Ondarymgeçiriji tehnologiýasynyň yzygiderli ösmegi bilen, ýarymgeçiriji pudagynda we hatda fotoelektrik pudagynda, wafli substratyň ýa-da epitaksial listiň üstki hiline bolan talaplar hem gaty berk.Wafli üçin hil talaplary haýsylar?Safir wafli mysal hökmünde alsak, wafleriň üstki hiline baha bermek üçin haýsy görkezijileri ulanyp bolar?
Wafli bahalandyrmagyň görkezijileri haýsylar?
Üç görkeziji
Safir wafli üçin onuň baha beriş görkezijileri umumy galyňlygyň gyşarmasy (TTV), egilmek (ýaý) we Warp (Warp).Bu üç parametr bilelikde kremniý wafliniň tekizligini we galyňlygynyň birmeňzeşligini görkezýär we wafliň süýşmek derejesini ölçäp bilýär.Gasyn, tekiz ýeriň hiline baha bermek üçin tekizlik bilen birleşdirilip bilner.
TTV, BOW, Warp näme?
TTV (Galyňlygyň umumy üýtgemegi)
TTV, wafli iň ýokary we iň pes galyňlygyň arasyndaky tapawut.Bu parametr wafli galyňlygynyň birmeňzeşligini ölçemek üçin ulanylýan möhüm görkeziji.Ondarymgeçiriji prosesinde wafliň galyňlygy tutuş üstünde gaty birmeňzeş bolmaly.Ölçegler, adatça, wafli bäş ýerde edilýär we tapawut hasaplanýar.Netijede, bu baha wafliň hiline baha bermek üçin möhüm esas bolup durýar.
Aý
Ondarymgeçiriji önümçiliginde ýaý, gysgyçly wafliň orta nokady bilen salgylanma tekizliginiň arasyndaky aralygy boşadyp, wafliň egilmegini aňladýar.Bu söz, ýaýyň egrilen görnüşi ýaly, egilende obýektiň şekiliniň beýanyndan gelip çykýar.Valueaýyň bahasy kremniniň wafli bilen merkezi we gyrasynyň arasyndaky gyşarmany ölçemek bilen kesgitlenýär.Bu baha adatça mikrometrlerde (µm) aňladylýar.
Warp
Warp, erkin ýapylmadyk wafli bilen salgylanma tekizliginiň arasyndaky iň ýokary we iň az aralyk arasyndaky tapawudy ölçän wafleriň global eýeçiligi.Silikon wafli ýüzünden tekizlige çenli aralygy aňladýar.
TTV, Bow, Warp arasynda näme tapawut bar?
TTV galyňlygyň üýtgemegine ünsi jemleýär we wafliň egilmegi ýa-da ýoýulmagy bilen gyzyklanmaýar.
Bow, esasan merkezi nokadyň we gyranyň egilmegini göz öňünde tutup, umumy egilmä ünsi jemleýär.
Warp, ähli wafli ýüzüni egmek we burmak ýaly has giňişleýin.
Bu üç parametr kremniniň wafli görnüşi we geometrik häsiýetleri bilen baglanyşykly bolsa-da, ölçelýär we başgaça beýan edilýär, ýarymgeçiriji prosesine we wafli gaýtadan işlemegine edýän täsiri hem başga.
Üç parametr näçe kiçi bolsa, şonça-da gowy we parametr näçe uly bolsa, ýarymgeçiriji prosesine ýaramaz täsir şonça-da köp bolar.Şonuň üçin ýarymgeçiriji praktik hökmünde, ähli proses prosesi üçin wafli profil parametrleriniň ähmiýetine düşünmelidiris, ýarymgeçiriji prosesi etmeli, jikme-jikliklere üns bermelidiris.
Ens senzura）
Iş wagty: Iýun-24-2024