8inch SiC Önümçilik derejeli wafli 4H-N SiC substraty
Aşakdaky tablisada 8inch SiC wafli aýratynlyklarymyz görkezilýär ：
| 8inch N görnüşli SiC DSP görnüşleri | |||||
| San | Haryt | Bölüm | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| 1: parametrler | |||||
| 1.1 | polip görnüşi | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ýerüsti ugry | ° | <11-20> 4 ± 0,5 | <11-20> 4 ± 0,5 | <11-20> 4 ± 0,5 |
| 2: Elektrik parametri | |||||
| 2.1 | dopant | -- | n görnüşli azot | n görnüşli azot | n görnüşli azot |
| 2.2 | garşylyk | ohm · sm | 0.015 ~ 0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
| 3: Mehaniki parametr | |||||
| 3.1 | diametri | mm | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 | 200 ± 0.2 |
| 3.2 | galyňlygy | μm | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 |
| 3.3 | Kesgitleýiş ugry | ° | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 | [1- 100] ± 5 |
| 3.4 | Çuňlugyň çuňlugy | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Aý | μm | -25 ~ 25 | -45 ~ 45 | -65 ~ 65 |
| 3.8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Gurluş | |||||
| 4.1 | mikrop turbanyň dykyzlygy | ea / cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metal düzümi | atomlar / cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea / cm2 | ≤500 | 0001000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea / cm2 | 0002000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea / cm2 | 0007000 | ≤10000 | NA |
| 5. Öň hili | |||||
| 5.1 | öň | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ýerüsti gutarmak | -- | Si-ýüzli CMP | Si-ýüzli CMP | Si-ýüzli CMP |
| 5.3 | bölejik | wafli | ≤100 (ululygy≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | dyrna | wafli | ≤5, Jemi Uzynlygy200mm | NA | NA |
| 5.5 | Gyrasy çipler / indentler / çatryklar / tegmiller / hapalanma | -- | Hiç | Hiç | NA |
| 5.6 | Polip görnüşleri | -- | Hiç | Meýdany ≤10% | Meýdany ≤30% |
| 5.7 | öň bellik | -- | Hiç | Hiç | Hiç |
| 6: Yzky hil | |||||
| 6.1 | Yza | -- | C ýüzli deputat | C ýüzli deputat | C ýüzli deputat |
| 6.2 | dyrna | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Yzky kemçilikler çipler / görkezijiler | -- | Hiç | Hiç | NA |
| 6.4 | Yzky gödeklik | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Yzky bellik | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7: gyrasy | |||||
| 7.1 | gyrasy | -- | Çamfer | Çamfer | Çamfer |
| 8: Bukja | |||||
| 8.1 | gaplamak | -- | Wakuum bilen epi taýýar gaplamak | Wakuum bilen epi taýýar gaplamak | Wakuum bilen epi taýýar gaplamak |
| 8.2 | gaplamak | -- | Köp wafli kaseta gaplamak | Köp wafli kaseta gaplamak | Köp wafli kaseta gaplamak |
Jikme-jik diagramma
Degişli önümler
Habaryňyzy şu ýere ýazyň we bize iberiň