SPC (Statistik prosese gözegçilik) önümçilikde dürli etaplaryň durnuklylygyna gözegçilik etmek, gözegçilik etmek we gowulaşdyrmak üçin ulanylýan wafli önümçilik prosesinde möhüm guraldyr.
1. SPC ulgamyna syn
SPC önümçilik proseslerine gözegçilik etmek we gözegçilik etmek üçin statistiki usullary ulanýan usuldyr. Esasy wezipesi, real wagt maglumatlary ýygnamak we seljermek, inersenerlere wagtynda düzedişler we kararlar bermek arkaly önümçilik prosesindäki anomaliýalary ýüze çykarmakdyr. SPC-iň maksady önümiň hiliniň durnukly bolmagyny we talaplara laýyk gelmegini üpjün etmek, önümçilik prosesindäki üýtgemeleri azaltmak.
Düwürtmek prosesinde SPC ulanylýar:
Kritiki enjamlaryň parametrlerine gözegçilik ediň (mysal üçin, tizligi, RF güýji, kameranyň basyşy, temperatura we ş.m.)
Önümiň hiliniň esasy görkezijilerini derňäň (meselem, çyzyk giňligi, çuňlugy, gyrasy gödekligi we ş.m.)
In engineenerler bu parametrlere gözegçilik etmek bilen enjamlaryň öndürijiliginiň peselmegini ýa-da önümçilik prosesinde gyşarmalary görkezýän tendensiýalary kesgitläp bilerler, şeýlelik bilen galyndylaryň derejesini peselderler.
2. SPC ulgamynyň esasy komponentleri
SPC ulgamy birnäçe esasy moduldan durýar:
Maglumat ýygnamak moduly: Enjamlardan we proses akymlaryndan (mysal üçin, FDC, EES ulgamlary arkaly) hakyky maglumatlary ýygnaýar we möhüm parametrleri we önümçilik netijelerini ýazýar.
Dolandyryş diagrammasy moduly: Prosesiň durnuklylygyny göz öňüne getirmek we amalyň gözegçilik astyndadygyny kesgitlemek üçin statistiki gözegçilik çyzgylaryny (meselem, X-Bar diagrammasy, R diagramma, Cp / Cpk diagrammasy) ulanýar.
Duýduryş ulgamy: Kritiki parametrler gözegçilik çäginden geçende ýa-da tendensiýa üýtgemelerini görkezip, inersenerleri herekete geçmäge çagyrýar.
Derňew we hasabat moduly: SPC diagrammalaryna esaslanýan anomaliýalaryň düýp sebäbini seljerýär we proses we enjamlar üçin öndürijilik hasabatlaryny yzygiderli döredýär.
3. SPC-de dolandyryş çyzgylarynyň jikme-jik düşündirişi
Dolandyryş çyzgylary SPC-de iň köp ulanylýan gurallaryň biridir, "adaty üýtgeýiş" (tebigy proses üýtgemeleri sebäpli) we "adaty üýtgeşiklik" (enjamlaryň näsazlygy ýa-da prosesiň gyşarmagy sebäpli) tapawutlandyrmaga kömek edýär. Umumy dolandyryş diagrammalary şulary öz içine alýar:
“X-Bar” we “R” diagrammalary: Amalyň durnuklydygyny ýa-da ýokdugyny synlamak üçin önümçilik toparlarynyň içindäki ortaça we aralyga gözegçilik etmek üçin ulanylýar.
Cp we Cpk indeksleri: Amal mümkinçiligini ölçemek üçin ulanylýar, ýagny prosesiň çykarylyşy spesifikasiýa talaplaryna yzygiderli laýyk bolup bilýärmi. Cp potensial ukyplylygy ölçýär, Cpk bolsa amal merkeziniň spesifikasiýa çäklerinden gyşarmagyny hasaplaýar.
Mysal üçin, dykylma prosesinde etiň tizligi we ýeriň gödekligi ýaly parametrlere gözegçilik edip bilersiňiz. Belli bir enjamyň bölek derejesi gözegçilik çäginden ýokary bolsa, munuň tebigy üýtgeşikdigini ýa-da enjamlaryň näsazlygynyň görkezijisini kesgitlemek üçin dolandyryş çyzgylaryny ulanyp bilersiňiz.
4. SPC-ni Etching enjamlarynda ulanmak
Dökmek prosesinde enjamlaryň parametrlerine gözegçilik etmek gaty möhümdir we SPC aşakdaky usullar bilen prosesiň durnuklylygyny ýokarlandyrmaga kömek edýär:
Enjamlaryň ýagdaýyna gözegçilik: FDC ýaly ulgamlar, enjamlaryň esasy parametrleri (mysal üçin, RF güýji, gaz akymy) boýunça hakyky maglumatlary ýygnaýar we enjamlaryň ýüze çykýan meselelerini ýüze çykarmak üçin bu maglumatlary SPC dolandyryş diagrammalary bilen birleşdirýär. Mysal üçin, dolandyryş diagrammasyndaky RF güýjüniň kesgitlenen bahadan kem-kemden sowulýandygyny görseňiz, önümiň hiline täsir etmezlik üçin düzediş ýa-da tehniki hyzmat üçin irki çäreleri görüp bilersiňiz.
Önümiň hiline gözegçilik: Şeýle hem, durnuklylygyna gözegçilik etmek üçin SPC ulgamyna önümiň esasy parametrlerini (meselem, çuňlugy, çyzyk giňligi) girizip bilersiňiz. Käbir möhüm önüm görkezijileri maksat bahalaryndan kem-kemden sowulsa, SPC ulgamy proses düzedişleriniň zerurdygyny görkezýän duýduryş berer.
Öňüni alyş hyzmaty (PM): SPC enjamlar üçin öňüni alyş tehniki siklini optimizirlemäge kömek edip biler. Enjamlaryň öndürijiligi we prosesiň netijeleri baradaky uzak möhletli maglumatlary seljermek bilen, enjamlara hyzmat etmegiň iň amatly wagtyny kesgitläp bilersiňiz. Mysal üçin, RF güýjüne we ESC ömrüne gözegçilik etmek bilen, enjamlaryň näsazlyk derejesini we önümçiligiň peselmegini azaldyp, arassalamagyň ýa-da komponentiň çalşylmagynyň haçan zerurdygyny kesgitläp bilersiňiz.
5. SPC ulgamy üçin gündelik ulanyş maslahatlary
Gündelik amallarda SPC ulgamyny ulananyňyzda aşakdaky ädimleri ýerine ýetirip bolar:
Esasy dolandyryş parametrlerini kesgitläň (KPI): Önümçilik prosesinde iň möhüm parametrleri kesgitläň we olary SPC gözegçiligine goşuň. Bu parametrler önümiň hili we enjamlaryň öndürijiligi bilen ýakyndan baglanyşykly bolmalydyr.
Dolandyryş çäklerini we duýduryş çäklerini belläň: Taryhy maglumatlara we amal talaplaryna esaslanyp, her parametr üçin laýyk gözegçilik çäklerini we duýduryş çäklerini kesgitläň. Dolandyryş çäkleri adatça ± 3σ (standart gyşarmalar) derejesinde kesgitlenýär, duýduryş çäkleri bolsa prosesiň we enjamyň aýratyn şertlerine esaslanýar.
Üznüksiz gözegçilik we derňew: Maglumatlaryň tendensiýalaryny we üýtgemelerini seljermek üçin SPC gözegçilik diagrammalaryny yzygiderli gözden geçiriň. Käbir parametrler gözegçilik çäginden ýokary bolsa, enjamyň parametrlerini sazlamak ýa-da enjamlara tehniki hyzmat etmek ýaly derrew çäre görülmeli.
Anormallik bilen işlemek we düýp sebäpleriň derňewi: Anormallik ýüze çykanda, SPC ulgamy waka barada jikme-jik maglumatlary ýazýar. Bu maglumatlaryň esasynda näsazlygyň düýp sebäbini çözmeli we derňemeli. Köplenç FDC ulgamlaryndan, EES ulgamlaryndan we ş.m. maglumatlary birleşdirip, meseläniň enjamlaryň näsazlygy, prosesiň gyşarmagy ýa-da daşky gurşaw faktorlary bilen baglanyşyklydygyny seljermek mümkin.
Üznüksiz gowulaşmak: SPC ulgamy tarapyndan ýazylan taryhy maglumatlary ulanyp, işdäki gowşak taraplary kesgitläň we gowulaşdyrmak meýilnamalaryny teklip ediň. Mysal üçin, arassalamak prosesinde ESC ömrüniň we arassalama usullarynyň enjamlara hyzmat ediş sikllerine täsirini derňäň we enjamlaryň işleýiş parametrlerini yzygiderli optimizirläň.
6. Amaly amaly mysal
Amaly mysal hökmünde E-MAX enjamlaryny öndürmek üçin jogapkärdigiňizi we kamera katodynyň wagtyndan öň könelmegini başdan geçirýändigini, bu bolsa D0 (BARC defekt) bahalarynyň ýokarlanmagyna sebäp bolýar diýip pikir ediň. SPC ulgamy arkaly RF güýjüne we çykaryş tizligine gözegçilik etmek bilen, bu parametrleriň kesgitlenen bahalaryndan kem-kemden sowulýan tendensiýany görersiňiz. SPC duýduryşy döredilenden soň, FDC ulgamyndan maglumatlary birleşdirýärsiňiz we meseläniň kameranyň içindäki durnuksyz temperatura gözegçiligi sebäpli ýüze çykýandygyny kesgitleýärsiňiz. Soňra täze arassalama usullaryny we tehniki hyzmat strategiýalaryny durmuşa geçirýärsiňiz, netijede D0 bahasyny 4.3-den 2,4-e çenli peseldip, önümiň hilini ýokarlandyrýarsyňyz.
7. XINKEHUI-de alyp bilersiňiz.
XINKEHUI-de, kremniý wafli ýa-da SiC wafli bolsun, ajaýyp wafli gazanyp bilersiňiz. Takyklyga we öndürijilige ünsi jemläp, dürli pudaklar üçin ýokary hilli wafli bermekde ýöriteleşýäris.
(kremniý wafli)
Silikon wafli ýokary derejeli arassalyk we birmeňzeşlik bilen ýasalyp, ýarymgeçirijiniň zerurlyklary üçin ajaýyp elektrik aýratynlyklaryny üpjün edýär.
Has talap ediji amaly programmalar üçin, SiC wafli ajaýyp ýylylyk geçirijiligini we has ýokary energiýa netijeliligini hödürleýär, elektrik elektronikasy we ýokary temperatura şertleri üçin ideal.
(SiC wafli)
XINKEHUI bilen, iň ýokary pudak standartlaryna laýyk gelýän wafli kepillendirip, iň täze tehnologiýa we ygtybarly goldaw alarsyňyz. Wafli kämilligiňiz üçin bizi saýlaň!
Iş wagty: 16-2024-nji oktýabr