Kremniý karbidi (SiC) bir kristally substrat – 10×10 mm plitalar

Gysgaça düşündiriş:

10×10 mm ölçegli kremniý karbidi (SiC) monokristal substrat plastinkasy täze nesil elektrik elektronikasy we optoelektronika ulgamlary üçin niýetlenen ýokary öndürijilikli ýarymgeçiriji materialdyr. Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi, giň zolak aralygy we ajaýyp himiki durnuklylygy bilen SiC substratlary ýokary temperaturada, ýokary ýygylykda we ýokary woltly şertlerde netijeli işleýän enjamlar üçin esasy üpjün edýär. Bu substratlar ylmy-barlag, prototipleme we enjam öndürmek üçin ajaýyp bolan 10×10 mm ölçegli inedördül çiplere takyk kesilýär.


Aýratynlyklar

Kremniý karbidi (SiC) substrat waferiniň jikme-jik diagrammasy

Kremniý karbidi (SiC) substrat waferine umumy syn

The10×10mm Kremniý Karbidi (SiC) monokristal substrat waferitäze nesil elektrik elektronikasy we optoelektronika ulanylyşlary üçin niýetlenen ýokary öndürijilikli ýarymgeçiriji materialdyr. Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi, giň zolak aralygy we ajaýyp himiki durnuklylygy bilen Kremniý Karbidi (SiC) substrat plastinkasy ýokary temperaturada, ýokary ýygylykda we ýokary woltly şertlerde netijeli işleýän enjamlar üçin esas döredýär. Bu substratlar takyk kesilýär10×10mm kwadrat çipler, ylmy-barlag, prototipleme we enjam öndürmek üçin ideal.

Kremniý karbidiniň (SiC) substrat waferiniň önümçilik prinsipi

Kremniý karbidi (SiC) substrat waferi fiziki bug daşamak (PVT) ýa-da sublimasiýa ösüş usullary arkaly öndürilýär. Bu proses ýokary arassalykdaky SiC poroşogynyň grafit tigeline ýüklenmegi bilen başlanýar. 2000°C-den ýokary temperaturada we gözegçilik edilýän gurşawda poroşok buga sublimasiýa edýär we üns bilen gönükdirilen tohum kristalyna gaýtadan çökýär we uly, kemçilikleri azaldylan ýeke kristal külçesini emele getirýär.

SiC buly ösdürilip ýetişdirilenden soň, ol aşakdakylara sezewar bolýar:

    • Külçe dilimlemek: Takyk almaz simli arralar SiC külçesini waferlere ýa-da böleklerine bölýär.

 

    • Çapmak we üwmek: Arra yzlaryny aýyrmak we birmeňzeş galyňlyga ýetmek üçin ýüzler tekizlenýär.

 

    • Himiki mehaniki jylamak (CMP): Ýüziň örän pes gödekligi bilen epi-ready aýna örtügini gazanýar.

 

    • Goşmaça lehimleme: Elektrik häsiýetlerini (n-tipli ýa-da p-tipli) sazlamak üçin azot, alýumin ýa-da bor lehimlemesi girizilip bilner.

 

    • Hil barlagy: Ösen metrologiýa plastinkanyň tekizliginiň, galyňlygynyň birmeňzeşliginiň we kemçilikleriň dykyzlygynyň ýarymgeçirijileriň berk talaplaryna laýyk gelýändigini üpjün edýär.

Bu köp basgançakly proses epitaksial ösüşe ýa-da gönüden-göni enjam öndürmek üçin taýýar bolan berk 10 × 10 mm ölçegli kremniý karbidi (SiC) substrat wafer çiplerini emele getirýär.

Kremniý karbidiniň (SiC) substrat waferiniň material häsiýetnamalary

5
1

Kremniý karbidi (SiC) substrat waferi esasan şeýleden ýasalýar4H-SiC or 6H-SiCpolitipler:

  • 4H-SiC:Ýokary elektron hereketliligine eýe bolup, MOSFET we Şottki diodlary ýaly güýç enjamlary üçin amatlydyr.

  • 6H-SiC:RF we optoelektron komponentleri üçin özboluşly aýratynlyklary hödürleýär.

Kremniý karbidi (SiC) substrat plastinkasynyň esasy fiziki häsiýetleri:

  • Giň zolak aralygy:~3.26 eV (4H-SiC) – ýokary döwülme naprýaženiýesini we aşaky kommutasiýa ýitgilerini üpjün edýär.

  • Ýylylyk geçirijiligi:3–4.9 W/sm·K – ýokary kuwwatly ulgamlarda durnuklylygy üpjün edip, ýylylygy netijeli ýaýradýar.

  • Gatylyk:Mohs ölçegi boýunça ~9.2 – işleniş we enjamyň işlemegi wagtynda mehaniki berkligi üpjün edýär.

Kremniý karbidiniň (SiC) substrat waferiniň ulanylyş ugurlary

Kremniý karbidi (SiC) substrat plastinkasynyň köpugurlylygy olary dürli pudaklarda gymmatly edýär:

Güýç elektronikasy: Elektrik awtoulaglarynda (EV), senagat energiýa çeşmelerinde we gaýtadan dikeldilýän energiýa inwertorlarynda ulanylýan MOSFET-ler, IGBT-ler we Şottki diodlary üçin esas.

RF we mikrotolkunly enjamlar: 5G, hemra we goranyş ulgamlary üçin tranzistorlary, güýçlendirijileri we radar komponentlerini goldaýar.

Optoelektronika: UV LED-lerinde, fotodetektorlarda we lazer diodlarynda ulanylýar, bu ýerlerde ýokary UV açyklygy we durnuklylygy möhümdir.

Aerokosmos we goranyş: Ýokary temperaturaly, radiasiýa bilen berklenen elektronika üçin ygtybarly substrat.

Ylmy-barlag edaralary we uniwersitetler: Material ylmyny öwrenmek, prototip enjamlaryny işläp düzmek we täze epitaksial prosesleri synagdan geçirmek üçin ideal.

Silikon karbid (SiC) substrat wafer çipleriniň aýratynlyklary

Emläk Bahasy
Ölçegi 10mm × 10mm kwadrat
Galyňlygy 330–500 μm (özgertmek mümkin)
Köptip 4H-SiC ýa-da 6H-SiC
Ugurlanma C-tekizlik, okdan daşary (0°/4°)
Ýüzleýiş Bir taraply ýa-da iki taraply jilolanan; epi-taýýar elýeterli
Doping opsiýalary N-tipli ýa-da P-tipli
Dereje Ylmy dereje ýa-da enjam derejesi

Kremniý karbidi (SiC) substrat waferi barada köp berilýän soraglar

S1: Kremniý karbidi (SiC) substrat waferini adaty kremniý waferlerinden näme tapawutlandyrýar?
SiC 10 esse ýokary döwülme meýdanynyň güýjüni, ýokary gyzgynlyga garşylygy we aşaky geçiş ýitgilerini hödürleýär, bu bolsa ony kremniýiň goldap bilmeýän ýokary netijeli, ýokary kuwwatly enjamlar üçin ideal edýär.

S2: 10×10 mm ölçegli kremniý karbidi (SiC) substrat plastinkasyny epitaksial gatlaklar bilen üpjün edip bolýarmy?
Hawa. Biz epi-taýýar substratlary hödürleýäris we belli bir güýç enjamlaryny ýa-da LED önümçilik zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin ýörite epitaksial gatlaklary bolan waferleri hödürläp bilýäris.

S3: Öz islegiňize laýyk ölçegler we doping derejeleri barmy?
Elbetde. 10×10 mm çipler ylmy-barlag we enjam nusgalaryny almak üçin standart bolsa-da, isleg boýunça özleşdirilen ölçegler, galyňlyklar we lehim profilleri elýeterlidir.

S4: Bu wafliler ekstremal şertlerde nähili çydamly?
SiC gurluş bitewüligini we elektrik öndürijiligini 600°C-den ýokary we ýokary radiasiýa şertlerinde saklaýar, bu bolsa ony aerokosmik we harby derejeli elektronika üçin amatly edýär.

Biz barada

XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.

567

  • Öňki:
  • Indiki:

  • Habaryňyzy şu ýere ýazyň we bize iberiň