Ýokary göwrümli ýarymgeçiriji önümçiligi üçin 12 dýuýmlyk sapfir wafer

Gysgaça düşündiriş:

12 dýuýmlyk sapfir plastinkasy uly meýdanly, ýokary öndürijilikli ýarymgeçiriji we optoelektron önümçiliklerine bolan artýan islegi kanagatlandyrmak üçin niýetlenendir. Enjam arhitekturalary giňelmegini dowam etdirip we önümçilik liniýalary has uly plastinka formatlaryna tarap hereket edýärkä, örän uly diametrli sapfir substratlary öndürijilikde, hasyly optimizirlemekde we çykdajylary dolandyrmakda aýdyň artykmaçlyklary hödürleýär.

Bize e-poçta iberiň

Aýratynlyklar

Jikme-jik diagramma

12 dýuýmlyk sapfir waferiniň tanyşdyrylyşy

Ýokary arassalykly monokristal Al₂O₃-dan öndürilen 12 dýuýmlyk sapfir plitalarymyz ajaýyp mehaniki berkligi, termal durnuklylygy we ýüz hilini özünde jemleýär. Kristallaryň optimizirlenen ösüşi we plitalaryň takyk işlenilmegi arkaly bu substratlar ösen LED, GaN we ýörite ýarymgeçirijiler üçin ygtybarly iş görkezijilerini üpjün edýär.

Materialyň häsiýetnamalary

Safir (bir kristally alýumin oksidi, Al₂O₃) ajaýyp fiziki we himiki häsiýetleri bilen meşhurdyr. 12 dýuýmlyk sapfir plitalary sapfir materialynyň ähli artykmaçlyklaryny miras alýar we has uly ulanylýan ýer meýdanyny üpjün edýär.

Esasy material aýratynlyklaryna aşakdakylar girýär:

Örän ýokary berklik we aşynma garşylygy
Ajaýyp termal durnuklylyk we ýokary ereme nokady
Kislotalara we alkalilere ýokary himiki garşylyk
UV-den IR tolkun uzynlyklaryna çenli ýokary optiki açyklyk
Ajaýyp elektrik izolýasiýa häsiýetleri

Bu häsiýetler 12 dýuýmlyk sapfir plitalaryny berk gaýtadan işleýän gurşawlar we ýokary temperaturaly ýarymgeçiriji önümçilik prosesleri üçin amatly edýär.

Önümçilik prosesi

12 dýuýmlyk sapfir plitalarynyň önümçiligi ösen kristal ösüşini we örän takyk gaýtadan işlemek tehnologiýalaryny talap edýär. Adaty önümçilik prosesi aşakdakylary öz içine alýar:

Ýeke Kristal Ösüşi
Ýokary arassa sapfir kristallary KY ýa-da beýleki uly diametrli kristal ösdürip ýetişdirmek tehnologiýalary ýaly ösen usullar arkaly ösdürilip ýetişdirilýär, bu bolsa kristallaryň birmeňzeş ugruny we pes içki stres üpjün edýär.
Kristallary şekillendirmek we dilimlemek
Safir külçesi takyk şekillendirilip, ýerasty zeperi azaltmak üçin ýokary takyklykly kesiji enjamlar arkaly 12 dýuýmlyk plitalara kesilýär.
Çaplama we jylamak
Ýüziň ajaýyp gödekligine, tekizligine we galyňlygynyň birmeňzeşligine ýetmek üçin köp basgançakly sürtmek we himiki mehaniki jylamak (CMP) prosesleri ulanylýar.
Arassalamak we barlag
Her 12 dýuýmlyk sapfir plastinkasy düýpli arassalanýar we ýüziniň hilini, TTV-ni, burçuny, egriligini we kemçiliklerini seljermek ýaly berk barlaglardan geçýär.

Programmalar

12 dýuýmlyk sapfir plitalary ösen we täze tehnologiýalarda giňden ulanylýar, şol sanda:

Ýokary kuwwatly we ýokary ýagtylykly LED substratlar
GaN esasly elektrik enjamlary we RF enjamlary
Ýarymgeçiriji enjam daşaýjy we izolýasiýa substratlary
Optiki penjireler we giň meýdanly optiki komponentler
Ösen ýarymgeçiriji gaplama we ýörite proses daşaýjylary

Uly diametr köpçülikleýin önümçilikde has ýokary öndürijilik we gymmatyň netijeliligini ýokarlandyrmaga mümkinçilik berýär.

12 dýuýmlyk sapfir waferleriniň artykmaçlyklary

Her bir plastinka üçin has ýokary enjam çykyşy üçin has uly ulanyş meýdany
Prosesleriň yzygiderliligi we birmeňzeşligi gowulandyryldy
Ýokary möçberdäki önümçilikde her enjam üçin çykdajynyň azaldylmagy
Uly göwrümli ulanmak üçin ajaýyp mehaniki güýç
Dürli programmalar üçin özelleşdirilip bilinýän aýratynlyklar

Özelleşdirme opsiýalary

Biz 12 dýuýmlyk sapfir waferleri üçin çeýe özelleşdirmeleri hödürleýäris, şol sanda:

Kristal ugry (C-tekizlik, A-tekizlik, R-tekizlik we ş.m.)
Galyňlyk we diametr çydamlylygy
Bir taraply ýa-da iki taraply jylamak
Gyra profili we pah dizaýny
Ýüziň bükülmesi we tekizligi talaplary

Parametr	Spesifikasiýa	Bellikler
Wafer diametri	12 dýuým (300 mm)	Standart uly diametrli wafer
Material	Bir kristally sapfir (Al₂O₃)	Ýokary arassalyk, elektron/optik dereje
Kristal ugry	C-tekizlik (0001), A-tekizlik (11-20), R-tekizlik (1-102)	Goşmaça ugurlar elýeterli
Galyňlygy	430–500 μm	Isleg boýunça özelleşdirilen galyňlyk elýeterlidir
Galyňlyga çydamlylyk	±10 μm	Ösen enjamlar üçin berk çydamlylyk
Umumy galyňlygyň üýtgemegi (TTV)	≤10 μm	Plastinanyň ähli ýerinde birmeňzeş işlenilmegini üpjün edýär
Ýaý	≤50 μm	Bütin wafer boýunça ölçenýär
Warp	≤50 μm	Bütin wafer boýunça ölçenýär
Ýüzleýiş	Bir taraply jylaňlanan (SSP) / Iki taraply jylaňlanan (DSP)	Ýokary optiki hilli ýüz
Ýüziň büdür-büdürligi (Ra)	≤0.5 nm (jylaňlanan)	Epitaksial ösüş üçin atom derejesindäki ýumşaklyk
Gyra profili	Pahça / Ýumşak gyra	Ulanyş wagtynda çişmegiň öňüni almak üçin
Ugurlanma takyklygy	±0.5°	Epitaksial gatlagyň dogry ösüşini üpjün edýär
Kemçilikleriň dykyzlygy	<10 sm⁻²	Optiki barlag arkaly ölçenýär
Tekizlik	≤2 μm / 100 mm	Litografiýanyň we epitaksial ösüşiň deň derejede bolmagyny üpjün edýär
Arassaçylyk	100-nji synp – 1000-nji synp	Arassa otag bilen utgaşykly
Optiki geçiriş	>85% (UV–IR)	Tolkun uzynlygyna we galyňlygyna baglydyr

12 dýuýmlyk sapfir wafli barada köp berilýän soraglar

S1: 12 dýuýmlyk sapfir waferiň standart galyňlygy näçe?
A: Standart galyňlyk 430 μm-den 500 μm-e çenli. Müşderileriň talaplaryna laýyklykda ýörite galyňlyklar hem öndürilip bilner.

S2: 12 dýuýmlyk sapfir plitalary üçin haýsy kristal ugurlary bar?
A: Biz C-tekizlik (0001), A-tekizlik (11-20) we R-tekizlik (1-102) ugurlary hödürleýäris. Beýleki ugurlary enjamyň anyk talaplaryna laýyklykda sazlap bolýar.

S3: Plastinkanyň umumy galyňlygynyň üýtgemegi (TTV) näçe?
A: Biziň 12 dýuýmlyk sapfir plitalarymyz adatça TTV ≤10 μm bolýar, bu bolsa ýokary hilli enjam öndürmek üçin plastinkanyň tutuş ýüzünde deňligi üpjün edýär.

Biz barada

XKH ýokary tehnologiýaly optik aýna we täze kristal materiallarynyň işlenip düzülmegine, öndürilmegine we satylmagyna ýöriteleşýär. Önümlerimiz optik elektronika, sarp ediş elektronikasy we harby ulgamlara hyzmat edýär. Biz Safir optiki böleklerini, ykjam telefon linzalarynyň örtüklerini, keramika, LT, kremniý karbidi SIC, kwars we ýarymgeçiriji kristall plitalaryny hödürleýäris. Hünärmen tejribe we iň täze enjamlar bilen biz standart däl önümleri gaýtadan işlemekde üstünlik gazanýarys we öňdebaryjy optoelektron materiallary ýokary tehnologiýaly kärhana bolmagy maksat edinýäris.