8 дюймlyk silikon wafer P/N görnüşli (100) 1-100Ω gaýtadan işleýän substrat
Wafer gutusynyň tanyşdyrylyşy
8 dýuýmlyk kremniý plastinkasy giňden ulanylýan kremniý substrat materialy bolup, integral mikrosxemalaryň önümçilik prosesinde giňden ulanylýar. Şeýle kremniý plastinkalary, adatça, mikroprosessorlar, ýat çipleri, sensorlar we beýleki elektron enjamlar ýaly dürli görnüşli integral mikrosxemalary ýasamak üçin ulanylýar. 8 dýuýmlyk kremniý plastinkalary, adatça, uly ölçegli çipleri ýasamak üçin ulanylýar, olaryň artykmaçlyklary has uly ýüz meýdany we bir kremniý plastinkasynda has köp çip öndürmek mümkinçiligini öz içine alýar, bu bolsa önümçiligiň netijeliliginiň ýokarlanmagyna getirýär. 8 dýuýmlyk kremniý plastinkasy şeýle hem gowy mehaniki we himiki häsiýetlere eýedir, bu bolsa uly göwrümli integral mikrosxemalaryň önümçiligi üçin amatlydyr.
Önümiň aýratynlyklary
8" P/N görnüşli, jylaňlanan kremniý wafer (25 sany)
Ugur: 200
Garşylyklylyk: 0.1 - 40 ohm•sm (Her tapgyrda dürli bolup biler)
Galyňlygy: 725+/- 20um
Esasy/Gözegçi/Synag Bahasy
MATERIAL HÄSIÝETLERI
| Parametr | Aýratynlyk |
| Görnüş/Goşulma | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsen |
| Ugurlar | <100>, <111> müşderiniň talaplaryna laýyklykda ugurlary kesip aýyrýar |
| Kislorod mukdary | 1019ppmA Müşderiniň aýratynlygyna görä özleşdirilen çydamlylyklar |
| Uglerod mukdary | < 0.6 ppmA |
MEHANIKI HÄSIÝETLER
| Parametr | Prime | Monitoring/Synag A | Synag |
| Diametr | 200±0.2mm | 200 ± 0.2mm | 200 ± 0,5 mm |
| Galyňlygy | 725±20µm (standart) | 725±25µm (standart) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standart) |
| TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
| Ýaý | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Örtmek | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Gyralary tegeleklemek | ÝARYM-STD | ||
| Belgilemek | Diňe esasy ýarym tekiz jaýlar, ýarym tekiz jaýlar, Jeida tekiz jaýlary, çentik | ||
| Parametr | Prime | Monitoring/Synag A | Synag |
| Öň tarapyň ölçegleri | |||
| Ýüziň ýagdaýy | Himiki mehaniki jilalanan | Himiki mehaniki jilalanan | Himiki mehaniki jilalanan |
| Ýüziň gödekligi | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
| Hapalanma >0.3 µm-de bölejikler | = 20 | = 20 | = 30 |
| Duman, Çukurlar Apelsin gabygy | Hiç hili | Hiç hili | Hiç hili |
| Saw, Marks Çyzyklar | Hiç hili | Hiç hili | Hiç hili |
| Arka tarapyň kriteriýalary | |||
| Ýaryklar, gara aýaklar, arra yzlary, lekeler | Hiç hili | Hiç hili | Hiç hili |
| Ýüziň ýagdaýy | Kaustik oýulan | ||
Jikme-jik diagramma





