8inch SiC Önümçilik derejeli wafli 4H-N SiC substraty

8inch SiC Önümçilik derejeli wafli 4H-N SiC substrat Aýratyn surat

Gysga düşündiriş:

8 dýuýmlyk SiC substratlary güýçli MOSFET (metal oksid ýarymgeçiriji meýdan effekt tranzistorlary), Şottki diodlary we beýleki ýarymgeçiriji enjamlar ýaly ýokary güýçli elektron enjamlarynda ulanylýar.

Bize e-poçta iberiň

Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

Aşakdaky tablisada 8inch SiC wafli aýratynlyklarymyz görkezilýär ：

8inch N görnüşli SiC DSP görnüşleri
San	Haryt	Bölüm	Önümçilik	Gözleg	Dummy
1: parametrler
1.1	polip görnüşi	--	4H	4H	4H
1.2	ýerüsti ugry	°	<11-20> 4 ± 0,5	<11-20> 4 ± 0,5	<11-20> 4 ± 0,5
2: Elektrik parametri
2.1	dopant	--	n görnüşli azot	n görnüşli azot	n görnüşli azot
2.2	garşylyk	ohm · sm	0.015 ~ 0.025	0.01 ~ 0.03	NA
3: Mehaniki parametr
3.1	diametri	mm	200 ± 0.2	200 ± 0.2	200 ± 0.2
3.2	galyňlygy	μm	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25
3.3	Kesgitleýiş ugry	°	[1- 100] ± 5	[1- 100] ± 5	[1- 100] ± 5
3.4	Çuňlugyň çuňlugy	mm	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
3.5	LTV	μm	≤5 (10mm * 10mm)	≤5 (10mm * 10mm)	≤10 (10mm * 10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Aý	μm	-25 ~ 25	-45 ~ 45	-65 ~ 65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Gurluş
4.1	mikrop turbanyň dykyzlygy	ea / cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metal düzümi	atomlar / cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea / cm2	≤500	0001000	NA
4.4	BPD	ea / cm2	0002000	≤5000	NA
4.5	TED	ea / cm2	0007000	≤10000	NA
5. Öň hili
5.1	öň	--	Si	Si	Si
5.2	ýerüsti gutarmak	--	Si-ýüzli CMP	Si-ýüzli CMP	Si-ýüzli CMP
5.3	bölejik	wafli	≤100 (ululygy≥0.3μm)	NA	NA
5.4	dyrna	wafli	≤5, Jemi Uzynlygy200mm	NA	NA
5.5	Gyrasy çipler / indentler / çatryklar / tegmiller / hapalanma	--	Hiç	Hiç	NA
5.6	Polip görnüşleri	--	Hiç	Meýdany ≤10%	Meýdany ≤30%
5.7	öň bellik	--	Hiç	Hiç	Hiç
6: Yzky hil
6.1	Yza	--	C ýüzli deputat	C ýüzli deputat	C ýüzli deputat
6.2	dyrna	mm	NA	NA	NA
6.3	Yzky kemçilikler çipler / görkezijiler	--	Hiç	Hiç	NA
6.4	Yzky gödeklik	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Yzky bellik	--	Notch	Notch	Notch
7: gyrasy
7.1	gyrasy	--	Çamfer	Çamfer	Çamfer
8: Bukja
8.1	gaplamak	--	Wakuum bilen epi taýýar gaplamak	Wakuum bilen epi taýýar gaplamak	Wakuum bilen epi taýýar gaplamak
8.2	gaplamak	--	Köp wafli kaseta gaplamak	Köp wafli kaseta gaplamak	Köp wafli kaseta gaplamak