8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Geçirijili gözleg derejesi

8Inç 200mm 4H-N SiC Wafer Geçirijili gözleg derejesi Aýratyn surat

Gysga düşündiriş:

Ulag, energiýa we senagat bazarlarynyň ösmegi bilen ygtybarly, ýokary öndürijilikli elektronikalara bolan isleg artýar. Icarymgeçirijiniň öndürijiligini gowulandyrmak üçin zerurlyklary kanagatlandyrmak üçin enjam öndürijileri 4H n görnüşli kremniy karbid (SiC) wafli 4H SiC Prime Grade portfelimiz ýaly giň zolakly ýarymgeçiriji materiallara göz aýlaýarlar.

Bize e-poçta iberiň

Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

Özboluşly fiziki we elektroniki aýratynlyklary sebäpli 200 mm SiC wafli ýarymgeçiriji material ýokary öndürijilikli, ýokary temperaturaly, radiasiýa çydamly we ýokary ýygylykly elektron enjamlaryny döretmek üçin ulanylýar. Tehnologiýa has ösüp, isleg artdygyça 8inch SiC substrat bahasy kem-kemden peselýär. Soňky tehnologiýa ösüşleri 200mm SiC wafli önümçiliginiň göwrümli önümçiligine getirýär. Si we GaAs wafli bilen deňeşdirilende SiC wafli ýarymgeçiriji materiallaryň esasy artykmaçlyklary: Güýç döwülende 4H-SiC elektrik meýdanynyň güýji Si we GaAs üçin degişli bahalardan has ýokary ululyk tertibinden has ýokarydyr. Bu, Ron döwletiň garşylygy ep-esli peselmegine getirýär. Pes derejeli garşylyk, ýokary tok dykyzlygy we ýylylyk geçirijiligi bilen utgaşyp, elektrik enjamlary üçin gaty kiçi ölü ulanmaga mümkinçilik berýär. SiC-iň ýokary ýylylyk geçirijiligi çipiň ýylylyk garşylygyny peseldýär. SiC wafli esasly enjamlaryň elektron häsiýetleri wagtyň geçmegi bilen we önümleriň ýokary ygtybarlylygyny üpjün edýän temperatura durnuklylygy boýunça gaty durnukly. Silikon karbid, çipiň elektron häsiýetlerini pese gaçyrmaýan gaty radiasiýa garşy örän çydamly. Kristalyň ýokary çäklendiriji iş temperaturasy (6000C-den gowrak) size agyr iş şertleri we ýörite programmalar üçin ýokary ygtybarly enjamlary döretmäge mümkinçilik berýär. Häzirki wagtda 200mmSiC wafli yzygiderli we yzygiderli üpjün edip bileris we ammarda birneme paý alyp bileris.

Spesifikasiýa

San	Haryt	Bölüm	Önümçilik	Gözleg	Dummy
1. Parametrler
1.1	polip görnüşi	--	4H	4H	4H
1.2	ýerüsti ugry	°	<11-20> 4 ± 0,5	<11-20> 4 ± 0,5	<11-20> 4 ± 0,5
2. Elektrik parametri
2.1	dopant	--	n görnüşli azot	n görnüşli azot	n görnüşli azot
2.2	garşylyk	ohm · sm	0.015 ~ 0.025	0.01 ~ 0.03	NA
3. Mehaniki parametr
3.1	diametri	mm	200 ± 0.2	200 ± 0.2	200 ± 0.2
3.2	galyňlygy	μm	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25
3.3	Kesgitleýiş ugry	°	[1- 100] ± 5	[1- 100] ± 5	[1- 100] ± 5
3.4	Çuňlugyň çuňlugy	mm	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
3.5	LTV	μm	≤5 (10mm * 10mm)	≤5 (10mm * 10mm)	≤10 (10mm * 10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Aý	μm	-25 ~ 25	-45 ~ 45	-65 ~ 65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4. Gurluş
4.1	mikrop turbanyň dykyzlygy	ea / cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metal düzümi	atomlar / cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea / cm2	≤500	0001000	NA
4.4	BPD	ea / cm2	0002000	≤5000	NA
4.5	TED	ea / cm2	0007000	≤10000	NA
5. Oňyn hil
5.1	öň	--	Si	Si	Si
5.2	ýerüsti gutarmak	--	Si-ýüzli CMP	Si-ýüzli CMP	Si-ýüzli CMP
5.3	bölejik	wafli	≤100 (ululygy≥0.3μm)	NA	NA
5.4	dyrna	wafli	≤5, Jemi Uzynlygy200mm	NA	NA
5.5	Gyrasy çipler / indentler / çatryklar / tegmiller / hapalanma	--	Hiç	Hiç	NA
5.6	Polip görnüşleri	--	Hiç	Meýdany ≤10%	Meýdany ≤30%
5.7	öň bellik	--	Hiç	Hiç	Hiç
6. Yzky hil
6.1	Yza	--	C ýüzli deputat	C ýüzli deputat	C ýüzli deputat
6.2	dyrna	mm	NA	NA	NA
6.3	Yzky kemçilikler çipler / görkezijiler	--	Hiç	Hiç	NA
6.4	Yzky gödeklik	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Yzky bellik	--	Notch	Notch	Notch
7. Gyrasy
7.1	gyrasy	--	Çamfer	Çamfer	Çamfer
8. Bukja
8.1	gaplamak	--	Wakuum bilen epi taýýar gaplamak	Wakuum bilen epi taýýar gaplamak	Wakuum bilen epi taýýar gaplamak
8.2	gaplamak	--	Köp wafli kaseta gaplamak	Köp wafli kaseta gaplamak	Köp wafli kaseta gaplamak