8 дюйм SiC önümçilik derejeli wafer 4H-N SiC substraty
Aşakdaky tablisada 8 inçlik SiC waferlerimiziň tehniki aýratynlyklary görkezilýär:
| 8 дюйм N-tipli SiC DSP aýratynlyklary | |||||
| San | Haryt | Birlik | Önümçilik | Ylmy barlag | Manýaka |
| 1:parametrler | |||||
| 1.1 | köptip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ýüziň ugry | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Elektrik parametri | |||||
| 2.1 | garyndy | -- | n-tipli azot | n-tipli azot | n-tipli azot |
| 2.2 | garşylyk | ohm ·sm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Mehaniki parametr | |||||
| 3.1 | diametr | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | galyňlyk | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Notch ugry | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Çuňluk çukurlygy | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Ýaý | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Gurluş | |||||
| 4.1 | mikrotrubanyň dykyzlygy | ea/sm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metalyň düzümi | atomlar/sm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/sm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/sm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/sm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Öň tarapyň hili | |||||
| 5.1 | öň tarap | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ýüzleýiş | -- | Si-ýüzli CMP | Si-ýüzli CMP | Si-ýüzli CMP |
| 5.3 | bölejik | ea/wafli | ≤100 (ölçegi ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | dyrnaklamak | ea/wafli | ≤5, Umumy uzynlyk ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Gyra çatlaklar/çöküntüler/ýaryklar/lekeler/hapalanma | -- | Hiç hili | Hiç hili | NA |
| 5.6 | Köptipli sebitler | -- | Hiç hili | Meýdan ≤10% | Meýdan ≤30% |
| 5.7 | öň tarapdaky belgi | -- | Hiç hili | Hiç hili | Hiç hili |
| 6: Arka tarapyň hili | |||||
| 6.1 | arka tarapy | -- | C-ýüzli MP | C-ýüzli MP | C-ýüzli MP |
| 6.2 | dyrnaklamak | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Arka kemçilikleriň gyrasy çipler/içginlikler | -- | Hiç hili | Hiç hili | NA |
| 6.4 | Arkanyň gödekligi | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Arka belgi | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7:gyra | |||||
| 7.1 | gyra | -- | Paxça | Paxça | Paxça |
| 8: Paket | |||||
| 8.1 | gaplama | -- | Wakuum bilen Epi-taýýar gaplama | Wakuum bilen Epi-taýýar gaplama | Wakuum bilen Epi-taýýar gaplama |
| 8.2 | gaplama | -- | Köp waferli kasset gaplama | Köp waferli kasset gaplama | Köp waferli kasset gaplama |
Jikme-jik diagramma
Baglanyşykly önümler
Habaryňyzy şu ýere ýazyň we bize iberiň