Wafli daşamak üçin SiC keramiki ahyrky effektory

Gysga düşündiriş:

LiNbO₃ Wafers, häzirki zaman optoelektroniki ulgamlarda deňi-taýy bolmadyk öndürijiligi üpjün edýän integral fotonika we takyk akustika boýunça altyn standarty görkezýär. Öňdebaryjy öndüriji hökmünde, bu bugly transport deňagramlaşdyryş usullary arkaly bu ineredenerli substratlary öndürmek sungatyny kämilleşdirdik, kemçilik dykyzlygy 50 / sm²-den pes bolan senagatda öňdebaryjy kristal kämilligine ýetdik.

XKH önümçilik mümkinçilikleri takyk ugrukdyryş gözegçiligi (X / Y / Z-cut ± 0.3 °) we seýrek toprak elementlerini goşmak bilen ýöriteleşdirilen doping görnüşleri bilen 75 mm-den 150mm aralygynda bolýar. LiNbO₃ Wafers-de özboluşly kombinasiýa - ajaýyp r₃₃ koeffisiýentini (32 ± 2 pm / V) we UV-den IR-iň ortasyna çenli giň açyklygy - olary indiki nesil fotoniki zynjyrlar we ýokary ýygylykly akustiki enjamlar üçin zerur edýär.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklary

SiC keramiki ahyrky effekt

SiC (Silikon Karbid) keramiki ahyrky effektory, ýarymgeçiriji önümçiliginde we ösen mikrofabrika şertlerinde ulanylýan ýokary takyk wafli işleýiş ulgamlarynda möhüm elementdir. Ultra arassa, ýokary temperaturaly we ýokary durnukly gurşawyň talaplaryny kanagatlandyrmak üçin döredilen bu ýöriteleşdirilen ahyrky effekt, daşbasma, efirlemek we çökdürmek ýaly esasy önümçilik ädimlerinde wafleriň ygtybarly we hapalanmaz daşalmagyny üpjün edýär.

Silikon karbidiň ýokary ýylylyk geçirijiligi, aşa gatylygy, ajaýyp himiki inertligi we iň az ýylylyk giňelmegi ýaly ýokary maddy aýratynlyklaryndan peýdalanmak, SiC keramiki ahyrky effekti çalt termiki welosiped sürmekde ýa-da poslaýjy proses kameralarynda deňi-taýy bolmadyk mehaniki berkligi we ölçegli durnuklylygy hödürleýär. Pes bölejikleriň emele gelmegi we plazma garşylyk aýratynlyklary ony arassa otag we vakuum gaýtadan işlemek üçin has amatly edýär, bu ýerde wafliň üst bitewiligini saklamak we bölejikleriň hapalanmagyny azaltmak iň möhümdir.

SiC keramiki ahyrky effektory

1. icarymgeçiriji wafli işlemek

SiC keramiki ahyrky effektler ýarymgeçiriji pudagynda awtomatiki önümçilik wagtynda kremniý wafli bilen işlemek üçin giňden ulanylýar. Bu ahyrky effektler adatça robot gollara ýa-da wakuum geçiriş ulgamlaryna oturdylýar we 200mm we 300mm ýaly dürli ululykdaky wafli ýerleşdirmek üçin niýetlenendir. Highokary temperaturanyň, wakuum şertleriniň we poslaýjy gazlaryň köp ýaýran ýerinde himiki buglaryň çökdürilmegi (CVD), Fiziki bug buglanyşy (PVD), dökülme we diffuziýa ýaly proseslerde möhümdir. SiC-iň ajaýyp ýylylyk garşylygy we himiki durnuklylygy, şular ýaly ýowuz şertlere zeper ýetmezden çydamly ideal material bolýar.

2. Arassa otag we vakuum utgaşyklygy

Bölejikleriň hapalanmagyny azaltmaly arassa otagda we wakuum sazlamalarynda SiC keramikasy möhüm artykmaçlyklary hödürleýär. Materialyň dykyz, tekiz üstü bölejikleriň döremegine garşy çykýar, ulag wagtynda wafli bitewiligini saklamaga kömek edýär. Bu, SiC ahyrky effektlerini arassaçylyk möhüm ähmiýete eýe bolan Extreme Ultramelewşe Litografiýa (EUV) we Atom Layer Deposition (ALD) ýaly möhüm prosesler üçin has amatly edýär. Mundan başga-da, SiC-iň pes çykýan we ýokary plazma garşylygy wakuum kameralarynda ygtybarly işlemegi üpjün edýär, gurallaryň ömrüni uzaldýar we tehniki hyzmat ýygylygyny azaldýar.

3. -okary takyk ýerleşiş ulgamlary

Takyklyk we durnuklylyk, wafli işlemek ulgamlarynda, esasanam metrologiýa, gözleg we deňleşdiriş enjamlarynda möhümdir. SiC keramikasynda ýylylyk giňelişiniň we gaty berkligiň gaty pes koeffisiýenti bar, bu ahyrky effektora termiki welosiped sürmekde ýa-da mehaniki ýükde-de gurluş takyklygyny saklamaga mümkinçilik berýär. Bu, wafli ulaglar wagtynda takyk sazlanmagyny üpjün edýär, mikro çyzgylar, gabat gelmezlik ýa-da ölçeg ýalňyşlyklary töwekgelçiligini azaldyp, 5nm kiçi düwünlerde has möhüm ähmiýete eýe.

SiC keramiki ahyrky effektory

1. Meokary mehaniki güýç we gatylyk

SiC keramikasy ajaýyp mehaniki güýje eýe, çeýe güýji köplenç 400 MPa-dan we Wikersiň berkligi 2000 HV-den ýokary. Bu, uzak wagtlap ulanylandan soň hem mehaniki streslere, täsirlere we geýimlere ýokary çydamly edýär. SiC-iň ýokary berkligi, ýokary tizlikli wafli geçirişleri wagtynda takyklygy we gaýtalanýan ýerleşişini üpjün edýär.

2. Ajaýyp ýylylyk durnuklylygy

SiC keramikasynyň iň gymmatly aýratynlyklaryndan biri, mehaniki bitewiligini ýitirmän, aşa ýokary temperatura, köplenç inert atmosferada 1600 ° C çenli çydamlylyk ukybydyr. Malylylyk giňelişiniň pes koeffisiýenti (~ 4.0 x 10⁻⁶ / K) termiki welosiped sürmekde ölçegli durnuklylygy üpjün edýär, bu olary CVD, PVD we ýokary temperaturaly anneal ýaly programmalar üçin amatly edýär.

SiC keramiki ahyrky effekt Sorag-jogap

S waf Wafer ahyrky effektorynda haýsy material ulanylýar?

A ：Wafli ahyrky effektler köplenç ýokary güýç, ýylylyk durnuklylygy we bölejikleriň pes öndürilmegini üpjün edýän materiallardan ýasalýar. Bularyň arasynda Silikon Karbid (SiC) keramika iň ösen we halanýan materiallardan biridir. SiC keramikasy gaty gaty, termiki taýdan durnukly, himiki taýdan inert we geýmäge çydamly, olary arassa otagda we wakuum şertlerinde näzik kremniy wafli bilen işlemek üçin amatly edýär. Kwars ýa-da örtülen metallar bilen deňeşdirilende, SiC ýokary temperaturada ýokary ölçegli durnuklylygy hödürleýär we hapalanmagyň öňüni almaga kömek edýän bölejikleri dökmeýär.