Mazmuny
1. FOUP-yň umumy synlary we esasy wezipeleri
2. FOUP-nyň gurluşy we dizaýn aýratynlyklary
3. FOUP-yň klassifikasiýasy we amaly görkezmeleri
4. ondarymgeçiriji önümçiliginde FOUP-nyň işi we ähmiýeti
5. Tehniki kynçylyklar we geljekdäki ösüş meýilleri
6.XKH-iň ýöriteleşdirilen çözgütleri we hyzmat goldawy
Ondarymgeçiriji önümçilik prosesinde, “Front Opening Unified Pod” (FOUP) wafli goramak, daşamak we saklamak üçin ulanylýan möhüm gapdyr. Içinde 300 bölek wafli 25 bölek bolup biler, esasy komponentleri bolsa açyk gapy we açmak we ýapmak üçin ýörite gapy çarçuwasyny öz içine alýar. FOUP 12 dýuým wafli fabsyň içinde awtomatlaşdyrylan transport ulgamynda esasy daşaýjydyr. Adatça ýapyk ýagdaýda daşalýar we diňe enjam ýük portuna iteklenende açylýar, wafli enjamlaryň ýüklemek / düşürmek portuna geçirmäge mümkinçilik berýär.
FOUP-nyň dizaýny mikro-gurşaw talaplaryna uýgunlaşdyryldy. Wafli salmak üçin arka tarapdaky ýerler bar we gapagy açaryň gysgyjyna laýyk gelýär. Wafli işleýän robotlar, 1-nji derejeli arassa howa gurşawynda işleýär, wafli geçiriş wagtynda hapalanmazlygyny üpjün edýär. Mundan başga-da, FOUP awtomatlaşdyrylan material işleýiş ulgamy (AMHS) arkaly gurallaryň arasynda geçirilýär. Döwrebap wafli fablar esasan daşamak üçin demir ýol ulgamlaryny ulanýarlar, birnäçe köne fab bolsa ýerüsti awtomatiki usulda dolandyrylýan ulaglary (AGV) ulanyp bilerler.
FOUP diňe bir awtomatiki wafli geçirmäge mümkinçilik bermän, eýsem ammar funksiýasyna hem hyzmat edýär. Köp sanly önümçilik ädimleri sebäpli, wafli ähli prosesi tamamlamak üçin birnäçe aý gerek bolup biler. Monthlyokary aýlyk önümçilik mukdary bilen utgaşdyrylsa, bu fabyň içindäki on müňlerçe wafli islendik wagt tranzitde ýa-da wagtlaýyn ammarda bolýar. Saklanylanda, arassalaýjy we arassa önümçilik prosesini üpjün edip, hapalaýjylaryň wafli bilen habarlaşmagynyň öňüni almak üçin FOUP-lar wagtal-wagtal azot bilen arassalanýar.
1. FOUP-nyň wezipeleri we ähmiýeti
FOUP-nyň esasy wezipesi, wafli daşarky zarba we hapalanmakdan goramak, esasanam geçiriş döwründe hasyllyga täsir etmekden saklanmakdyr. Gaz arassalamak we ýerli atmosfera gözegçilik (LAC) ýaly usullar arkaly çyglylygyň öňüni alýar, indiki önümçilik ädimine garaşýan wafleriň howpsuz ýagdaýda bolmagyny üpjün edýär. Möhürli we gözegçilik edilýän ulgam diňe zerur birleşmeleriň we elementleriň girmegine mümkinçilik döredýär, bu bolsa VOK-laryň, kislorodyň we çyglylygyň waflere edýän ýaramaz täsirini ep-esli azaldýar.
25 wafli doly ýüklenen FOUP agramy 9 kilograma ýetip bilýändigi sebäpli, onuň daşalmagy awtomatlaşdyrylan material işleýiş ulgamyna (AMHS) bil baglamalydyr. Muny aňsatlaşdyrmak üçin FOUP dürli plastinkalaryň, gysgyçlaryň we deşikleriň dürli kombinasiýalary bilen işlenip düzülendir we aňsat kesgitlemek we klassifikasiýa etmek üçin RFID elektron bellikleri bilen enjamlaşdyrylandyr. Bu awtomatiki usulda işlemek, el bilen işlemegi talap etmeýär, ýalňyşlyk derejesini ep-esli peseldýär we önümçilik prosesiniň howpsuzlygyny we takyklygyny ýokarlandyrýar.
2. FOUP-nyň gurluşy we klassifikasiýasy
FOUP-yň adaty ölçegleri ini takmynan 420 mm, çuňlugy 335 mm we beýikligi 335 mm. Esasy gurluş düzüm böleklerine şular girýär: ýokary götermek üçin ýokary OHT (kömelek kellesi); enjamlara wafli girmek üçin öň gapy; gapdal tutawaçlar, dürli hapalanma derejeleri bilen proses meýdanlaryny tapawutlandyrmak üçin köplenç reňkli; habar kartalaryny ýerleşdirmek üçin kart meýdançasy; we gurallar we ýokary göterijiler ony tanamaga mümkinçilik berýän FOUP üçin özboluşly kesgitleýji bolup hyzmat edýän aşaky RFID belligi. Şeýle hem, gurallar bilen gabat gelmek we proses meýdançalaryny tapawutlandyrmak üçin dört kesgitleýji we ýerleşdiriji deşik bar.
Ulanylyşyna esaslanyp, FOUP-lar üç görnüşe bölünýär: PRD (önümçilik üçin), ENG (in engineeringener wafli üçin) we MON (monitor wafli üçin). PRD FOUP önüm öndürmek üçin ulanylyp bilner, ENG görnüşleri R&D ýa-da synaglar üçin amatly, MON görnüşleri bolsa CMP we DIFF ýaly ädimler üçin gözegçilik gözegçiligine bagyşlanýar. PRD FOUP-laryň hem ENG, hem-de MON maksatlarynda, ENG görnüşleriniň bolsa MON üçin ulanylyp bilinjekdigini bellemelidiris, ýöne ters amal hil taýdan töwekgelçilik döredýär.
Hapalanma derejesi boýunça toparlara bölünen FOUP-lary FE FOUP (öňdäki proses, metalsyz), BE FOUP (arka prosesi, metal öz içine alýar) we NI FOUP, CU FOUP we CO FOUP ýaly ýörite metal amallary üçin ýöriteleşdirilenlere bölmek mümkin. Dürli amallar üçin FOUP, adatça gapdal tutawaçlaryň ýa-da gapy panelleriniň reňki bilen tapawutlanýar. Öňki proseslerden alnan FOUP-ler yzky proseslerde ulanylyp bilner, ýöne yzky FOUP-lar hiç wagt öňdäki proseslerde ulanylmaly däldir, sebäbi bu hapalanmak töwekgelçiligine sebäp bolar.
Ondarymgeçiriji önümçiliginde esasy daşaýjy hökmünde FOUP, ýokary awtomatlaşdyryş we berk hapalanma gözegçiligi arkaly önümçilik döwründe wafleriň howpsuzlygyny we arassalygyny üpjün edýär we häzirki zaman waf fablarynda aýrylmaz infrastruktura öwürýär.
Netije
XKH, müşderilere ýokary ýöriteleşdirilen “Front-Opening Unified Pod” (FOUP) çözgütleri bilen üpjün etmegi, aýratyn amal talaplaryňyza we enjam interfeýs aýratynlyklaryna berk eýermegi maksat edinýär. Ösen material tehnologiýalaryny we takyk önümçilik amallaryndan peýdalanmak bilen, her FOUP önüminiň ajaýyp howa geçirijiligini, arassalygyny we mehaniki durnuklylygyny üpjün edýäris. Tehniki toparymyz, FOUP bilen Awtomatlaşdyrylan material işleýiş ulgamyňyz (AMHS), şeýle hem gaýtadan işleýän enjamlar bilen üznüksiz integrasiýany we netijeli hyzmatdaşlygy üpjün etmek, seçip alyş maslahatyndan we gurluş optimizasiýasyndan tä arassalamak we tehniki hyzmat etmek ýaly giňişleýin ömri siklini goldaýan çuňňur önümçilik tejribesine eýedir. Esasy maksatlarymyz hökmünde wafleriň howpsuzlygyny we önümçiligiň hasyllylygyny ýokarlandyrmagy yzygiderli ileri tutýarys. Innowasiýa önümleri we ähli zady öz içine alýan tehniki hyzmatlar arkaly, ýarymgeçirijiniň önümçilik prosesleri üçin ahyrky netijede önümçiligiň netijeliligini we önüm öndürijiligini ýokarlandyrýarys.
Iş wagty: Sentýabr-08-2025