Safir kwadrat boş substrat – optiki, ýarymgeçiriji we synag plastinasy

Safir kwadrat boş substrat – Optiki, ýarymgeçiriji we synag waferi. Görkezilen surat.

Gysgaça düşündiriş:

Suratda görkezilen sapfir inedördül boş substrat, ösen optiki ulgamlaryň, ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemegiň we takyk enjamlary synagdan geçirmegiň talaplaryna laýyk gelýän ýokary arassalykly, bir kristally alýumin oksidi (Al₂O₃) materialdyr. Kyropoulos (KY) ýa-da Czochralski (CZ) prosesi ýaly ösen kristal ösdürme usullary arkaly öndürilen bu sapfir boşlugy ajaýyp optiki açyklygy, adatdan daşary gatylygy we ajaýyp himiki durnuklylygy görkezýär, bu bolsa ony ýokary öndürijilikli senagat ulanylyşlary üçin ideal saýlawa öwürýär.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklar

Jikme-jik diagramma

Safir kwadrat boş substratynyň umumy syny

Suratda görkezilişi ýaly, sapfir çarçuwaly boş substrat, ösen optiki inženerçilikde, ýarymgeçiriji enjamlaryň önümçiliginde we takyk enjamlary synagdan geçirmekde ulanmak üçin niýetlenen ýokary arassalykly monokristal alýumin oksidi (Al₂O₃) bölegidir. Ajaýyp fiziki we himiki häsiýetleri bilen meşhur bolan sapfir, örän berkligi, durnuklylygy we optiki öndürijiligi talap edýän pudaklarda iň möhüm materiallaryň birine öwrüldi. Kyropoulos (KY), ýylylyk alyş-çalyş usuly (HEM) ýa-da Çozhralski (CZ) prosesleri ýaly çylşyrymly kristal ösüş usullary arkaly öndürilen bu çarçuwaly boşluklar iň ýokary hil standartlaryna laýyk gelmek üçin üns bilen öndürilýär.

Safir kwadrat boş substratynyň esasy aýratynlyklary

Safir altyburçluk tor gurluşyna eýe bolan bir okly, anizotrop kristal bolup, mehaniki berkligiň, termal durnuklylygyň we himiki garşylygyň deňsiz-taýsyz utgaşmasyny hödürleýär. Mohs gatylyk derejesi 9 bolan sapfir, dyrnaklara garşylyk babatda diňe almazdan soň ikinji orunda durýar we abraziw senagat şertlerinde hem ajaýyp uzak ömürliligi üpjün edýär. Onuň ereme nokady 2000°C-den geçýär, bu bolsa ýokary temperatura gurşawynda ygtybarly işlemegi üpjün edýär, şol bir wagtyň özünde pes dielektrik ýitgisi ony RF we ýokary ýygylykly elektron ulgamlary üçin iň gowy substrat materialyna öwürýär.

Optiki ugurda sapfir çuňňur ultramelewşeden (~200nm) görünýän we orta infragyzyl (~5000nm) şöhlelere çenli giň geçirijilik diapazonyny görkezýär, ajaýyp optiki birmeňzeşlige we dogry gönükdirilende pes iki öwüşginlilige eýedir. Bu häsiýetler sapfir inedördül boşluklaryny lazer ulgamlary, fotonika, spektroskopiýa we surat çekmek ýaly optika köp ulanylýan ugurlarda hökmany edýär.

Önümçilik we gaýtadan işlemek

Safir inedördül boş substratlaryň her biri berk önümçilik prosesinden geçýär, ýokary temperaturaly peçlerde kristallaryň gözegçilikli ösdürilmegine sezewar edilen ýokary arassa çig alýumin poroşoklaryndan başlaýar. Köp kristal ösdürilip ýetişdirilenden soň, ol ulanylyş üçin aýratyn talaplara laýyk gelmek üçin takyk gönükdirilendir (köplenç C-tekizlik (0001), A-tekizlik (11-20) ýa-da R-tekizlik (1-102)). Soňra kristal almaz bilen örtülen arralar bilen inedördül boşluklara bölünýär, soňra galyňlygyň birmeňzeşligine ýetmek üçin takyk çarçuwalanýar. Optiki we ýarymgeçiriji ulanylyşlar üçin ýüzler atom derejesindäki tekizlige çenli jylaňlanyp bilner, berk tekizlige, parallellige we ýüziň gödekligine laýyk gelýär.

Esasy artykmaçlyklar

Ajaýyp optiki açyklyk– UV-den IR-e giň zolakly geçirijilik ony optiki penjireler, lazer boşluklary we sensor örtükleri üçin amatly edýär.
Ýokary mehaniki berklik– Ýokary basyş güýji, döwülme çydamlylygy we dyrnaklanma garşylygy ýokary stresli gurşawlarda uzak ömürli bolmagy üpjün edýär.
Termal we himiki durnuklylyk– Termal şoklara, ýokary temperatura we agressiw himiki maddalara çydamly, ýarymgeçirijileri işläp bejermekde we daşky gurşawyň agyr täsirlerinde bitewiligini saklaýar.
Takyk ölçegli gözegçilik– ±5µm aralygynda galyňlyga çydamlylyk we λ/10 çenli (632.8nm-de) ýüziň tekizligi gazanylyp bilner, bu bolsa fotolitografiýa we wafer birikdirme ulanylyşlary üçin örän möhümdir.
Köpugurlylyk– Optiki komponentler, epitaksial ösüş substratlary we maşyn synag plitalary ýaly dürli ulanylyşlar üçin amatly.

Programmalar

Optiki ulanylyşlarOptiki aýdyňlygy we berkligi sebäpli penjireler, süzgüçler, lazer güýçlendiriji serişdeleri saklaýjylar, sensorlar üçin gorag örtükleri we fotonik substratlar hökmünde ulanylýar.
Ýarymgeçiriji substratlarGaN esasly LED-ler, güýçli elektronika (SiC-safir gurluşlary), RF enjamlary we mikroelektron zynjyrlar üçin esasy esas bolup hyzmat edýär, bu ýerde ýylylyk geçirijiligi we himiki garşylyk iň möhümdir.
Enjamlary synagdan geçirmek we maket waferlerÝarymgeçiriji önümçilik liniýalarynda synag substratlary hökmünde köplenç ulanylýar, maşyn kalibrlemesi, proses simulýasiýasy we aşındyrma, çökündi ýa-da barlag enjamlarynyň çydamlylygyny synag etmek üçin ulanylýar.
Ylmy barlaglarOptiki, elektrik we materiallary öwrenmek üçin inert, açyk we mehaniki taýdan durnukly platformalary talap edýän tejribe gurluşlarynda möhümdir.

Köp soralýan soraglar

S1: Tegelek wafliden kwadrat sapfir boşlugyny ulanmagyň artykmaçlygy näme?
A: Kwadrat boşluklar ýörite kesmek, enjam öndürmek ýa-da maşyn synagdan geçirmek üçin iň köp ulanyp boljak meýdany üpjün edýär, material ýitgilerini we çykdajylary azaldýar.

S2: Safir substratlary ýarymgeçirijileri işläp bejerýän gurşawlara çydap bilermi?
A: Hawa, sapfir substratlary ýokary temperatura, plazma aşındyrma we ýarymgeçiriji önümçilikde giňden ýaýran himiki bejergileriň şertlerinde durnuklylygy saklaýar.

S3: Meniň ulanylyşym üçin ýüzleý ugur möhümmi?
A: Elbetde. C-tekiz sapfir LED önümçiliginde GaN epitaksiýasy üçin giňden ulanylýar, A-tekizlik we R-tekizlik ugurlary bolsa belli bir optiki ýa-da pýezoelektrik ulanylyşlar üçin has amatlydyr.

S4: Bu boşluklar ýörite örtükler bilen elýeterlimi?
A: Hawa, belli bir optiki ýa-da elektron talaplaryna laýyk gelmek üçin şöhle şöhlelendirmeýän, dielektrik ýa-da geçiriji örtükler ulanylyp bilner.

Biz barada

XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.