2 dýuýmlyk SiC külçesi Diametri 50.8mmx10mmt 4H-N monokristal

Gysgaça düşündiriş:

2 dýuýmlyk SiC (kremniý karbidi) külçesi diametri ýa-da gyrasynyň uzynlygy 2 dýuým bolan silindrik ýa-da blok görnüşli kremniý karbidiniň ýeke kristalyny aňladýar. Kremniý karbidi külçeleri dürli ýarymgeçiriji enjamlaryň, meselem, güýç elektron enjamlarynyň we optoelektron enjamlarynyň önümçiligi üçin başlangyç material hökmünde ulanylýar.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklar

SiC Kristal Ösüş Tehnologiýasy

SiC-niň häsiýetnamalary monokristallary ösdürip ýetişdirmegi kynlaşdyrýar. Bu, esasan, atmosfera basyşynda Si: C = 1: 1 stehiometrik gatnaşygy bolan suwuk fazanyň ýokdugy we ýarymgeçiriji senagatynyň esasy ugurlary bolan gönüden-göni çekmek usuly we düşýän tigel usuly ýaly has ösen ösüş usullary bilen SiC-ni ösdürip ýetişdirmegiň mümkin däldigi bilen baglanyşyklydyr. Teoriýa taýdan, Si: C = 1: 1 stehiometrik gatnaşygy bolan ergini diňe basyş 10E5atm-dan ýokary we temperatura 3200℃-den ýokary bolanda alyp bolýar. Häzirki wagtda esasy usullara PVT usuly, suwuk faza usuly we ýokary temperaturaly bug fazaly himiki çökündi usuly girýär.

Biz hödürleýän SiC plitalary we kristallary, esasan, fiziki bug daşamak (PVT) arkaly ösdürilip ýetişdirilýär we aşakdaky PVT barada gysgaça maglumat:

Fiziki bug daşamak (FTT) usuly 1955-nji ýylda Leli tarapyndan oýlap tapylan gaz fazaly sublimasiýa usulyndan gelip çykýar, bu usul bilen SiC poroşogy grafit turbasyna ýerleşdirilip, SiC poroşogynyň parçalanmagy we sublimasiýa edilmegi üçin ýokary temperatura çenli gyzdyrylýar, soňra grafit turbasy sowadylýar we SiC poroşogynyň parçalanan gaz fazaly bölekleri grafit turbasynyň töwereginde SiC kristallary hökmünde çökýär we kristallaşýar. Bu usul uly ölçegli SiC monokristallaryny almak kyn bolsa-da we grafit turbasynyň içinde çökmek prosesini dolandyrmak kyn bolsa-da, ol geljekki barlagçylar üçin pikirler berýär.

Russiýada Ý.M.Taýrow we beýlekiler şu esasda tohum kristaly düşünjesini girizdiler, bu bolsa SiC kristallarynyň gözegçilik edip bolmaýan kristal görnüşi we ýadro ýerleşiş ýagdaýy meselesini çözdi. Soňraky barlagçylar häzirki wagtda senagatda ulanylýan fiziki bug geçirijilik (FBT) usulyny kämilleşdirmegini dowam etdirdiler we ahyrsoňy işläp düzdüler.

SiC kristallaryny ösdürmek üçin iň irki usul hökmünde PVT häzirki wagtda SiC kristallary üçin iň esasy ösüş usulydyr. Beýleki usullar bilen deňeşdirilende, bu usul ösüş enjamlaryna pes talaplara, ösüş prosesiniň ýönekeýligine, güýçli dolandyrylyşyna, düýpli işläp düzmäge we ylmy-barlag işlerine eýedir we eýýäm senagatlaşdyrylandyr.