Ondarymgeçiriji pudagynyň ösýän ösüş prosesinde ýalpyldawuk ýekeje kristalkremniý waflimöhüm rol oýnaýar. Dürli mikroelektron enjamlaryny öndürmek üçin esasy material bolup hyzmat edýär. Çylşyrymly we takyk integrirlenen zynjyrlardan başlap, ýokary tizlikli mikroprosessorlara we köp wezipeli datçiklere, ýalpyldawuk ýekeje kristalkremniý waflimöhümdir. Olaryň öndürijiligi we aýratynlyklaryndaky tapawutlar soňky önümleriň hiline we öndürijiligine gönüden-göni täsir edýär. Aşakda ýalpyldawuk kristal kremniý wafliniň umumy aýratynlyklary we parametrleri:

Diametri: icarymgeçirijiniň ýekeje kristal kremniy wafli ululygy olaryň diametri bilen ölçelýär we olar dürli aýratynlyklarda gelýär. Adaty diametrlere 2 dýuým (50,8mm), 3 dýuým (76.2mm), 4 dýuým (100mm), 5 dýuým (125mm), 6 dýuým (150mm), 8 dýuým (200mm), 12 dýuým (300mm) we 18 dýuým (450mm) degişlidir. Dürli diametrler dürli önümçilik zerurlyklary we amal talaplary üçin laýyk gelýär. Mysal üçin, kiçi diametrli wafli köplenç ýörite, kiçi göwrümli mikroelektron enjamlary üçin ulanylýar, has uly diametrli wafli bolsa uly göwrümli integral zynjyr önümçiliginde has ýokary öndürijilik we çykdajy artykmaçlyklaryny görkezýär. Faceerüsti talaplar bir taraply ýalpyldawuk (SSP) we iki taraplaýyn ýalpyldawuk (DSP) kategoriýalara bölünýär. Sideeke taraply ýalpyldawuk wafli, käbir datçikler ýaly bir tarapda ýokary tekizligi talap edýän enjamlar üçin ulanylýar. Iki taraplaýyn ýalpyldawuk wafli köplenç integral zynjyrlar we iki ýüzünde ýokary takyklygy talap edýän beýleki önümler üçin ulanylýar. Faceerüsti talap (Tamamlamak): Bir taraply ýalpyldawuk SSP / Iki taraply ýalpyldawuk DSP.

Görnüşi / Dopant: (1) N görnüşli ýarymgeçiriji: Içerki ýarymgeçirijä belli bir hapa atomlar girizilende, geçirijiligini üýtgedýärler. Mysal üçin, azot (N), fosfor (P), arsen (As) ýa-da antimon (Sb) ýaly pentawalent elementler goşulanda, walent elektronlary daş-töweregindäki kremniy atomlarynyň walent elektronlary bilen kowalent baglanyşyk emele getirýär we goşmaça elektron kowalent baglanyşyk bilen baglanyşykly däl. Bu, deşik konsentrasiýasyndan has uly elektron konsentrasiýasyna getirýär, N görnüşli ýarymgeçirijini emele getirýär, bu elektron görnüşli ýarymgeçiriji hem diýilýär. N görnüşli ýarymgeçirijiler, belli bir güýç enjamlary ýaly esasy zarýad göterijiler hökmünde elektronlary talap edýän önümçilik enjamlarynda möhüm ähmiýete eýe. . Bu, elektron konsentrasiýasyndan has uly deşik konsentrasiýasyna getirýär, P görnüşli ýarymgeçiriji emele getirýär, deşik görnüşli ýarymgeçiriji hem diýilýär. P görnüşli ýarymgeçirijiler diodlar we belli tranzistorlar ýaly esasy zarýad göterijiler bolup hyzmat edýän önümçilik enjamlarynda möhüm rol oýnaýar.

Çydamlylyk: Çydamlylyk, ýalpyldawuk kristal kremniniň wafleriniň elektrik geçirijiligini ölçän esasy fiziki mukdar. Onuň gymmaty materialyň geçirijilik ukybyny görkezýär. Garşylyk näçe pes bolsa, kremniniň wafli geçirijiligi şonça gowy; tersine, garşylyk näçe ýokary bolsa, geçirijilik pes bolýar. Silikon wafli garşylygy, mahsus material aýratynlyklary bilen kesgitlenýär we temperatura hem möhüm täsir edýär. Adatça, kremniý wafli garşylygy temperatura bilen ýokarlanýar. Amaly amalyýetlerde dürli mikroelektron enjamlary kremniý wafli üçin dürli garşylyk talaplaryna eýe. Mysal üçin, toplumlaýyn zynjyr önümçiliginde ulanylýan wafli, durnukly we ygtybarly enjamyň işleýşini üpjün etmek üçin garşylyga takyk gözegçilik etmeli.

Ugrukdyrma: Wafliň kristal ugry, adatça (100), (110), (111) we ş.m. ýaly Miller indeksleri bilen kesgitlenýän kremniniň panjarasynyň kristalografiki ugruny görkezýär, dürli kristal ugurlary dürli fiziki häsiýetlere eýe, meselem, ugur boýunça üýtgeýär. Bu tapawut, wafli indiki gaýtadan işlemek ädimlerine we mikroelektron enjamlarynyň soňky işine täsir edip biler. Önümçilik prosesinde dürli enjam talaplaryna laýyk gelýän kremniý wafli saýlamak enjamyň işleýşini gowulaşdyryp, önümçiligiň netijeliligini ýokarlandyryp we önümiň hilini ýokarlandyryp biler.

Tekiz / notch: Silikon wafliniň daşyndaky tekiz gyrasy (tekiz) ýa-da V-not (Notch) kristal ugry deňleşdirmekde möhüm rol oýnaýar we wafli öndürmekde we gaýtadan işlemekde möhüm kesgitleýji bolup durýar. Dürli diametrli wafli, tekizligiň ýa-da notanyň uzynlygy üçin dürli standartlara laýyk gelýär. Düzediş gyralary esasy tekiz we ikinji tekizlere bölünýär. Esasy kwartira esasan wafli esasy kristal ugruny we gaýtadan işleýiş salgylanmasyny kesgitlemek üçin ulanylýar, ikinji kwartira bolsa takyk tekizlenmäge we gaýtadan işlemäge kömek edýär, önümçilik liniýasynda wafliň takyk işlemegini we yzygiderliligini üpjün edýär.

Galyňlygy: Wafli galyňlygy adatça mikrometrlerde (μm) kesgitlenýär, umumy galyňlygy 100μm bilen 1000μm arasynda bolýar. Dürli galyňlykdaky wafli dürli görnüşli mikroelektron enjamlary üçin amatlydyr. Inçe wafli (meselem, 100μm - 300μm) köplenç berk galyňlygy gözegçilikde saklamagy, çipiň göwrümini we agramyny azaltmagy we integrasiýa dykyzlygyny ýokarlandyrmagy talap edýän çip öndürmek üçin ulanylýar. Galyň wafli (meselem, 500μm - 1000μm) iş wagtynda durnuklylygy üpjün etmek üçin güýç ýarymgeçiriji enjamlar ýaly has ýokary mehaniki güýji talap edýän enjamlarda giňden ulanylýar.

Faceerüsti gödeklik: faceerüsti çişlik, wafliň hiline baha bermegiň esasy parametrlerinden biridir, sebäbi bu wafli bilen soňraky goýlan inçe film materiallarynyň arasyndaky ýelmeşmä, şeýle hem enjamyň elektrik öndürijiligine gönüden-göni täsir edýär. Adatça kök ortaça kwadrat (RMS) gödekligi (nm-de) hökmünde aňladylýar. Surfaceeriň aşaky çişligi, elektronyň ýaýramagy ýaly hadysalary azaltmaga we enjamyň işleýşini we ygtybarlylygyny ýokarlandyrmaga kömek edýän wafli üstüň has ýumşakdygyny aňladýar. Öňdebaryjy ýarymgeçiriji önümçilik proseslerinde, ýerüsti çişlik talaplary barha berkleşýär, esasanam ýokary derejeli integral zynjyr önümçiligi üçin, ýerüsti çişligi birnäçe nanometr ýa-da ondanam pes bolmaly.

Galyňlygyň umumy üýtgemegi (TTV): Jemi galyňlygyň üýtgemegi, adatça μm bilen aňladylýan wafli üstündäki birnäçe nokatda ölçenen iň ýokary we iň az galyňlygyň arasyndaky tapawudy aňladýar. Tokary TTV, fotolitografiýa we çyzgy ýaly proseslerde gyşarmalara, enjamyň işleýşiniň yzygiderliligine we öndürijiligine täsir edip biler. Şonuň üçin wafli önümçiliginde TTV-e gözegçilik etmek önümiň hilini üpjün etmekde möhüm ädimdir. Highokary takyk mikroelektron enjamlary öndürmek üçin TTV adatça birnäçe mikrometrde bolmaly.

Aý: ýaý, wafiň üstü bilen adatça μm bilen ölçelýän iň oňat tekiz tekizligiň arasyndaky gyşarmany aňladýar. Artykmaç egilen wafli, soňraky gaýtadan işlemek wagtynda önümçiligiň netijeliligine we önümiň hiline täsir edip, deňsiz stresleri başdan geçirip biler. Esasanam fotolitografiýa ýaly ýokary tekizligi talap edýän amallarda, fotolitografiki nagşyň takyklygyny we yzygiderliligini üpjün etmek üçin egilmek belli bir çäkde gözegçilik edilmelidir.

Warp: Warp, wafiň üstü bilen μm bilen ölçelýän iň oňat sferik şekiliň arasyndaky gyşarmany görkezýär. Bowaýa meňzeş, egrem-bugram tekizligiň möhüm görkezijisidir. Artykmaç çişirmek diňe bir gaýtadan işleýän enjamlarda wafliň ýerleşdiriliş takyklygyna täsir etmän, çip bilen gaplamak prosesinde çip bilen gaplaýyş materialynyň arasyndaky gowy baglanyşyk ýaly meselelere sebäp bolup biler, bu bolsa enjamyň ygtybarlylygyna täsir edýär. Endokary derejeli ýarymgeçiriji önümçiliginde, çip öndürmek we gaplamak prosesleriniň talaplaryny kanagatlandyrmak üçin çiş talaplary has berkleşýär.

Gyrasy profil: Wafli gyrasy, soňraky gaýtadan işlemek we işlemek üçin möhümdir. Adatça, gaýtadan işlemäge rugsat berilmeýän wafli gyrasyndan uzaklygy kesgitleýän “Edge Exclusion Zone” (EEZ) bilen kesgitlenýär. Dogry düzülen gyrasy profil we takyk EEZ gözegçiligi, gaýtadan işlenende gyradaky kemçiliklerden, stres konsentrasiýalaryndan we beýleki meselelerden gaça durmaga kömek edýär, umumy wafliň hilini we hasyllylygyny ýokarlandyrýar. Käbir ösen önümçilik proseslerinde, aşaky mikron derejesinde gyrasy profiliň takyklygy talap edilýär.

Bölejikleriň sany: Wafli üstündäki bölejikleriň sany we ululygy mikroelektron enjamlarynyň işleýşine ep-esli täsir edýär. Artykmaç ýa-da uly bölejikler gysga zynjyrlar ýa-da syzmak ýaly enjamyň näsazlygyna sebäp bolup, önümiň öndürijiligini peseldip biler. Şonuň üçin bölejikleriň sany, adatça, 0,3μm-den uly bölejikleriň sany ýaly bir meýdana bölejikleri sanamak bilen ölçelýär. Wafli öndürilende bölejikleriň sanyna berk gözegçilik etmek önümiň hilini üpjün etmek üçin möhüm çäre. Wafli üstündäki bölejikleriň hapalanmagyny azaltmak üçin ösen arassalaýyş tehnologiýalary we arassa önümçilik gurşawy ulanylýar.

Degişli önümçilik

Cryeke kristal kremniý wafli Si substrat görnüşi N / P goşmaça kremniy karbid wafli

FZ CZ Si wafli 12inch Silikon wafli Prime ýa-da Test