Ýokary temperatura garşylygy bolan wafer daşaýjy üçin SiC keramiki tabak
Silikon Karbid Keramik Tabag (SiC Tabag)
Ýarymgeçirijiler önümçiligi we LED önümçiligi ýaly öňdebaryjy senagat ulanylyşlary üçin işlenip düzülen, kremniý karbidine (SiC) esaslanýan ýokary öndürijilikli keramiki bölek. Onuň esasy funksiýalary plastina daşaýjysy, aşındyrma prosesi platformasy ýa-da ýokary temperaturaly proses goldawy hökmünde hyzmat etmek, prosesiň birmeňzeşligini we önümiň hasyllylygyny üpjün etmek üçin ajaýyp ýylylyk geçirijiligini, ýokary temperatura garşylygyny we himiki durnuklylygy ulanmakdan ybaratdyr.
Esasy aýratynlyklar
1. Termal Işjeňlik
- Ýokary ýylylyk geçirijiligi: 140–300 W/m·K, däp bolan grafitden (85 W/m·K) ep-esli öňe geçýär, bu bolsa ýylylygyň çalt ýaýramagyna we ýylylyk stresiniň azalmagyna mümkinçilik berýär.
- Pes Termal Giňelme Koeffisiýenti: 4.0 × 10⁻⁶/℃ (25–1000℃), kremniý bilen ýakyn gabat gelýär (2.6 × 10⁻⁶/℃), termal deformasiýa töwekgelçiliklerini iň pes derejä düşürýär.
2. Mehaniki häsiýetler
- Ýokary berklik: Bükülme berkligi ≥320 MPa (20℃), basyşa we zarba garşy durnukly.
- Ýokary gatylyk: Mohs gatylygy 9.5, diňe almazdan soň ikinji orunda durýar we ýokary aşynma garşylygyny üpjün edýär.
3. Himiki durnuklylyk
- Korroziýa garşylygy: Güýçli kislotalara (meselem, HF, H₂SO₄) çydamly, aşındyryş işleri üçin amatly.
- Magnit däl: Içki magnit duýgurlygy <1×10⁻⁶ emu/g, takyk gurallara päsgel bermegiň öňüni alýar.
4. Daşky gurşawa çydamlylyk
- Ýokary temperatura çydamlylygy: Uzak möhletli iş temperaturasy 1600–1900℃ çenli; gysga möhletli garşylyk 2200℃ çenli (kislorodsyz gurşaw).
- Termal şoklara garşylyk: Çatlamazdan, temperaturanyň birden üýtgemegine (ΔT >1000℃) çydamly.
Programmalar
| Arza meýdany | Aýratyn senariýler | Tehniki gymmatlyk |
| Ýarymgeçirijileriň önümçiligi | Plastinka aşındyrmasy (ICP), inçe plýonka çökündisi (MOCVD), CMP jylamasy | Ýokary ýylylyk geçirijiligi temperatura meýdanlarynyň deňligini üpjün edýär; pes ýylylyk giňelmesi plastinkanyň egriligini azaldýar. |
| LED önümçiligi | Epitaksial ösüş (meselem, GaN), wafer böleklerini bölmek, gaplamak | Köp görnüşli kemçilikleri basyp ýatyrýar, LED-leriň ýagtylyk netijeliligini we ömrüni artdyrýar. |
| Fotowoltaik Senagat | Kremniý wafer sinterleme peçleri, PECVD enjamlaryny goldaýar | Ýokary temperatura we termal şoklara garşylyk enjamlaryň ömrüni uzaldýar. |
| Lazer we Optika | Ýokary kuwwatly lazer sowadyjy substratlar, optiki ulgamyň daýançlary | Ýokary ýylylyk geçirijiligi optiki bölekleri durnuklaşdyryp, ýylylygyň çalt ýaýramagyna mümkinçilik berýär. |
| Analitik gurallar | TGA/DSC nusga saklaýjylary | Pes ýylylyk kuwwaty we çalt ýylylyk jogaby ölçeg takyklygyny ýokarlandyrýar. |
Önümiň artykmaçlyklary
- Giňişleýin iş görkezijileri: Ýylylyk geçirijiligi, berkligi we korroziýa garşylygy alýumin we kremniý nitridi keramikasyndan has ýokary bolup, iň ýokary iş talaplaryna laýyk gelýär.
- Ýeňil dizaýn: 3.1–3.2 g/sm³ dykyzlygy (40% polatdan), inersial ýükü azaldýar we hereketiň takyklygyny ýokarlandyrýar.
- Uzak ömürlilik we ygtybarlylyk: 1600℃ temperaturada hyzmat möhleti 5 ýyldan geçýär, bu bolsa enjamyň işleme wagtyny we işleýiş çykdajylaryny 30% azaldýar.
- Özleşdirme: Takyk ulanylyşlar üçin tekizlik ýalňyşlygy <15 μm bolan çylşyrymly geometriýalary (meselem, gözenekli sorujy gaplar, köp gatlakly tabaklar) goldaýar.
Tehniki aýratynlyklar
| Parametr kategoriýasy | Görkeziji |
| Fiziki häsiýetler | |
| Dykyzlyk | ≥3.10 g/sm³ |
| Bükülme güýji (20℃) | 320–410 MPa |
| Termal geçirijilik (20℃) | 140–300 W/(m·K) |
| Termal giňelme koeffisiýenti (25–1000℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| Himiki häsiýetler | |
| Kislota garşylygy (HF/H₂SO₄) | 24 sagat çümdürilenden soň poslama ýok |
| Işleýiş takyklygy | |
| Tekizlik | ≤15 μm (300×300 mm) |
| Ýüziň büdür-büdürligi (Ra) | ≤0.4 μm |
XKH-nyň hyzmatlary
XKH ýörite işläp düzmegi, takyk işleme we berk hil gözegçiligini öz içine alýan toplumlaýyn senagat çözgütlerini hödürleýär. Ýörite işläp düzme üçin, ýarymgeçirijiler we awiakosmos ýaly ulanylyşlar üçin çylşyrymly geometriýalary optimizirlemek üçin 3D modelirleme we simulýasiýa bilen utgaşdyrylan ýokary arassalykly (>99.999%) we gözenekli (30–50% gözeneklilik) material çözgütlerini hödürleýär. Takyk işleme ýönekeýleşdirilen prosesden geçýär: poroşok işläp düzmek → izostatik/gurak preslemek → 2200°C sinterlemek → CNC/almaz üwemek → barlag, nanometr derejesindäki jylawlamany we ±0.01 mm ölçegli çydamlylygy üpjün edýär. Hil gözegçiligi doly proses synagyny (XRD düzümi, SEM mikrostrukturasy, 3 nokatly egilme) we tehniki goldawy (proses optimizasiýasy, 24/7 maslahat, 48 sagat nusga eltmegi) öz içine alýar, ösen senagat zerurlyklary üçin ygtybarly, ýokary öndürijilikli komponentleri hödürleýär.
Köp soralýan soraglar (KÖP)
1. S: Haýsy pudaklar kremniý karbid keramiki tabaklary ulanýar?
A: Aşa gyzgynlyga çydamlylygy we himiki durnuklylygy sebäpli ýarymgeçiriji önümçilikde (wafer bilen işlemek), gün energiýasynda (PECVD proseslerinde), lukmançylyk enjamlarynda (MRT bölekleri) we awiakosmosda (ýokary temperaturaly bölekler) giňden ulanylýar.
2. S: Kremniý karbidi kwars/aýna tabalardan nähili gowy netije görkezýär?
A: Ýokary termal şok garşylygy (kwarsyň 1100°C-e garşy 1800°C-e çenli), magnit päsgelçilikleri ýok we has uzak ömür (kwarsyň 6-12 aýa garşy 5+ ýyl).
3. S: Kremniý karbid tabaklary kislotaly gurşawa çydap bilermi?
A: Hawa. HF, H2SO4 we NaOH-a çydamly, ýylda <0.01 mm korroziýa bilen, bu olary himiki aşındyrma we listleri arassalamak üçin amatly edýär.
4. S: Kremniý karbid tabaklary awtomatlaşdyrma bilen utgaşyklymy?
A: Hawa. Awtomatlaşdyrylan zawodlarda bölejikleriň hapalanmagynyň öňüni almak üçin ýüzi tekizligi <0.01 mm bolan, wakuum pikap we robot arkaly dolandyrmak üçin niýetlenen.
5. S: Adaty materiallar bilen deňeşdirilende bahasy nähili?
A: Öňünden ýokary çykdajy (3-5 esse kwars), ýöne ömrüniň uzaldylmagy, iş wagtynyň azalmagy we ýokary ýylylyk geçirijiligi sebäpli energiýa tygşytlanmagy sebäpli TCO 30-50% pes.
