Mazmuny
1. Esasy maksatlar we wafli arassalamagyň ähmiýeti
2. Hapalanmagy bahalandyrmak we ösen analitiki usullar
3.Giňeldilen arassalama usullary we tehniki ýörelgeler
4.Tehniki durmuşa geçirmek we prosese gözegçilik esaslary
5. Geljekki tendensiýalar we innowasiýa ugurlary
6. XKH Ahyrky çözgütler we hyzmat ekosistemasy
Wafli arassalamak ýarymgeçiriji önümçiliginde möhüm prosesdir, sebäbi atom derejesindäki hapalar hem enjamyň işleýşini ýa-da öndürijiligini peseldip biler. Arassalamak prosesi, adatça organiki galyndylar, metal hapalary, bölejikler we ýerli oksidler ýaly dürli hapalary ýok etmek üçin birnäçe ädimleri öz içine alýar.
1. Wafli arassalamagyň maksatlary
- Organiki hapalaýjylary aýyryň (mysal üçin, fotorezist galyndylary, barmak yzlary).
- Metal hapalary ýok ediň (meselem, Fe, Cu, Ni).
- Bölejikleriň hapalanmagyny ýok ediň (meselem, tozan, kremniniň bölekleri).
- Nativeerli oksidleri aýyryň (mysal üçin, howa täsirinde emele gelen SiO₂ gatlaklary).
2. Gaty wafli arassalamagyň ähmiýeti
- Processokary proses öndürijiligini we enjamyň işleýşini üpjün edýär.
- Kemçilikleri we wafli galyndylaryny peseldýär.
- Surfaceerüsti hilini we yzygiderliligini ýokarlandyrýar.
Güýçli arassalamazdan ozal bar bolan ýerüsti hapalanmalara baha bermek zerurdyr. Wafli üstündäki hapalaýjylaryň görnüşine, ululygynyň paýlanyşyna we giňişlikdäki ýerleşişine düşünmek himiýa we mehaniki energiýa girişini arassalaýar.
3. Hapalanmagy bahalandyrmagyň ösen analitiki usullary
3.1 faceerüsti bölejikleriň derňewi
- Particöriteleşdirilen bölejik hasaplaýjylary lazer ýaýramagyny ýa-da ýerüsti galyndylary sanamak, ululygy we kartalaşdyrmak üçin kompýuter görüşini ulanýar.
- Lighteňil ýaýramagyň intensiwligi onlarça nanometr ýaly kiçijik bölejikleriň ululygy we dykyzlygy 0,1 bölejik / sm² bilen baglanyşdyrylýar.
- Standartlar bilen kalibrlemek enjamlaryň ygtybarlylygyny üpjün edýär. Arassalamakdan öňki we soňky skanerler aýyrmagyň netijeliligini, sürüjilik prosesiniň gowulaşmagyny tassyklaýar.
3.2 Elemental ýerüsti derňew
- Faceerüsti duýgur usullar elementar düzümi kesgitleýär.
- Rentgen fotoelektron spektroskopiýa (XPS / ESCA): Wafini rentgen şöhleleri bilen şöhlelendirmek we çykýan elektronlary ölçemek arkaly ýerüsti himiki ýagdaýlary seljerýär.
- Owalpyldawuk akdyryş optiki zyňyndy spektroskopiýasy (GD-OES): Çuňluga bagly elementar kompozisiýany kesgitlemek üçin çykýan spektrleri seljerip, ultra inçe gatlak gatlaklary yzygiderli çykýar.
- Ectionüze çykarmak çäkleri, arassa arassa himiýa seçimini ugrukdyryp, milliona (ppm) böleklere ýetýär.
3.3 Morfologiki hapalanma derňewi
- Elektron mikroskopiýa (SEM) skanirlemek: Hapyş mehanizmlerini (himiki we mehaniki) görkezýän hapalaýjylaryň şekillerini we aspektlerini görkezmek üçin ýokary çözgütli şekilleri alýar.
- Atom güýji mikroskopiýasy (AFM): Bölejikleriň beýikligini we mehaniki aýratynlyklaryny kesgitlemek üçin nanoskale topografiýasy.
- Fokusirlenen Ion şöhlesi (FIB) freze + geçiriş elektron mikroskopiýasy (TEM): gömülen hapalaýjylaryň içerki görnüşlerini üpjün edýär.
4. Ösen arassalama usullary
Soliwent arassalamak organiki hapalaýjylary netijeli aýyrsa-da, organiki däl bölejikler, metal galyndylary we ion hapalaýjylary üçin goşmaça ösen usullar zerurdyr:
?
4.1 RCA arassalamak
- RCA Laboratories tarapyndan işlenip düzülen bu usul polýar hapalaýjylary aýyrmak üçin goşa hammam işini ulanýar.
- SC-1 (Standard Clean-1): NH₄OH, H₂O₂ we H₂O garyndysyny ulanyp organiki hapalaýjylary we bölejikleri aýyrýar (mysal üçin: 20 ° C derejesinde 1: 1: 5 gatnaşygy). Inçe kremniniň dioksid gatlagyny emele getirýär.
- SC-2 (Standard Clean-2): HCl, H₂O₂ we H₂O ulanyp, metal hapalary aýyrýar (mysal üçin: 80 ° C derejesinde 1: 1: 6 gatnaşygy). Passiw ýer galdyrýar.
- Surfaceerüsti gorag bilen arassalygy deňleşdirýär.
?
4.2 Ozony arassalamak
- Wafonlary ozon bilen doýgun deionizirlenen suwa çümdüriň (O₃ / H₂O).
- Himiki taýdan passiw ýüzüni galdyryp, wafli zeper ýetirmän organikleri netijeli oksidleýär we aýyrýar.
?
4.3 Megasoniki arassalama?
- Arassalaýjy erginler bilen bilelikde ýokary ýygylykly ultrases energiýasyny (adatça 750–900 kHz) ulanýar.
- Hapalaýjylary ýok edýän kawitasiýa köpürjiklerini döredýär. Näzik gurluşlara zyýany azaltmak bilen çylşyrymly geometriýalara aralaşýar.
4.4 Kriogen arassalamak
- Wafleri kriogen temperaturasyna çalt sowadýar, hapalaýjy maddalar.
- Soňra ýuwmak ýa-da ýumşak çotmak gowşadylan bölejikleri aýyrýar. Reer ýüzüne hapalanmagyň we ýaýramagynyň öňüni alýar.
- Iň az himiki ulanylyşy bilen çalt we gury proses.
Netije:
Öňdebaryjy doly zynjyrly ýarymgeçiriji çözgütleri üpjün ediji hökmünde XKH tehnologiki täzelikler bilen dolandyrylýar we müşderi ýokary derejeli enjamlar bilen üpjün etmegi, wafli ýasamagy we takyk arassalamagy öz içine alýan ahyrky hyzmat ekosistemasyny üpjün etmeli. Diňe halkara derejesinde ykrar edilen ýarymgeçiriji enjamlary (mysal üçin, daşbasma maşynlary, efir ulgamlary) ýörite çözgütler bilen üpjün etmän, wafli öndürmek üçin atom derejesindäki arassalygy üpjün etmek, müşderiniň öndürijiligini we önümçilik netijeliligini ep-esli ýokarlandyrmak üçin RCA arassalamak, ozony arassalamak we megasoniki arassalamak ýaly öňdebaryjy tehnologiýalary üpjün edýäris. Lokallaşdyrylan çalt jogap berýän toparlary we akylly hyzmat torlaryny dolandyrmak bilen, enjamlary gurnamakdan we prosesi optimizirlemekden başlap, öňünden aýdylýan tehniki hyzmatyna çenli, müşderilere tehniki kynçylyklary ýeňip geçmäge we has takyk we ýarymgeçirijiniň ösüşine tarap öňe gitmäge mümkinçilik berýäris. Tehniki tejribäniň we täjirçilik bahasynyň goşa ýeňişli synergiýasy üçin bizi saýlaň.
Iş wagty: 02-2025-nji sentýabr