Ýarymgeçiriji tehnologiýasynyň üznüksiz ösmegi bilen, ýarymgeçiriji senagatynda we hatda fotowoltaik senagatynda hem, wafer substratynyň ýa-da epitaksial listiň ýüzüniň hiline bolan talaplar örän berk. Şeýlelik bilen, waferler üçin hil talaplary nähili?sapfir wafliMysal hökmünde, waflileriň ýüzüniň hilini bahalandyrmak üçin haýsy görkezijileri ulanyp bolýar?
Waferleriň baha beriş görkezijileri nämeler?
Üç görkeziji
Safir plitalary üçin onuň baha beriş görkezijileri umumy galyňlyk çetleşmesi (TTV), egilme (Bow) we Warp (Warp)-dir. Bu üç parametr bilelikde kremniý plastinkasynyň tekizligini we galyňlyk deňligini görkezýär we plastinkanyň tolkunlyk derejesini ölçäp bilýär. Gofrirleme plastinkanyň ýüzüniň hilini bahalandyrmak üçin tekizlik bilen utgaşdyrylyp bilner.
TTV, BOW, Warp näme?
TTV (Umumy galyňlygyň üýtgemegi)
TTV waferiň iň ýokary we iň pes galyňlygynyň arasyndaky tapawutdyr. Bu parametr waferiň galyňlygynyň deňligini ölçemek üçin ulanylýan möhüm indeksdir. Ýarymgeçiriji prosesde waferiň galyňlygy tutuş ýüz boýunça örän deň bolmaly. Ölçegler adatça waferiň bäş ýerinde geçirilýär we tapawut hasaplanýar. Ahyrsoňy, bu gymmatlyk waferiň hilini kesgitlemek üçin möhüm esas bolup durýar.
Ýaý
Ýarymgeçirijiler önümçiliginde "ýaý" waferiň egriligini aňladýar, bu bolsa gysylmadyk waferiň orta nokady bilen gözegçilik tekizliginiň arasyndaky aralygy boşadýar. Bu söz, belki-de, waferiň egri görnüşi ýaly, jisimiň egrilen mahaly görnüşiniň beýanyndan gelip çykýar. "Ýaý" gymmaty kremniý waferiniň merkezi bilen gyrasynyň arasyndaky çykgytlary ölçemek arkaly kesgitlenýär. Bu gymmat adatça mikrometrlerde (µm) görkezilýär.
Warp
Warp, erkin gysylmadyk waferiň ortasy bilen gözegçilik tekizliginiň arasyndaky maksimum we minimal aralygyň tapawudyny ölçeýän waferleriň umumy häsiýetidir. Kremniý waferiniň ýüzünden tekizlige çenli aralygy görkezýär.
TTV, Bow we Warp-yň arasyndaky tapawut näme?
TTV galyňlygyň üýtgemelerine ünsi jemleýär we plastinkanyň egilmegi ýa-da bozulmagy bilen gyzyklanmaýar.
Ýaý, esasan, merkezi nokadyň we gyranyň egriligini göz öňünde tutup, umumy egrilige ünsi jemleýär.
Warp has giňişleýin bolup, waferiň tutuş ýüzüniň egilmegini we burulmagyny öz içine alýar.
Bu üç parametr kremniý plastinkasynyň görnüşi we geometrik häsiýetleri bilen baglanyşykly bolsa-da, olar dürli-dürli ölçenýär we beýan edilýär, şeýle hem olaryň ýarymgeçiriji prosesine we plastinkany gaýtadan işlemäge täsiri hem dürli-dürli.
Üç parametr näçe kiçi bolsa, şonça gowy we parametr näçe uly bolsa, ýarymgeçiriji prosessine şonça-da ýaramaz täsir edýär. Şonuň üçin, ýarymgeçiriji hünärmen hökmünde, biz tutuş proses prosesi üçin wafer profil parametrleriniň möhümdigini düşünmelidiris, ýarymgeçiriji prosesinde jikme-jikliklere üns bermelidiris.
(senzura)
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 24-nji iýuny