Ýarymgeçirijiler we arassa otag awtomatlaşdyrmasy üçin ýokary öndürijilikli alýumin oksidi keramiki uç effektory (wilkaly gol)

Ýarymgeçirijiler we arassa otag awtomatlaşdyrmasy üçin ýokary öndürijilikli alýumin oksidi keramiki uç effektory (wilka goly) Görkezilen surat

Gysgaça düşündiriş:

Alumina Keramik Uç Effektory, şeýle hem keramiki çatal goly ýa-da robot keramiki el diýlip atlandyrylýar, ýarymgeçiriji, fotowoltaik, panel displeýi we ýokary arassa laboratoriýa gurşawlarynda awtomatlaşdyrylan ulgamlar üçin niýetlenen ýokary takyklykly işleýiş bölegidir. Ol kremniý plitalary, aýna substratlar we elektron mikrokomponentler ýaly duýgur materiallaryň arassa, ygtybarly we howpsuz daşalmagyny üpjün edip, ajaýyp termal durnuklylygy, mehaniki berkligi we himiki garşylygy üpjün etmek üçin işlenip düzüldi.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklar

Jikme-jik diagramma

Önümiň tanyşdyrylyşy

Robotlaşdyrylan effektoryň bir görnüşi hökmünde, bu keramiki bölek awtomatlaşdyrma ulgamy bilen iş bölegi arasyndaky soňky interfeýsdir. Ol arassa otaglarda we wakuum gurşawlarynda takyk geçirmekde, deňleşdirmekde, ýüklemekde/düşürmekde we ýerleşdirmekde möhüm rol oýnaýar.

ýarymgeçirijileriň plastinka hereketlendirijisi üçin keramiki gol G13

ýarymgeçirijileriň plastinka hereketlendirijisi üçin keramiki gol G10

ýarymgeçirijileriň plastinka hereketlendirijisi üçin keramiki gol G07

Materiallara umumy syn – Alýumin oksidi keramikasy (Al₂O₃)

Alýumin oksidi keramikasy ajaýyp mehaniki we elektrik häsiýetleri bilen tanalýan ýokary derejede durnukly we himiki taýdan inert tehniki keramika materialydyr. Bu soňky effektorlarda ulanylýan ýokary arassalyk (≥ 99,5%) alýumin oksidi aşakdakylary üpjün edýär:

Ýokary gatylyk (Mohs 9)Almazdan soň ikinji orunda durýan alýumin oksidi aşynma garşylygyny üpjün edýär.
Ýokary temperatura ukyby: 1600°C-den ýokary temperaturada gurluş bitewüligini saklaýar.
Himiki inertlikKislotalara, alkalilere, erginlere we plazma aşındyryjy gurşawlara çydamly.
Elektrik izolýasiýasy: Ýokary dielektrik berkligi we pes dielektrik ýitgisi bilen.
Pes termal giňelmeTermal sikl gurşawlarynda ölçeg durnuklylygyny üpjün edýär.
Az bölejik döreýärArassa otag bilen utgaşyklylyk üçin möhümdir (10-njy synpdan 1000-nji synpa çenli).

Bu aýratynlyklar alýumin keramikasyny hapalanmaga duýgur senagat pudaklarynda möhüm işler üçin ideal edýär.

Funksional ulanylyşlar

Alýumin oksidi keramiki effektor ýokary tehnologiýaly senagat proseslerinde, esasanam däp bolan metal ýa-da plastik materiallaryň termal giňelme, hapalanma ýa-da poslama meseleleri sebäpli ýetmezçilik edýän ýerlerinde giňden ulanylýar. Esasy ulanylyş ugurlary:

Ýarymgeçirijili plastinka geçirijisi
Fotolitografiýa ýükleme we düşürme ulgamlary
OLED we LCD liniýalarynda aýna substratyny ulanmak
Gün batareýasynyň önümçiliginde kristal kremniý waferiniň geçirilmegi
Awtomatlaşdyrylan optiki ýa-da mikroelektroniki barlag
Analitik ýa-da biolukmançylyk laboratoriýalarynda nusga daşamak
Wakuum gurşawyny awtomatlaşdyrmak ulgamlary

Onuň bölejikleri ýa-da statik zarýady girizmezden işlemek ukyby ony arassa otag awtomatlaşdyrmasynda takyk robot operasiýalary üçin hökmany edýär.

Dizayn aýratynlyklary we özleşdirme

Her bir keramiki effektor belli bir robot gol ýa-da wafer dolandyryş ulgamyna laýyk gelmek üçin işlenip düzülýär. Biz aşakdakylara esaslanyp, doly özleşdirmegi goldaýarys:

Wafer ölçegleriniň gabat gelmegi: 2", 4", 6", 8", 12" we has köp
Ýaýyň geometriýasy we aralygyGyra tutuşyny, arka tarapynyň goldawyny ýa-da çentikli wafer dizaýnlaryny öz içine alýar
Sorma portlaryKontaktsyz ulanmak üçin integrasiýa edilen wakuum deşikleri ýa-da kanallary
Montaž konfigurasiýasyRobotyňyzyň uç gurallarynyň flanşyna laýyklaşdyrylan deşikler, sapaklar, oýuklar
Ýüzleýi işläp bejermek: Jyllalanan, gatlaklanan ýa-da inçe üýşürilen örtük (Ra < 0.2 µm elýeterli)
Gyra goragyPlitanyň zeper ýetmeginiň öňüni almak üçin tegelek burçlar ýa-da fasşlar

Müşderiler tarapyndan hödürlenen CAD çyzgylaryny ýa-da 3D modellerini ulanmak arkaly inženerlerimiz her bir çatal goluny agramy, berkligi we arassalygy üçin optimizirläp bilerler.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Keramik uç effektorlarynyň artykmaçlyklary

Aýratynlyk	Peýda
Ýokary mehaniki berklik	Robot ýük güýçleriniň aşagynda ölçegli takyklygy saklaýar
Ajaýyp Termal Işjeňlik	Ýokary temperatura ýa-da plazma gurşawlarynda ygtybarly işleýär
Metalyň hapalanmagy ýok	Kritiki ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemekde ion hapalanma howpy ýok
Pes sürtülme ýüzi	Plastinka ýa-da aýna substratlarynda dyrnaklanma howpuny azaldýar
Antistatik we magnit däl	Tozan çekmeýär ýa-da magnit duýgur böleklerine täsir etmeýär
Uzyn hyzmat ömri	Gaýtalanýan ýokary tizlikli awtomatlaşdyrma sikllerinde ýokary derejede aşynma garşylygy
Ultra-Arassa Uýgunlyk	ISO 14644 arassa otaglar üçin laýyk (100 we ondan aşaky synp)

Plastik ýa-da alýumin gollar bilen deňeşdirilende, alýumin keramika minimal tehniki hyzmat talaplary bilen himiki we fiziki durnuklylygy ep-esli gowulandyrýar.

Emläk	Metall gol	Plastik gol	Alýumin oksidli keramiki gol
Gatylyk	Ortaça	Pes	Örän ýokary (Mohs 9)
Termal Durnuklylyk	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Himiki garşylyk	Ortaça	Garyp	Ajaýyp
Arassa otag üçin amatlylyk	Orta	Pes	Gaty ýokary
Eginmäge garşylyk	Orta	Pes	Ajaýyp
Dielektrik güýji	Pes	Orta	Ýokary
Özboluşly işleme takyklygy	Çäklendirilen	Ortaça	Ýokary (±0.01 mm mümkin)

Tehniki aýratynlyklar

Parametr	Bahasy
Material	Ýokary arassalykdaky alýumin oksidi (≥ 99.5%)
Iş temperaturasy	1600°C çenli
Ýüziň gödekligi	Ra ≤ 0.2 µm (isleg boýunça)
Gabat gelýän Wafer Ölçegleri	2" - 12" ýa-da öz islegiňize görä
Tekizlige çydamlylyk	±0.01 mm (ulanylyşyna bagly)
Wakuum Sorma Goldawy	Saýlama, özleşdirip bolýan kanallar
Montaž opsiýalary	Bolt arkaly geçirilýän, flanesli, ýarykly deşikler

Köp soralýan soraglar (KÖP)

S1: Soňky effektor bar bolan robot ulgamlaryna integrasiýa edilip bilnermi?
A1:Hawa. Biz robot interfeýsiňize esaslanyp özleşdirmegi goldaýarys. Takyk uýgunlaşdyrmak üçin bize CAD çyzgysyny ýa-da flanş ölçeglerini iberip bilersiňiz.

S2: Ulanylanda keramiki gollar aňsatlyk bilen döwülermi?
A2:Keramika tebigaty boýunça döwülýän bolsa-da, biziň dizaýnlarymyz stres konsentrasiýasyny azaltmak üçin optimizirlenen geometriýany ulanýar. Dogry ulanmak şertlerinde olar metal ýa-da plastmassadan has uzak hyzmat möhletini üpjün edýär.

S3: Muny örän ýokary wakuum ýa-da plazma aşındyryş kameralarynda ulanmak mümkinmi?
A3:Hawa. Alýumin oksidi keramikasy gaz çykarmaýar, termiki taýdan durnukly we korroziýa garşy çydamlydyr — ýokary wakuumly, reaktiv gaz ýa-da plazma gurşawlary üçin ajaýyp amatlydyr.

S4: Bu bölekler nähili arassalanýar ýa-da nähili abat saklanýar?
A4:Olary DI suw, spirt ýa-da arassa otag üçin laýyk gelýän ýuwujy serişdeler bilen arassalap bolýar. Himiki durnuklylygy we inert ýüzi sebäpli ýörite ideg gerek däl.

Biz barada

XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.