SiC keramiki çeňňek gol / ahyrky effekt - ýarymgeçiriji öndürmek üçin ösen takyk işlemek

SiC keramiki çeňňek gol / ahyrky effekt - ýarymgeçiriji öndürmek üçin aýratyn surat

Gysga düşündiriş:

Köplenç keramiki ahyrky effekt diýlip atlandyrylýan SiC keramiki çeňňek goly, ýokary tehnologiýaly pudaklarda, esasanam ýarymgeçiriji we fotoelektrik önümçiliginde wafli daşamak, deňleşdirmek we ýerleşdirmek üçin ýörite işlenip düzülen ýokary öndürijilikli takyklyk komponentidir. Highokary arassa kremniy karbid keramikasy bilen öndürilen bu komponent, ajaýyp mehaniki güýji, aşa pes ýylylyk giňelmesini we termiki zarba we poslama garşy ýokary garşylygy birleşdirýär.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklary

Jikme-jik diagramma

Haryt barada umumy maglumat

Alýuminiý, poslamaýan polatdan ýa-da hatda kwarsdan öndürilen adaty ahyrky effektlerden tapawutlylykda, SiC keramiki ahyrky effektler wakuum kameralarynda, arassa otaglarda we gaty gaýtadan işlemek şertlerinde deňsiz-taýsyz öndürijilik hödürleýär we olary geljekki nesil wafli bilen işleýän robotlaryň esasy bölegi edýär. Hapalanmaz önümçilige bolan islegiň artmagy we çip öndürmekde has çydamlylygy bilen keramiki ahyrky effektleri ulanmak çaltlyk bilen senagat standartyna öwrülýär.

Önümçilik ýörelgesi

GalplykSiC keramiki ahyrky effektleröndürijiligini we berkligini üpjün edýän ýokary takyklyk, ýokary arassalyk prosesleriniň bir toparyny öz içine alýar. Adatça iki esasy amal ulanylýar:

Reaksiýa bilen baglanyşykly kremniy karbid (RB-SiC)

Bu amalda, kremniý karbid tozy we baglaýjydan ýasalan preform, ýokary temperaturada (~ 1500 ° C) eredilen kremniý bilen aralaşýar, galyndy uglerod bilen dykyz, berk SiC-Si birleşmesini emele getirýär. Bu usul ajaýyp ölçegli gözegçiligi hödürleýär we uly göwrümli önümçilik üçin tygşytlydyr.

Basyşsyz sintirlenen kremniy karbid (SSiC)

SSiC aşa ýokary temperaturada (> 2000 ° C) goşundylary ýa-da hökmany fazany ulanman, aşa inçe, ýokary arassa SiC tozy süzmek arkaly öndürilýär. Bu, takmynan 100% dykyzlygy we SiC materiallarynyň arasynda bar bolan iň ýokary mehaniki we termiki häsiýetli önüme getirýär. Ultra-kritiki wafli işlemek üçin amatly.

Gaýtadan işlemek

Takyk CNC enjamlaşdyryş: Highokary tekizlige we parallellige ýetýär.
Faceerüsti gutarmak: Göwher ýalpyldawuk, ýeriň çişligini <0.02 µm çenli peseldýär.
Barlag: Her bölegi barlamak üçin optiki interferometriýa, CMM we weýran ediji synag ulanylýar.

Bu ädimler kepillendirýärSiC ahyrky effektorywafli ýerleşdirmegiň yzygiderli takyklygyny, ajaýyp tekizligini we bölejikleriň minimal öndürilmegini üpjün edýär.

Esasy aýratynlyklary we peýdalary

Aýratynlyk	Düşündiriş
Ultra ýokary gatylyk	Wikersiň gatylygy> 2500 HV, könelmegine we kesilmegine garşy.
Pes ýylylyk giňelmesi	CTE ~ 4.5 × 10⁻⁶ / K, termiki welosipedde ölçegli durnuklylygy üpjün edýär.
Himiki inertlik	HF, HCl, plazma gazlaryna we beýleki poslaýjy serişdelere çydamly.
Ajaýyp termiki zarba garşylygy	Wakuum we peç ulgamlarynda çalt gyzdyrmak / sowatmak üçin amatly.
Rokary berklik we güýç	Uzyn kantilewerli çeňňek gollaryny gyşarmazdan goldaýar.
Pes çykdajy	Ultra ýokary wakuum (UHV) gurşawy üçin amatly.
ISO 1-nji synp otagy taýýar	Bölejiksiz işlemek, wafliň bitewiligini üpjün edýär.

Goýmalar

SiC keramiki Fork Arm / End Effektory aşa takyklygy, arassalygy we himiki garşylygy talap edýän pudaklarda giňden ulanylýar. Esasy programma ssenariýleri:

Ondarymgeçiriji önümçiligi

Çöketlikde wafli ýüklemek / düşürmek (CVD, PVD), dykylmak (RIE, DRIE) we arassalaýyş ulgamlary.
FOUP, kasetalar we gaýtadan işlemek gurallarynyň arasynda robot wafli daşamak.
Malylylyk gaýtadan işlenende ýa-da gyzdyrylanda ýokary temperatura bilen işlemek.

Fotowoltaik öýjük önümçiligi

Döwülen kremniý wafli ýa-da gün substratlaryny awtomatlaşdyrylan çyzyklarda näzik daşamak.

Tekiz paneli görkezmek (FPD) senagaty

OLED / LCD önümçilik gurşawynda uly aýna panelleri ýa-da substratlary herekete getirmek.

Goşma ýarymgeçiriji / MEMS

GaN, SiC we MEMS önümçilik setirlerinde hapalanmaga gözegçilik we ýerleşiş takyklygy möhümdir.

Onuň ahyrky täsir ediji roly, duýgur amallar wagtynda kemçiliksiz, durnukly işlemegi üpjün etmekde aýratyn möhümdir.

Özbaşdaklaşdyrma mümkinçilikleri

Dürli enjamlary we amal talaplaryny kanagatlandyrmak üçin giňişleýin özleşdirmegi hödürleýäris:

Fork dizaýny: Iki uzyn, köp barmakly ýa-da bölünen derejeli tertipler.
Wafer ululygyna laýyklyk: 2-den 12-e çenli wafli.
Interfeýsleri gurmak: OEM robot gollary bilen gabat gelýär.
Galyňlyk we ýerüsti çydamlylyk: Mikron derejeli tekizlik we gyrasy tegelek.
Süýşmä garşy aýratynlyklar: Howpsuz wafli tutmak üçin goşmaça ýerüsti dokumalar ýa-da örtükler.

Her birikeramiki ahyrky effektorminimal gural üýtgemeleri bilen takyk laýyklygy üpjün etmek üçin müşderiler bilen bilelikde döredildi.

Freygy-ýygydan soralýan soraglar (FAQ)

1-nji sorag: Ahyrky effekt programmasy üçin SiC kwarsdan nädip gowy?
A1:Kwars köplenç arassalygy üçin ulanylsa-da, mehaniki berkligi ýetmezçilik edýär we ýük ýa-da temperatura zarbasy astynda döwülýär. SiC ýokary güýç, könelişme garşylygy we ýylylyk durnuklylygyny hödürleýär, iş wagtynyň peselmegi we wafli zeperlenmegini ep-esli azaldýar.

2-nji sorag: Bu keramiki çeňňek goly ähli robot wafli işleýjiler bilen gabat gelýärmi?
A2:Hawa, keramiki ahyrky effektlerimiz iň esasy wafli işleýiş ulgamlary bilen gabat gelýär we takyk in engineeringener çyzgylary bilen ýörite robot modelleriňize uýgunlaşdyrylyp bilner.

3-nji sorag: 300 mm wafli gysmazdan dolandyryp bilermi?
A3:Elbetde. SiC-iň ýokary berkligi, hatda inçe, uzyn çeňňek gollary hem hereket wagtynda egilmezden ýa-da gaçmazdan 300 mm wafli ygtybarly saklamaga mümkinçilik berýär.

4-nji sorag: SiC keramiki ahyrky effektoryň adaty hyzmat ömri nähili?
A4:Dogry ulanylanda, termiki we mehaniki streslere ajaýyp garşylygy sebäpli, SiC ahyrky effektory adaty kwars ýa-da alýumin modellerinden 5-10 esse uzak dowam edip biler.

5-nji sorag: Çalyşmalary ýa-da çalt prototip hyzmatlaryny hödürleýärsiňizmi?
A5:Hawa, çalt nusga önümçiligini goldaýarys we CAD çyzgylaryna ýa-da bar bolan enjamlardan ters hereketlendiriji böleklere esaslanýan çalyşma hyzmatlaryny hödürleýäris.

Biz hakda

XKH ýokary tehnologiýaly ösüşde, ýörite optiki aýna we täze kristal materiallary öndürmekde we satmakda ýöriteleşendir. Önümlerimiz optiki elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby gulluga hyzmat edýär. Safir optiki komponentlerini, jübi telefonynyň obýektiw örtüklerini, Keramika, LT, Silikon Karbid SIK, Kwars we ýarymgeçiriji kristal wafli hödürleýäris. Tejribeli tejribe we iň täze enjamlar bilen, öňdebaryjy optoelektroniki materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmak maksady bilen, önümi standart däl gaýtadan işlemekde ökde.