýanyň ýitgisi azalýar we çipiň umumy netijeliligi tebigy ýagdaýda ýokarlanýar. Aýna özeniniň substratynyň galyňlygyny ABF plastmassasy bilen deňeşdirilende iki esse azaldyp bolýar we inçelmek signalyň geçirilmeginiň tizligini we energiýanyň netijeliligini ýokarlandyrýar.

TGV-niň deşik emele getirme tehnologiýasy:

Lazer bilen induksiýa edilen aşındyrma usuly impulsly lazer arkaly üznüksiz denaturasiýa zolagyny döretmek üçin ulanylýar, soňra lazer bilen işlenen aýna aşındyrmak üçin wodorod fluor turşusy erginine goýulýar. Denaturasiýa zolagy aýnasynyň wodorod fluor turşusyndaky aşındyrma tizligi deşiklerden emele gelmek üçin denaturasiýa edilmedik aýnadan has çaltdyr.

TGV doldurma:

Ilki bilen, TGV kör deşikleri ýasalýar. Ikinjiden, tohum gatlagy fiziki bug çökündisi (PVD) arkaly TGV kör deşiginiň içine çökdürildi. Üçünjiden, aşakdan ýokary elektrokaplama TGV-niň üznüksiz doldurylmagyny üpjün edýär; Ahyrsoňy, wagtlaýyn ýelmeşdirme, yzyna üweme, himiki mehaniki jylawlama (CMP) arkaly mis täsiri, ýelmeşdirme arkaly aýrylyp, TGV metal bilen doldurylan geçirijilik plastinasyny emele getirýär.