Ultra-Precision SiC Howa Daşaýjy Sahna

Gysgaça düşündiriş:

Ýarymgeçirijiler senagatynyň üznüksiz ösüşi bilen, gaýtadan işlemek we barlag enjamlary has ýokary öndürijiligi talap edýär. Hereketi dolandyrmak we nanometr derejesindäki ýerleşdirmekde giň tejribä daýanyp, biz tekiz H görnüşli iki okly ultra takyk howa göteriji basgançagy işläp düzdik.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklar

Jikme-jik diagramma

Umumy syn

Çäklendirilen elementler bilen optimizirlenen kremniý karbidi (SiC) keramiki gurluşy we kompensirlenen howa göteriji tehnologiýasy bilen işlenen bu sahna ajaýyp takyklygy, berkligi we dinamiki jogaby üpjün edýär. Ol aşakdakylar üçin iň amatlydyr:

Ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemek we barlamak
Mikro/nano önümçilik we metrologiýa
Nanometr ölçegli uçujy kesiş we jylamak
Ýokary tizlikli takyklyk bilen skanirleme

Esasy aýratynlyklar

SiC howa göteriji ýolörän ýokary berklik we takyklyk üçin
Ýokary dinamika: tizlik 1 m/s çenli, tizlenme 4 g çenli, çalt çökme
Iki hereketlendirijili portal Y-okyýokary ýük göterijiligini we durnuklylygyny üpjün edýär
Kodlaýjy opsiýalaryoptiki tor ýa-da lazer interferometri
Ýerleşdiriş takyklygy: ±0.15 μm;gaýtalanýanlyk: ±75 nm
Optimallaşdyrylan kabel marşrutlaşdyrmasyarassa dizaýn we uzak möhletli ygtybarlylyk üçin
Özleşdirip bolýan konfigurasiýalarprogrammanyň aýratyn zerurlyklary üçin

Ultra-Precision Dizaýn we Göni hereketlendiriji, Kontaktsyz Arhitektura

SiC Keramik ÇerçeweAlýumin ergininiň ~5 × gatylygy we ~5 × pes termal giňelmegi, ýokary tizlikli durnuklylygy we termal berkligi üpjün edýär.
Kompensirlenen howa podşipnigi: Hususy dizaýn berkligi, ýük göterijiligini we hereket durnuklylygyny ýokarlandyrýar.
Dinamik öndürijilik: 1 m/s tizligi we 4 g tizlenmäni goldaýar, ýokary öndürijilikli prosesler üçin ideal.
Keskinsiz integrasiýa: Titreşim izolýasiýa ulgamlary, aýlanýan basgançaklar, egiliş modullary we wafer işlemegiň platformalary bilen utgaşykly.
Kabel dolandyryşy: Dolandyrylýan egilme radiusy hyzmat ömrüni uzaltmak üçin stresi azaldýar.

Özeksiz Linear Motor: Nol dişli güýji bilen ýumşak hereket.
Köp motorly hereketlendirijiÝük tekizligindäki hereketlendirijiniň ýerleşdirilişi göniligi, tekizligi we burç takyklygyny gowulandyrýar.
Termal izolýasiýaMotorlar sahna gurluşyndan izolýasiýa edilen; ýokary iş siklleri üçin howa ýa-da suw bilen sowadyş mümkinçiligi islege görä.

Tehniki häsiýetnamalar

Model	400-400	500-500	600-600
Oklar	X (skanirleme) / Y (ädim)	X (skanirleme) / Y (ädim)	X (skanirleme) / Y (ädim)
Syýahat (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Takyklyk (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Gaýtalanýanlyk (nm)	±75	±100	±100
Çözgüt (nm)	0.3	0.3	0.3
Maksimum tizlik (m/s)	1	1	1
Tizlenme (g)	4	4	4
Düzlük (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Durnuklylyk (nm)	±5	±5	±5
Maksimum ýük (kg)	20	20	20
Aýak/Döňül/Ýaw (ýaý-sek)	±1	±1	±1

Synag şertleri:

Howa üpjünçiligi: arassa, gurak; çyg nokady ≤ 0°F; bölejikleriň süzülmesi ≤ 0.25 μm; ýa-da 99.99% azot.
Takyklyk 20±1 °C temperaturada, 40–60% nisbi howada, sahna merkezinden 25 mm ýokarda ölçeldi.

Programmalar

Ýarymgeçiriji litografiýasy, barlagy we wafer bilen işlemek
Mikro/nano önümçilik we takyk metrologiýa
Ýokary derejeli optika önümçiligi we interferometriýa
Aerokosmos we öňdebaryjy ylmy barlaglar

Köplenç berilýän soraglar – Silikon karbid howa podşipnigi basgançagy

1. Howa göteriji basgançak näme?

Howa göteriji basgançak üpjün etmek üçin basgançak bilen ýol görkezijisiniň arasynda basyşly howanyň inçe örtügini ulanýarsürtülmesiz, geýilmeýän we örän ýumşak hereketAdaty mehaniki podşipniklerden tapawutlylykda, ol taýajyklaryň süýşmegini aradan aýyrýar, nanometr derejesindäki takyklygy üpjün edýär we uzak möhletli ygtybarlylygy goldaýar.

2. Sahna gurluşy üçin näme üçin kremniý karbidi (SiC) ulanylýar?

Ýokary berklik: Dinamik hereket wagtynda deformasiýany iň pes derejä düşürýän alýumin ergininiň ~5 ×.
Pes termal giňelme: Alýuminiýden ~5 × pes, temperatura üýtgemelerinde takyklygy saklaýar.
ÝeňilPolat bilen deňeşdirilende has pes dykyzlyk, ýokary tizlikli we ýokary tizlikli işleýşi üpjün edýär.
Ajaýyp durnuklylyk: Ultra takyk ýerleşdirmek üçin ýokary derejeli amortizasiýa we berklik.

3. Sahna ýaglamak ýa-da tehniki hyzmat talap edýärmi?

Adaty ýaglama gerek däl, sebäbi barmehaniki kontakt ýokMaslahat berilýän tehniki hyzmat aşakdakylary öz içine alýar:

Üpjünçilikarassa, gurak basylan howa ýa-da azot
Filtrleriň we guradyjylaryň döwürleýin barlagy
Kabelleri we sowadyjy ulgamlary gözegçilik etmek

4. Howa üpjünçiliginiň talaplary näme?

Çyg nokady: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Bölejikleriň süzülmesi: ≤ 0.25 μm
Arassa, gurak howa ýa-da 99.99% arassa azot
Minimal üýtgeme bilen durnukly basyş

Biz barada

XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.