Silikon karbid keramiki çatal gol/el
Jikme-jik diagramma
Silikon karbid keramiki çatal golunyň/eliniň tanyşdyrylyşy
TheSilikon karbid keramiki çatal gol/elýokary takyklykly awtomatlaşdyrma ulgamlary, esasanam ýarymgeçiriji we optiki senagatlarda işlenip düzülen ösen işleýiş bölegidir. Bu bölek, waferleri ulanmak üçin optimizirlenen tapawutly U görnüşli dizaýna eýedir, bu bolsa ekstremal daşky gurşaw şertlerinde mehaniki berkligi we ölçeg takyklygyny üpjün edýär. Ýokary arassa kremniý karbid keramikasyndan ýasalan,çatal gol/elajaýyp berkligi, termal durnuklylygy we himiki maddalara garşy durnuklylygy üpjün edýär.
Ýarymgeçiriji enjamlar has inçe geometriýalara we has berk çydamlylyklara tarap ösýän mahaly, hapalanmaýan we termostatik durnukly komponentlere bolan isleg örän möhüm bolýar.Silikon karbid keramiki çatal gol/elpes bölejikleriň döremegini, örän tekiz ýüzleri we berk gurluş bitewüligini hödürlemek arkaly bu kynçylygy çözýär. Plastinka daşamakda, substrat ýerleşdirmekde ýa-da robot gurallaryň kellelerinde bolsun, bu bölek ygtybarlylyk we uzak ömürlilik üçin işlenip düzüldi.
Muny saýlamagyň esasy sebäpleriSilikon karbid keramiki çatal gol/elşulary öz içine alýar:
-
Ölçeg takyklygy üçin minimal termal giňelme
-
Uzak möhletli hyzmat üçin ýokary berklik
-
Kislotalara, alkalilere we reaktiv gazlara garşylyk
-
ISO 1-nji synp arassa otag gurşawy bilen utgaşyklylyk
Silikon karbid keramiki çatal golunyň/eliniň önümçilik prinsipi
TheSilikon karbid keramiki çatal gol/elýokary derejeli material häsiýetlerini we ölçegleriň yzygiderliligini üpjün etmek üçin niýetlenen ýokary derejede gözegçilik edilýän keramiki gaýtadan işlemek iş akymy arkaly öndürilýär.
1. Toz taýýarlamak
Bu proses örän inçe kremniý karbid poroşoklaryny saýlamakdan başlanýar. Bu poroşoklar berkleşdiriji maddalar we sinterleşdiriji serişdeler bilen garyşdyrylyp, dykyzlaşdyrylýar we dykyzlaşdyrylýar. Munuň üçinçatal gol/el, β-SiC ýa-da α-SiC poroşoklary gatylygy we berkligi üpjün etmek üçin ulanylýar.
2. Formalaşdyrmak we öňünden taýýarlamak
Çylşyrymlylygyna baglylykdaçatal gol/eldizaýnda, bölek izostatik presleme, inýeksiýa kalyplamasy ýa-da süýşme dökümi arkaly şekillendirilýär. Bu bolsa çylşyrymly geometriýalary we inçe diwarly gurluşlary döretmäge mümkinçilik berýär, bu bolsa onuň ýeňil tebigaty üçin möhümdir.Silikon karbid keramiki çatal gol/el.
3. Ýokary temperatura bilen bişirmek
Sinterleme wakuum ýa-da argon atmosferalarynda 2000°C-den ýokary temperaturada amala aşyrylýar. Bu tapgyr ýaşyl jisimiň doly dykyzlaşdyrylan keramiki bölegine öwrülmegine getirýär. Sinterlenençatal gol/elajaýyp mehaniki we termal häsiýetleri üpjün edip, nazaryýete ýakyn dykyzlyga ýetýär.
4. Takyk işleme
Sinterlemeden soňky,Silikon karbid keramiki çatal gol/elalmaz üwemekden we CNC işläp bejermekden geçýär. Bu ±0,01 mm aralygynda tekizligi üpjün edýär we awtomatlaşdyrylan ulgamlarda gurnamak üçin möhüm bolan gurnama deşiklerini we ýerleşýän aýratynlyklaryny goşmaga mümkinçilik berýär.
5. Ýüzi bezemek
Jilalamak ýüziň gödekligini azaldýar (Ra < 0.02 μm), bu bolsa bölejikleriň döremegini azaltmak üçin zerurdyr. Plazma garşylygyny gowulandyrmak ýa-da antistatik häsiýet ýaly funksiýalary goşmak üçin goşmaça CVD örtükleri ulanylyp bilner.
Bu prosesde hil gözegçiligi protokollary ulanylýar, bu bolsa kepillendirilýärSilikon karbid keramiki çatal gol/eliň duýgur programmalarda ygtybarly işleýär.
Silikon karbid keramiki çatal golunyň/eliniň parametrleri
| CVD-SIC örtüginiň esasy aýratynlyklary | ||
| SiC-CVD aýratynlyklary | ||
| Kristal gurluşy | FCC β fazasy | |
| Dykyzlyk | g/sm³ | 3.21 |
| Gatylyk | Wickers gatylygy | 2500 |
| Däne ölçegi | μm | 2~10 |
| Himiki arassalyk | % | 99.99995 |
| Yssylyk kuwwaty | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimasiýa temperaturasy | ℃ | 2700 |
| Fleksural güýç | MPa (RT 4-nokat) | 415 |
| Ýaşyň moduly | Gpa (4pt bükülme, 1300℃) | 430 |
| Termal giňelme (TGG) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Ýylylyk geçirijiligi | (W/mK) | 300 |
Silikon karbid keramiki çatal golunyň/eliniň ulanylyş ugurlary
TheSilikon karbid keramiki çatal gol/elýokary arassalygyň, durnuklylygyň we mehaniki takyklygyň möhüm bolan pudaklarda giňden ulanylýar. Bularyň arasynda:
1. Ýarymgeçirijileriň önümçiligi
Ýarymgeçirijileriň öndürilişinde,Silikon karbid keramiki çatal gol/elkremniý waferlerini aşındyryjy kameralar, çökündi ulgamlary we barlag enjamlary ýaly proses gurallarynyň içinde daşamak üçin ulanylýar. Onuň termal garşylygy we ölçeg takyklygy waferleriň deňsizligini we hapalanmagyny azaltmak üçin ony iň amatly edýär.
2. Displeý paneliniň önümçiligi
OLED we LCD displeý önümçiliginde,çatal gol/el“Saýlap we ýerleşdir” ulgamlarynda ulanylýar, bu ýerde ol ejiz aýna substratlaryny işläp bilýär. Onuň pes massasy we ýokary berkligi titremezden ýa-da egilmezden çalt we durnukly hereket etmäge mümkinçilik berýär.
3. Optiki we Fotonik Sistemalar
Linzalaryň, aýnalaryň ýa-da fotonik çipleriň deňleşdirilmegi we ýerleşdirilmegi üçin,Silikon karbid keramiki çatal gol/ellazer işläp bejermekde we takyk metrologiýa ulanylyşlarynda möhüm bolan titremesiz goldawy hödürleýär.
4. Aerokosmik we wakuum ulgamlary
Aerokosmos optiki ulgamlarynda we wakuum gurallarynda bu komponentiň magnit däl, korroziýa garşy gurluşy uzak möhletli durnuklylygy üpjün edýär.çatal gol/elşeýle hem gaz çykarmazdan ultra ýokary wakuumda (UHV) işläp bilýär.
Bu ugurlaryň ählisinde,Silikon karbid keramiki çatal gol/elygtybarlylygy, arassalygy we hyzmat möhleti boýunça däp bolan metal ýa-da polimer alternatiwalaryndan has gowy netije görkezýär.
Silikon karbid keramiki çatal goly/el barada köp berilýän soraglar
S1: Silikon karbid keramiki çatal goly/el tarapyndan haýsy wafer ölçegleri goldanylýar?
Theçatal gol/el150 mm, 200 mm we 300 mm waferleri goldamak üçin sazlanyp bilner. Çatal aralygy, gollaryň giňligi we deşikleriň nagyşlary awtomatlaşdyrma platformaňyza laýyk gelip bilner.
S2: Silikon karbid keramiki çatal goly/el wakuum ulgamlary bilen utgaşyklymy?
Hawa. Theçatal gol/elpes wakuumly we örän ýokary wakuumly ulgamlar üçin amatlydyr. Onuň gaz çykaryş tizligi pes we bölejikleri çykarmaýar, bu bolsa ony arassa otag we wakuumly gurşawlar üçin amatly edýär.
S3: Çatalyň goluna/eline örtük ýa-da ýüz üýtgeşmeleri goşup bilerinmi?
Elbetde. TheSilikon karbid keramiki çatal gol/elplazma garşylygyny, antistatik häsiýetlerini ýa-da ýüziniň berkligini ýokarlandyrmak üçin CVD-SiC, uglerod ýa-da oksid gatlaklary bilen örtülip bilner.
S4: Çatalyň/eliň hili nähili barlanýar?
Her biriSilikon karbid keramiki çatal gol/elCMM we lazer metrologiýa gurallaryny ulanyp ölçeg barlagyndan geçýär. Ýüziň hili ISO we SEMI standartlaryna laýyk gelmek üçin SEM we kontaktsyz profilometriýa arkaly bahalandyrylýar.
S5: Çatal/el üçin sargytlaryň öňünden berilýän wagty näçe?
Eltip bermek möhleti, adatça, çylşyrymlylygyna we mukdaryna baglylykda 3 hepdeden 5 hepde çenli dowam edýär. Gyssagly talaplar üçin çalt prototipleme elýeterlidir.
Bu köp berilýän soraglar inženerlere we satyn alyş toparlaryna saýlaýanlarynda elýeterli mümkinçilikleri we mümkinçilikleri düşündirmäge kömek etmek üçin niýetlenendir.Silikon karbid keramiki çatal gol/el.
Biz barada
XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.










