N-Type SiC Kompozit Substratlary Dia6inch Ýokary hilli monokristal we pes hilli substrat
N-tipli SiC kompozit substratlary Umumy parametr tablisasy
| 项目Äzajylar | 指标Spesifikasiýa | 项目Äzajylar | 指标Spesifikasiýa |
| 直径Diametr | 150±0.2mm | 正 面 (硅 面) 粗 糙 度 Öň tarapdaky (Si-ýüzli) gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
| 晶型Köptip | 4H | Gyralaryň gyrasy, çyzyk, çatlak (görsel barlag) | Hiç hili |
| 电阻率Garşylyklylyk | 0.015-0.025 ohm ·sm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| Geçiriji gatlagyň galyňlygy | ≥0.4μm | 翘曲度Warp | ≤35μm |
| 空洞Boşluk | ≤5ea/wafer (2mm>D>0.5mm) | 总厚度Galyňlygy | 350±25μm |
"N-tipli" belgi SiC materiallarynda ulanylýan lepingiň görnüşini aňladýar. Ýarymgeçirijiler fizikasynda leping ýarymgeçirijiniň elektrik häsiýetlerini üýtgetmek üçin oňa bilgeşleýin hapaçylyklary girizmegi öz içine alýar. N-tipli leping materiala negatiw zarýad göteriji konsentrasiýasyny berýän erkin elektronlaryň artykmaçlygyny üpjün edýän elementleri girizýär.
N-tipli SiC kompozit substratlarynyň artykmaçlyklary aşakdakylary öz içine alýar:
1. Ýokary temperatura öndürijiligi: SiC ýokary ýylylyk geçirijiligine eýedir we ýokary temperaturada işläp bilýär, bu bolsa ony ýokary kuwwatly we ýokary ýygylykly elektron ulanylyşlary üçin amatly edýär.
2. Ýokary döwülme naprýaženiýesi: SiC materiallary ýokary döwülme naprýaženiýesine eýedir, bu bolsa olaryň elektrik döwülmesi bolmazdan ýokary elektrik meýdanlaryna çydamly bolmagyna mümkinçilik berýär.
3. Himiki we daşky gurşawa garşylyk: SiC himiki taýdan çydamlydyr we daşky gurşawyň agyr şertlerine çydap bilýär, bu bolsa ony kyn ulanyşlarda ulanmaga amatly edýär.
4. Energiýa ýitgileriniň azaldylmagy: Adaty kremniý esasly materiallar bilen deňeşdirilende, SiC substratlary has netijeli energiýa öwrülmegine mümkinçilik berýär we elektron enjamlarda energiýa ýitgilerini azaldýar.
5. Giň zolak aralygy: SiC giň zolak aralygyna eýedir, bu bolsa ýokary temperaturada we ýokary kuwwatlylyk dykyzlygynda işläp bilýän elektron enjamlaryň işlenip düzülmegine mümkinçilik berýär.
Umuman alanyňda, N-tipli SiC kompozit substratlary, esasanam ýokary temperatura işlemegiň, ýokary kuwwatlylyk dykyzlygynyň we netijeli kuwwatlylyk öwrülmeginiň möhüm bolan ulanylyşlarynda, ýokary öndürijilikli elektron enjamlarynyň işlenip düzülmegi üçin uly artykmaçlyklary hödürleýär.