Kremniý karbidi (SiC) gorizontal peç turbasy

Silikon karbidi (SiC) gorizontal peç turbasy Görkezilen surat

Gysgaça düşündiriş:

Kremniý karbidi (SiC) gorizontal peç turbasy ýarymgeçiriji önümçilikde, fotowoltaik önümçilikde we ösen materiallary gaýtadan işlemekde ulanylýan ýokary temperaturaly gaz faza reaksiýalary we ýylylyk bilen işlenilmegi üçin esasy proses kamerasy we basyş serhedi bolup hyzmat edýär.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklar

Jikme-jik diagramma

Önümiň ýerleşdirilişi we gymmatlyk teklibi

Bir bölekden ybarat, goşmaça önümler bilen öndürilen SiC gurluşy we dykyz CVD-SiC gorag gatlagy bilen utgaşdyrylan bu turba ajaýyp ýylylyk geçirijiligini, minimal hapalanmany, güýçli mehaniki bitewüligi we ajaýyp himiki garşylygy üpjün edýär.
Onuň dizaýny ýokary temperatura deňligini, uzaldylan hyzmat aralyklaryny we durnukly uzak möhletli işlemegi üpjün edýär.

Esasy artykmaçlyklar

Sistemanyň temperatura yzygiderliligini, arassalygyny we enjamlaryň umumy netijeliligini (OEE) ýokarlandyrýar.
Arassalamak üçin boş wagtyny azaldýar we çalşyryş sikllerini uzaldýar, umumy eýeçilik çykdajylaryny (TCO) azaldýar.
Ýokary temperaturaly oksidleýji we hlor baý himiki maddalary minimal töwekgelçilik bilen işläp bilýän uzak ömürli kamerany üpjün edýär.

Degişli atmosferalar we proses penjiresi

Reaktiw gazlarkislorod (O₂) we beýleki oksidleşdiriji garyndylar
Daşaýjy/goragçy gazlarazot (N₂) we örän arassa inert gazlar
Gabat gelýän görnüşler: hlor saklaýan gazlaryň az mukdary (konsentrasiýasy we saklanma wagty resept boýunça gözegçilik edilýär)

Tipiki prosesler: gurak/çygly oksidlenme, ýumşatmak, diffuziýa, LPCVD/CVD çökündisi, ýüzleý aktiwleşdirme, fotowoltaik passiwasiýa, funksional inçe plýonka ösüşi, kömürleşme, nitridleşme we başgalar.

Işleýiş şertleri

Temperatura: otagyň temperaturasy 1250 °C çenli (gyzdyryjynyň dizaýnyna we ΔT-e baglylykda 10–15% howpsuzlyk çägine rugsat beriň)
Basyş: pes basyşly/LPCVD wakuum derejelerinden atmosfera golaý oňyn basyşa çenli (her bir satyn alyş sargydy üçin gutarnykly spesifikasiýa)

Materiallar we Gurluşyk Logikasy

Monolit SiC göwresi (Goşmaça önüm)

Ýokary dykyzlykly β-SiC ýa-da köp fazaly SiC, ýeke komponent hökmünde guruldy — sızyp biljek ýa-da dartgynlyk nokatlaryny döredip biljek lehimlenen birleşmeler ýa-da tikişler ýok.
Ýokary ýylylyk geçirijiligi çalt ýylylyk jogabyny we ajaýyp ok/radial temperatura deňligini üpjün edýär.
Pes, durnukly termal giňelme koeffisiýenti (CTE) ýokary temperaturada ölçeg durnuklylygyny we ygtybarly möhürleri üpjün edýär.

CVD SiC Funksional Örtük

Bölejikleriň döremegini we metal ionlarynyň bölünip çykmagyny basyp ýatyrmak üçin ýerinde ýerleşdirilen, örän arassa (ýüz/örtük hapaçylyklary < 5 ppm).
Oksidleýji we hlor saklaýan gazlara garşy ajaýyp himiki inertlik, diwara hüjüm etmegiň ýa-da gaýtadan çökmegiň öňüni alýar.
Korroziýa garşylygyny we termal täsirini deňleşdirmek üçin zona üçin mahsus galyňlyk opsiýalary.

Bilelikdäki peýdaBerk SiC göwresi gurluş berkligini we ýylylyk geçirijiligini üpjün edýär, CVD gatlagy bolsa iň ýokary ygtybarlylyk we öndürijilik üçin arassalygy we korroziýa garşylygyny kepillendirýär.

Esasy netijelilik maksatlary

Yzygiderli ulanmak temperaturasy:≤ 1250 °C
Substratyň köp mukdarda hapaçylyklary:< 300 ppm
CVD-SiC ýüzleý hapaçylyklary:< 5 ppm
Ölçeg çydamlylyklary: OD ±0.3–0.5 mm; koaksiallyk ≤ 0.3 mm/m (has berk elýeterli)
Içki diwaryň gödekligi: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (jylaňlanan ýa-da aýna ýaly reňklemek islege görä)
Geliniň syzma tizligi: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Termal şoka çydamlylyk: gaýta-gaýta gyzgyn/sowuk sikllerinde çatlamazdan ýa-da ýarylmadan çydap bilýär
Arassa otagyň gurnalmasy: sertifikatlaşdyrylan bölejikleriň/metal-ion galyndy derejeleri bilen ISO 5–6 klasy

Konfigurasiýalar we opsiýalar

Geometriýa: OD 50–400 mm (bahalandyryş boýunça has uly) uzyn bir bölekli gurluş bilen; diwaryň galyňlygy mehaniki berklik, agram we ýylylyk akymy üçin optimizirlenen.
Uç dizaýnlaryflanesler, jaň agzy, ştanga, ýerleşdiriji halkalar, O-şekilli oýuklar we ýörite nasos bilen çykarylýan ýa-da basyş portlary.
Funksional portlartermoelement geçirijileri, gözegçilik aýnasy oturgyçlary, aýlanyp geçýän gaz girişleri — bularyň hemmesi ýokary temperaturada, syzmasyz işlemek üçin niýetlenen.
Örtük shemalaryiçki diwar (standart), daşky diwar ýa-da doly örtük; ýokary täsirli sebitler üçin maksatly gorag ýa-da derejelenen galyňlyk.
Ýüzleýi işläp bejermek we arassaçylyk: köp sanly gödeklik derejeleri, ultrases/DI arassalamak we ýörite bişirmek/guraklandyrmak protokollary.
Aksessuarlar: grafit/keramika/metal flanesler, möhürler, ýerleşdiriji enjamlar, işletme gaplary we saklama gaplary.

Öndürijilik deňeşdirmesi

Metrik	SiC Tube	Kwarts turbasy	Alýumin okislotasy turbasy	Grafit turbasy
Ýylylyk geçirijiligi	Ýokary, birmeňzeş	Pes	Pes	Ýokary
Ýokary temperatura güýji/süýşmek	Ajaýyp	Adalatly	Gowy	Gowy (oksidlenme duýgur)
Termal şok	Ajaýyp	Gowşak	Ortaça	Ajaýyp
Arassaçylyk / metal ionlary	Ajaýyp (pes)	Ortaça	Ortaça	Garyp
Oksidlenme we Cl-himiýa	Ajaýyp	Adalatly	Gowy	Ýaramaz (oksidlenýär)
Bahasy we hyzmat möhleti	Orta / uzak ömür	Pes / gysga	Orta / orta	Orta / daşky gurşaw bilen çäklendirilen

Köp soralýan soraglar (KÖP)

S1. Näme üçin 3D çap edilen monolit SiC göwresini saýlamaly?
A. Ol stres akdyryp ýa-da konsentrasiýa edip bilýän tikişleri we lehimleri aradan aýyrýar we çylşyrymly geometriýalary yzygiderli ölçeg takyklygy bilen goldaýar.

S2. SiC hlorly gazlara çydamlymy?
A. Hawa. CVD-SiC bellenen temperatura we basyş çäklerinde ýokary derejede inertdir. Ýokary täsirli ýerler üçin ýerli galyň örtükler we berk arassalaýjy/çykaryjy ulgamlar maslahat berilýär.

S3. Ol kwars turbalaryndan nähili gowy netije görkezýär?
A. SiC has uzak hyzmat möhletini, has gowy temperatura deňligini, has az bölejikleriň/metal-ion hapalanmagyny we has gowy TCO-ny hödürleýär — esasanam ~900 °C-den ýokary ýa-da oksidleýji/hlorly atmosferalarda.

S4. Turba çalt termal ramplama çydap bilermi?
A. Hawa, maksimum ΔT we ramp tizligi boýunça görkezmeler berjaý edilen halatynda. Ýokary κ SiC göwresini inçe CVD gatlagy bilen birleşdirmek çalt termal geçişleri goldaýar.

S5. Haçan çalşyrmak gerek?
A. Eger flanes ýa-da gyra ýaryklaryny, örtük çukurlaryny ýa-da ýaryklanmalaryny, syzma tizliginiň artmagyny, temperatura profiliniň ep-esli süýşmegini ýa-da anomal bölejikleriň döremegini anyklasaňyz, turbany çalşyryň.

Biz barada

XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.