Kremniý karbid keramiki tabak sorma enjamy, ýokary temperatura sinterleme üçin ýörite işleme üpjün edýär
Esasy aýratynlyklar:
1. Kremniý karbid keramiki tabak
- Ýokary gatylyk we aşynma garşylygy: gatylygy almaza ýakyn we wafer işlemede mehaniki aşynma uzak wagtlap çydap bilýär.
- Ýokary ýylylyk geçirijiligi we pes ýylylyk giňelme koeffisiýenti: ýylylygyň çalt ýaýramagy we ölçeg durnuklylygy, ýylylyk stresiniň sebäpli deformasiýanyň öňüni almak.
- Ýokary tekizlik we ýüzleý gutarma: Ýüzleý tekizlik mikron derejesine çenli bolup, plastinka bilen diskiň arasynda doly gatnaşygy üpjün edýär, hapalanmany we zyýany azaldýar.
Himiki durnuklylyk: Güýçli korroziýa garşylygy, ýarymgeçiriji önümçilikde çygly arassalamak we aşındyrmak prosesleri üçin amatly.
2. Kremniý karbid keramiki turba
- Ýokary temperatura garşylygy: 1600°C-den ýokary ýokary temperatura şertlerinde uzak wagtlap işläp bilýär, ýarymgeçiriji ýokary temperatura prosesleri üçin amatly.
Ajaýyp korroziýa garşylygy: kislotalara, alkalilere we dürli himiki erginlere çydamly, berk önümçilik gurşawy üçin amatly.
- Ýokary gatylyk we aşynma garşylygy: bölejikleriň eroziýasyna we mehaniki aşynma garşy durýar, hyzmat möhletini uzaldýar.
- Ýokary ýylylyk geçirijiligi we ýylylyk giňelmesiniň pes koeffisiýenti: ýylylygyň çalt geçirilmegi we ölçeg durnuklylygy, ýylylyk stresiniň sebäpli deformasiýany ýa-da ýarylmany azaltmak.
Önümiň Parametri：
Kremniý karbid keramiki tabagyň parametri:
| (Maddy emläk) | (Birlik) | (ssic) | |
| (SiC mazmuny) | (Ag)% | >99 | |
| (Ortaça däne ululygy) | mikron | 4-10 | |
| (Dykyzlyk) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Görünýän gözeneklilik) | Vo1% | <0.5 | |
| (Wickers gatylygy) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Bükülme güýji* (üç bal) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Basyş güýji) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastik Modul) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Synma çydamlylygy) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Ýylylyk geçirijiligi) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Garşylyk) | 20°ºC | Om.sm | 106-108 |
(Termiki giňelme koeffisiýenti) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Işleýişiň iň ýokary temperaturasy) | oºC | 1700 | |
Kremniý karbid keramiki turbasynyň parametri:
| Äzajylar | Indeks |
| α-SIC | 99% min |
| Görünýän gözeneklilik | Maksimum 16% |
| Toplu dykyzlyk | 2.7g/sm3 min |
| Ýokary temperaturada egilme güýji | 100 Mpa min |
| Termal giňelme koeffisiýenti | K-1 4.7x10 -6 |
| Termal geçirijilik koeffisiýenti (1400ºC) | 24 W/mk |
| Maksimum iş temperaturasy | 1650ºC |
Esasy ulanylyşlar:
1. Kremniý karbid keramiki plastinka
- Plastinkany kesmek we jylamak: kesmek we jylamak wagtynda ýokary takyklygy we durnuklylygy üpjün etmek üçin podşipnik platformasy hökmünde hyzmat edýär.
- Litografiýa prosesi: Ekspozitsiýa wagtynda ýokary takyklyk bilen ýerleşdirilmegini üpjün etmek üçin plastinka litografiýa enjamyna berkidilýär.
- Himiki mehaniki jylamak (HMJ): jylamak üçin platforma hökmünde hereket edýär, basyşyň we ýylylygyň deň paýlanyşyny üpjün edýär.
2. Kremniý karbid keramiki turba
- Ýokary temperaturaly peç turbasy: ýokary temperaturaly prosesleri işläp taýýarlamak üçin waflileri daşamak maksady bilen diffuziýa peçi we oksidlenme peçi ýaly ýokary temperaturaly enjamlarda ulanylýar.
- CVD/PVD prosesi: Reaksiýa kamerasynda podşipnik turbasy hökmünde, ýokary temperatura we poslaýjy gazlara çydamly.
- Ýarymgeçiriji enjamlaryň aksesuarlary: enjamlaryň ýylylyk dolandyryş netijeliligini ýokarlandyrmak üçin ýylylyk çalşyjylar, gaz geçirijileri we ş.m. üçin.
XKH kremniý karbid keramiki tabaklar, sorujylar we kremniý karbid keramiki turbalar üçin doly görnüşli ýörite hyzmatlary hödürleýär. XKH kremniý karbid keramiki tabaklar we sorujylar dürli ölçeglerdäki, görnüşlerdäki we ýüziň gödekligindäki müşderileriň talaplaryna laýyklykda özleşdirilip bilner we ýörite örtük işlemesini goldaýar, aşynma garşylygyny we korroziýa garşylygyny ýokarlandyrýar; Kremniý karbid keramiki turbalar üçin XKH dürli içki diametrleri, daşky diametrleri, uzynlygy we çylşyrymly gurluşy (meselem, şekilli turba ýa-da gözenekli turba) özleşdirip biler we jylalama, antioksidasiýa örtügini we beýleki ýüzi işläp bejeriş proseslerini üpjün edip biler. XKH müşderileriň ýarymgeçirijiler, LED-ler we fotowoltaikler ýaly ýokary derejeli önümçilik ugurlarynyň talaplaryny kanagatlandyrmak üçin kremniý karbid keramiki önümleriniň öndürijilik artykmaçlyklaryndan doly peýdalanmagyny üpjün edýär.
Jikme-jik diagramma
