Enjamlar üçin CVD SiC örtükli SiC keramiki tarelka grafiti

Silikon karbid keramikasy diňe epitaks ýa-da MOCVD ýaly inçe film çökdürme tapgyrynda ýa-da MOCVD üçin wafli daşaýjy gap-gaçlary ilki çöketlik gurşawyna sezewar bolan wafli gaýtadan işlemekde ulanylmaýar we şonuň üçin ýokary çydamlydyr. ýylylyk we poslama. SiC bilen örtülen göterijiler hem ýokary ýylylyk geçirijiligine we ajaýyp ýylylyk paýlaýyş aýratynlyklaryna eýe.

Arassa himiki bug çökdürmesi Silikon karbid (CVD SiC) ýokary temperaturaly metal organiki himiki bug çöketligi (MOCVD) gaýtadan işlemek üçin wafli göterijiler.

Arassa CVD SiC wafli göterijiler, bu amalda ulanylýan adaty wafli göterijilerden ep-esli ýokarydyr, olar grafit we CVD SiC gatlagy bilen örtülendir. örtülen grafit esasly göterijiler, häzirki ýokary açyk gök we ak gurşunly GaN çökdürilmegi üçin zerur bolan ýokary temperatura (1100 - 1200 gradus) çydap bilmeýärler. Highokary temperatura örtügiň kiçijik çukurlaryň döremegine sebäp bolýar, bu himiki maddalar aşaky grafiti ýok edýär. Soňra grafit bölejikleri gaçýar we GaN-i hapalaýar, örtülen wafli göterijiniň çalşylmagyna sebäp bolýar.

CVD SiC arassalygy 99,999% ýa-da ondanam ýokarydyr we ýokary ýylylyk geçirijiligine we termiki zarba garşylygyna eýe. Şonuň üçin ýokary temperatura we ýokary ýagtylykly LED önümçiliginiň agyr şertlerine çydap biler. Teoretiki dykyzlyga ýetýän, minimal bölejikleri öndürýän we örän ýokary poslama we eroziýa garşylygy görkezýän gaty monolit materialdyr. Material, metal hapalary girizmezden, açyklygy we geçirijiligi üýtgedip biler. Wafli göterijiler, diametri 17 dýuým bolup, 40 2-4 dýuým wafli saklap bilýärler.