AlN-on-NPSS Wafer: Temokary temperatura, ýokary kuwwatly we RF programmalary üçin polat edilmedik ýakut substratynda ýokary öndürijilikli alýumin nitrit gatlagy
Aýratynlyklary
Performanceokary öndürijilikli AlN gatlagy: Alýumin Nitride (AlN) özi bilen tanalýarýokary ýylylyk geçirijiligi(~ 200 W / m · K),giň zolak, weýokary naprýa .eniýe naprýa .eniýesiüçin ideal material etmekýokary kuwwatly, ýokary ýygylykly, weýokary temperaturagoýmalary.
Polat däl sapfir substraty (NPSS): Jaýlanmadyk sapfir atygşytly, mehaniki taýdan berkýerüsti ýalpyldawuklygyň çylşyrymlylygy bolmazdan epitaksial ösüş üçin durnukly binýady üpjün etmek. NPSS-iň ajaýyp mehaniki aýratynlyklary ony kyn şertlerde çydamly edýär.
Termokary ýylylyk durnuklylygy: AlN-on-NPSS wafli aşa temperaturanyň üýtgemegine çydap biler we ony ulanmaga amatly ederkuwwat elektronikasy, awtoulag ulgamlary, Yşyk-diodly indikatorlar, weoptiki programmalarýokary temperaturaly şertlerde durnukly öndürijiligi talap edýär.
Elektrik izolýasiýasy: AlN ajaýyp elektrik izolýasiýa häsiýetine eýe bolup, ony nirede goýmalar üçin ajaýyp edýärelektrik izolýasiýasygoşmak bilen möhümdirRF enjamlarywemikrotolkun elektronikasy.
Iň ýokary ýylylyk paýlanyşy: Alokary ýylylyk geçirijiligi bilen, AlN gatlagy ýokary güýç we ýygylyk bilen işleýän enjamlaryň işleýşini we uzak ömrüni saklamak üçin zerur ýylylygyň ýaýramagyny üpjün edýär.
Tehniki parametrler
Parametr | Spesifikasiýa |
Wafer diametri | 2 dýuým, 4 dýuým (ýörite ölçegler bar) |
Substrat görnüşi | Polat däl sapfir substraty (NPSS) |
AlN gatlak galyňlygy | 2µm-den 10µm (düzülip bilner) |
Substrat galyňlygy | 430µm ± 25µm (2 dýuým üçin), 500µm ± 25µm (4 dýuým üçin) |
Malylylyk geçirijiligi | 200 W / m · K. |
Elektrik garşylygy | RFokary izolýasiýa, RF programmalary üçin amatly |
Faceerüsti gödeklik | Ra ≤ 0.5µm (AlN gatlagy üçin) |
Maddy arassalygy | Nokary arassalyk AlN (99,9%) |
Reňk | Ak / ak-ak (açyk reňkli NPSS substratly AlN gatlagy) |
Wafer Warp | <30µm (adaty) |
Doping görnüşi | Dopirlenmedik (özleşdirilip bilner) |
Goýmalar
TheAlN-on-NPSS waflibirnäçe pudak boýunça ýokary öndürijilikli goşundylaryň köp görnüşi üçin niýetlenendir:
Powerokary güýçli elektronika: AlN gatlagynyň ýokary ýylylyk geçirijiligi we izolýasiýa häsiýetleri ony ideal material edýärtok tranzistorlary, düzedijiler, wekuwwatly ICulanylýarawtoulag, senagat, wegaýtadan dikeldilýän energiýaulgamlary.
Radio-ýygylyk (RF) komponentleri: AlN-iň ajaýyp elektrik izolýasiýa häsiýetleri, pes ýitgileri bilen birlikde önümçilige mümkinçilik berýärRF tranzistorlary, HEMTs (-okary elektron-hereketli tranzistorlar)we başgalarmikrotolkun bölekleriýokary ýygylyklarda we güýç derejesinde netijeli işleýär.
Optiki enjamlar: AlN-on-NPSS wafli ulanylýarlazer diodlary, Yşyk-diodly indikatorlar, wefotodetektorlar, niredeýokary ýylylyk geçirijiligiwemehaniki berkligiuzaldylan ömrüň dowamynda öndürijiligi saklamak üçin zerurdyr.
Temokary temperatura datçikleri: Wafli aşa yssylyga garşy durmak ukyby ony amatly edýärtemperatura datçikleriwedaşky gurşawa gözegçilikýaly pudaklardahowa giňişligi, awtoulag, wenebit we gaz.
Ondarymgeçiriji gaplama: Ulanylýar ýylylyk ýaýradyjylarweýylylyk dolandyryş gatlaklarygaplaýyş ulgamlarynda, ýarymgeçirijileriň ygtybarlylygyny we netijeliligini üpjün edýär.
Sowal-jogap
S: AlN-on-NPSS wafli kremniý ýaly adaty materiallardan esasy artykmaçlygy näme?
J: Esasy artykmaçlygy AlN-iňýokary ýylylyk geçirijiligiýylylygy netijeli ýaýratmaga mümkinçilik berýän, ony amatly edýärýokary kuwwatlyweýokary ýygylykly programmalarýylylygy dolandyrmak möhümdir. Mundan başga-da, AlN-de agiň zolakwe ajaýypelektrik izolýasiýasyulanmak üçin has ýokary edýärRFwemikrotolkun enjamlaryadaty kremniý bilen deňeşdirilende.
S: NPSS waflindäki AlN gatlagyny sazlap bolarmy?
J: Hawa, AlN gatlagy programmaňyzyň aýratyn zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin galyňlygy (2µm-den 10µm ýa-da ondanam köp) aralygynda düzülip bilner. Şeýle hem, doping görnüşi (N görnüşli ýa-da P görnüşli) we ýöriteleşdirilen funksiýalar üçin goşmaça gatlaklar boýunça özleşdirmegi teklip edýäris.
S: Awtoulag pudagynda bu wafli üçin adaty programma haýsy?
J: Awtoulag pudagynda köplenç AlN-on-NPSS wafli ulanylýarkuwwat elektronikasy, LED yşyklandyryş ulgamlary, wetemperatura datçikleri. Dürli temperatura şertlerinde işleýän ýokary netijelilik ulgamlary üçin zerur bolan ýokary ýylylyk dolandyryşyny we elektrik izolýasiýasyny üpjün edýärler.
Jikme-jik diagramma



